TY - NEWS TI - Teorija rasti kovinskih oksidnih plasti ID - 17319719 IS - 4 VL - 22 PB - Društvo za vakuumsko tehniko Slovenije N2 - Članek obravnava rast kovinskih oksidnih plasti in splošno teorijo oksidacije.Glede na tip oksidacije oz. oksidno plast, ki nastaja pri njej, delimo rast oksidnih plasti na tri vrste: linearno, logaritemsko in parabolično rast. V idealnem primeru, ko je nastala oksidna plast debelejša od 10 nm in kompaktna ter brez mikro- ali makrorazpok, velja parabolična rast. To rast plasti najpogosteje opišemo z enostavnim difuzijskim modelom, pojasni pa jo tudi Wagnerjev model oksidacije. Pri tem je podana tudi povezava s temperaturo. Podobno rešitev rasti dobimo tudi za difuzijo po meji zrn. Prikazana je tudi linearna in logaritemska oksidacija. V primeru realnega primera gre največkrat za kombinacije vseh teh rasti z različnimi parametri. Podani pa so tudi nekateri novejši primeri iz praktične uporabe rasti oksidacije. LA - slovenski JO - Vakuumist DA - 2002 A1 - Cvelbar, Uroš A2 - Mozetič, Miran A3 - Čekada, Miha KW - oksidne plasti KW - rast KW - oksidacija KW - modeli KW - tanke plasti KW - kovine ER -