LASERSKA LIT0GRAF1JA MERILNIH LETEV; LASERSKI VPIS RASTRA NAPRAVA ZA DIREKTNI Samo Kopač, Janez Pirš, Institut "Jožef Štefan"» Jamova 39, 61111 Ljubljana Laser ütography of Graduations: the Direct Laser Writing Device ABSTRACT OpDcal encoder» are the moM common^ us«a po«i(>ori iransducar« in various precision mectiSi^^O) squipmanl wh>«re highet arx] hig^«r accurncy r«qwir«d. A n«w dir«ct las*r writing of graduations for optical encc4«rs »n tl^m C' films ort ^Lass substrates «rtcrease« the accuracy of measurerrieiits with opbc^l «rtccdars comparing wiih the conventional methods of makir>9 graduations TFm direct laser writing devic« for manijfactunng tlw graduations is OescnMd and the c^kuistson of optical (parameters ht this devwe « given rrte accuracy o( graduations made direct laser wntirig Mpends primarily on the accuracy of trte rrtecfia/iioal system and (he interferorrctrK position measurements of (he graduation lines We presni the measu'emenls oftne rnechanical system «nd ti>e es«maliork of th>« inaccuracy of Ihe 9ra<3uation due to tl>e «nterteromatnc measurements Tftt results confinnlhalt^e dli^ laser wrntenQraduations meet the requirements for the application m optical ervoders POVZETEK Opličridajalniki pomikov (OOP) se vse Oolj uporabtjaio pri netančniti mehanskih pripravah Zaradi te^a se postavljajo vse hijgse zahiteve po netančTKisU meritev z ODP Nov načjn izdelave ODP z direhtn^n laserskim vpisom rastra v ta"ko plast kroma na stekleni pcdlagi povečuje natančnost meniev t ODP za slcoraj red vehkosti v pomen 9 Konvenclonairumi metodami izdelave merilnih rastiov Opisana je naprava za lasersko mikrolitografijo merihnih letev ir> predstavljen israiun za doio^ilev osnovnih optičr^n parametrov te naprave ToCnosT vpisanih irtenlmn ras(rov)e odvisna od mehanskega sistema tn me/4ve i>olo2aia obdelovanca z Laserskim irKerferometrom Podane so meritve ločnosti mehanskega sistema m ocena napak meritev položaja črtic z laserskim interferometrom Re?u>tati meritev lasersko vp4san>h rastrov potrjuje)o primernost za uporabo v OOP 1 UVOD Meritve dolžin m premikov v strojni industnji (slružnice, rezkarji. roöoti, . ..) zahtevajo zaradi robustnosti opreme, točnosti meritev in avtomatizacije proizvodnje specifične merilne naprave, ki rT>oraJo ustrezati uporabi v takih zatitevnih razmerah V (a namen so bile razvite posebne optoelektronske naprave, ti optični dajalniki pomikov (ODP), ki po natančnosti in robtjstnosti dobro ustrezajo zahtevam mehanskih delavnic. Izvedbe op-tičnih dajalnihov pomikov so različne /1/. Z njimi lahko merimo razdalja (lineamiODP)dli Kote (rotaci)Ski ODP), merrtve so lahko absolutne (glede na stalno izhodiiče) ali relativne (glede na poljubno izbrano izhodišče) Zaradi svojih lastnosti so ODP postali nepogrešljivi sestavni eiementi vseh avtomatskih obdelovalnih strojev (CNC $lro)0 in rot>otov ter predstavljajo kompromis med točnostjo, enostavnostjo, zanesljivostjo in ceno. Osnovni sestavni element ODP je merilna letev To je podolgovata steklena ploiča, na katero je naparjena tanka plast (~100 nm) kroma. V plast je izjedkan raster, pri katerem si zaporedoma sledijo enaki pasovi kroma in praznin, Nad piastJo kroma Je vgrajeno čitaino steklo z enakim rastrom tako, da drsi nad letvijo Skozi sklop letve m čitalne9d stekla svetimo m detekttramo prepuščeno svetlobo. S štetjem svetlobnih sunkov lahko določimo premik čitalnega stekla Menine letve izdelujemo s fotohtografijo. Masko z rastrom preslikamo na stekleno ploščo s kromom m fotoobčutljivo snovjo Os» vetljene dele fotoobčutijive snovi odstranimo 2 razvijalcem, krom, k( ostane spodaj, pa odjedkamo s kishno Tako rzdeiano merilno letev vgradirrw skupaj s Čitateem v kovinski nosilec Postopek izdelave ODP je večstopenjski, v vsaki stopnji izdelave pridelamo napake, ki kasneje vplivajo na natančnost meritve pomika Pn najboljših ODP. narejenih po tem postopku, proizvaja^^^^i ugotavljajo točnost pm/m Zaradi vsc večicga povpraševanja po točnejših ODP proizvajalci izboljšujejo točnost na r^7lične načine V splošnem i.inko rečemo, da se natančnost merrtve z ODP poveča. Ce vsebuje postopek izdelave menlnth letev manj stopenj Najboljši je seveda enostopenjski postopek Eno izned mo2nih izvedb enostopenjskega postopka bomo opisali v tem prispevku. Raster lahko vpišemo v tanko plast matcnala no podiugi tudi 7. lasersko svetlobo /2/ Obdelava tankih plasti z močnimi, kratkočasovmmi laserskimi sunki je tehnološko področje, ki jo zlasti zammivo zapis informacij z veliko gostoto/3.4/ Tu soinformacije vpisane v tar^ko plast matenala na nosilni podlagi v ob'iki mikroiuknjic premera <1 pm. Razrskave izdelave mikroiuknjic za potrebe optičnih dtskov so predvsem usmerjene v razvoj tankih plasti materialov z nizkem tališčem (Bi To. Te zlitine, .) /5,6,7/. To omogoča vpis informacij s sorazmerno šibkimr pofpr^ vodniški mi laserji Krorrwva plast pa ima relativno visoko tališče m velišče zato smo zu lasersko mikrolitografijo merilnih letev uporabiif sun-kovni fJd-YAG laser /2/ Zaradi specifičnih dimenzij, ki se zahtevajo pn meninih rastrih, je treba zbrati laser^^k« snop v obliko Črtice, ki ima širino nekaj pm m dolžino reda velikosti mm To smo dosegli s kombinacijo cihn-dričnoga m sfenčnoga objektiva V gonšče sistema postavimo kromovo plast merilno letve Laserski snop lokalno raztaii kromovo plast v obliki črtice merilnega rastra Na ta način polno izkoristimo svetlobno enorgiio laserskega sunka Vsak sunek pomeni na riovo generi-rano črtico Zmehanskimpozlciomrnimsistemom (siika 1), katerega premik kontroliramo z laserskim inter, ferometrom. zagotovimo dovo^J natančno poziciomranje črtic v rastru Ooisani načm vpisovanja meninega rastra je enostopenjski saj ga lahko vpisujemo v obde» lovance, ki so žo vgrajeni v kovinski nosilec in se s tem izognerrko tudi napakam pn montaži Ocena napak in meritve kažejo, da je natančnost meritev s tako izdelanimi merilnimi lelvami ±0 4 ym/m. karje skoraj za red velikosti boljše od standardnih ODP Prav tako je izde» lava menInih letev z lasersko mikrolitografijo hitrejša kot pa s fotolitografijo. Meter dolgo menlno letev lahko izdelamo prej kot v dveh minutah 2 OPTIČNI SISTEM Izhodni snop svetlobe iz obdelovalnega laserja nima pravih dimenzij niti dovolj velike gostote svetlobnega toka. da bi genenral luknjico v tanko plast kroma na meri Irki letvi. Snop svettobe moramo najprej zbrali v ustrezno dimenzijo z optičniin sistemom. Na sliki 1 je prikazana shema naprave za lasersko mikrolltografijo Optični sistem je sestavljen iz teleskopa, ki snop razširi, in co laserski snop z okroglim presekom z vpadno iinno wi v snop s presekom v obliki elipse z glavnima osema m V gorišču sferičnega objektiva je dolga os elipse v razmerju goriSČ obeh objektivov glede na vpadni snop (6). Kratka os elipse pa je odvisna od razmerja iirine vpadnega snopa in gonščne razdalje sfenčnega objektiva (5). Lahko rečemo, da sferični objektiv določa Širino Črtice, razmerje gonščnih razdalj sferičnega in c^indričnega objektiva pa dolžino črtic v rastru. 3 MEHANSKI SISTEM Za izdelavo menlnih letev je poleg vpisa posameznih Črtic pomembno tudi, kako vpisati njihovo pravilno zaporedje Pri napravi za lasersko mikrohtografjo to omogoča kombinacija mehanskega in interferome' tnčnega sistema. Mehanski sistem je izveden tako. da omogoča togo pntrjevanje obdelovanca glede na voziček Voziček, na katerem je obdelovanec, se gtpije v ravnini, pravokotni na laserski snop. Za pogon vozička uporabljamo translator s pomikom 1200 mm. ki se premika enakomernoz nastavljivo hitrostjo. Običajno je hitrost okrog 1 cm/s Na vrhu vozička Je pntrjena aluminijasta plo^. Ki je ravno brušena £6 i'abi za Iz zgornje enačbe lahko izračunamo položaj grla po preslikavi In pren^r laserskega snopa v grlu. Zanimiv bo primer, ko je leča postavljena v daijnje polje snopa. Polmer preslikanega snopa v griu je tedaj: H'- = M. KW (5) VI •n>;AiJ>* X'irtOST pri čemer je w polmer vpadnega snopa na lečj. Račun nam pokaže, da se laserskih snopov ne da zbratf v poljubno majhno točko, ampak je minimalna dimenzija sorazmerna z valovno dolžino svetlobe, gonščno razdaljo zbiralnega objektiva in obratno sorazmerna s polmerom vpadnega snopa na leči. S spreminjanjem šinne vpadnega snopa na sferičnem ol^ektivu lahko torej dolo6mo Širino Črtic v rastru. Zato je pred zbiralnim objektivom nameSčen teleskop. Na podoben način lahko opišemo tudi kombinacijo cilindričnega m sfenčnega objektiva (slika 7), ki je Silks 2 Definicijs horizontalne in vertikalne ravnosfi vodU pntrjevanje obdelovanca. Obdelovanec pritrdimo tako. da skozi luknjice v Al nosilcu izčrpamo zrak m s tem ustvaririK) podtlak med obdelovancem m nosilcem. Pre* mik vozička merimo z Zeemanskim laserskim mtef-ferometrom firme Hewlett Packard 5528A Ker se voziček giblje enakomerno, vpisujemo črtice, ne da bi ga ustavljali. Interferometer stalno meri položaj vozička in preko računalnika ob programiranih položajih proži oOdelovalnl Nd*YAG laser, ki ob vsakj sprožitvi genehra v obdelovanec iriKO. Pot vozička, ki jo naredi med samim laserskim sunkom (Icm /s * 100 ns » Inm), Je majhna v primerjavi s Širino črtice pm), tako da premikanje obdelovanca med vpisom ne vpliva na kvaliteto rastra. Poleg tega je postopek zaradi enakomernega gibanja vozička precej hitrejši, kot pa bi bJl, če bi voziček pri vsakem vpisu ustavili. Kot bomo videli kasneje, vpliva na natančnost meritve položaja črtic z interferometrom tudi ravnost giDanja merilnega retroreflektorja, ki je del interferori^etra in je pritrjen na voziček (slika 1). Ravnost gibanja merilnega retroreflektorja je odvisna predvsem od ravnosti vodil, po katerih drsi voziček. Napake vodil se preko n^čic prenašajo na gibanje vozička in s tem tjdi na merilni retroreflektor. Pri postavitvi naprave za lasersko mikroli-tografijo smo zato posebej dobro izravnali vodili. Ravnost vodil smo sproti merili s posebnim optičnim sistemom laserskega interferometra za meritev ravnosti. Vodili ie bilc treba poravnati v vertikalni (pravokotno na mizo - vertikalna ravnost) in horizontalni smeri (vzporedno s površino mize • horizontalna ravnost) - slika 2. Končne ravnosti obeh vodil so prikazane na sliki 3 fn so ti 5 pm. Za oceno napak merjenja smo izmerili tudi kote, za katere se retroreflektor zasuče, ko voziček potuje po vodilih. Podobno kot prej lahko definiramo horizontalniinvertrkalni kot. Za meritev kotov sukanja retroreflektorja smo zopet uporabili inter-ferometrično metodo. Merilni retroreflektor se suče znotraj 4»- ti O ločnih sekund na celi poti vozička (slika 4). Na koncu smo izmerili Še ravnost gibanja površine vozička glede na zbiralni objektiv obdelovalne optike Iz te^e smo določili zahteve za avtofokusirni sistem. Meritev je predstavljena na sliki 5. Površina vozička je neravna zaHOpm. Ček temu dodamo še pnčakovano naravnost obdelovanca (±5 um), lahko zahtevamo maksimalni hod avtofokusirnega sistema ±30 p m 4 INTERFEROMETRIČNI SISTEM Položajčrtlcvrastru,kiga vpisujemo z laserjem, merimo z laserskim interferometrom /10/, To je Michelsonov interferometer, ki za izvir svetlobe uporablja stabiliziran He*Ne laser. Položaj Črtic določimo posr^no tako, da merimo potožaj vozička glede na optično mizo, na kateri je pritrjen interferometriSni deiilnik snopa. Na vozičku je nameščen merilni retroreflektor, ki ima vlogo inter* ferometričnega ogledala. Referenčni retroreflektor je pritrjen kar na delilnik snopa. Med pomikanjem vozička se z njim premika tudi merilni retroreflektor, merilna elektronika pa meri pomike in preko računalnika proži obdelovalni Nd-YAG laser v programiranih legah črtic merilnega rastra Iz podatkov o točnosti gibanja vozička lahko ocenimo napako, ki jo naredimo pri meijenju lege črtic zaradi mehanskih slabosti sistema. Občutno napako pričakujemo le, če rr^eriini laserski žarek ni v osi merilnega rastra, ki ga vpisujemo. 20 15 10 E S 3» 0 o C > S ^ b C .10 -15 •20 1 I -I- . 1 . 1 I so 10C '50 300 položaj vo2ičK!i (cm) 2SC 300 <00 «so ?00 poio2d) vozitMA (cm) Slika 3 a) Izmerjena končna ravnost vodila 1 Ö) limerj&^e končna rai/nosf vodi/a 2 iS .M M 10 C •5 I 0 O C 0 •i fif V 3 ifi 10 CQ N •15 •Ü—□ -□-y«nii:aini Mor Konionnui kei >60 180 X0 220 pokožaj vozička (cm} 2*0 »3 S/'ka 4. Sukanje intarferomelnčnega retroreflaMorja pii pietnikanp voziCka zaradi neravnosii vodii Kjer je d razmik med merilnim žarkom ir osjo rastfa, pa zasuk retroreflektorja. žarek lahko nastavimo v 0$ rastra vsaj na d = 1 mm. iz tega dobimo oceno za napako Ah- ±0.05 pm. Če sta 0$ rastra In žarek merilne9d interferomelra zasukana za kot 6, dobimo pri merrtvi novo napako. Namesto pot» I merimo pot I cos6. Kot 6 smo ocenili iz meritev na red velikosti 10 Pri metrski razdalji I je napaka, ki jo naredimo pri merjenju razdalje: M = /0-cose) ±0,05 iijn. (8) «o n loa 120 '«o poiožat vdzitKa {em} Slika 5 Ravnost gibanja površine vozička pod zbiralnim objektivom delov mehanskega sistema, voziček, referenčna dolžina v referenčni veji interferometra, oDdelovanec, . . Naprava za lasersko mtkroiftografijo je zato postavljena v laboratoriju s temperaturno stabilizacijo, kjer so nihanja temperature vstopnega zraka 10,02°C Poleg tega s senzorji merimo temperaturo posameznih delov mehanskega sistema 10 raztezke upoštevamo pn meritvi pomika obdelovanca. Celotna ocena napak prt merjenju nam kaže, da je natančnost O D P, narejenih z lasersktm vpisom meni-nega rastra, ±0,4x10 , kar je skoraj za velikostni red boif&e, kot pa za svoje izdelke zagotdvk)ajO proizvajalci, ki izdelu^jo letve po standandnem fotolitografskem postopku Končna natančnost ODP pa je odvisna tudi od same vgradnje OOP v obdelovalni stroj. 5 KVALITETA LASERSKO IZDELANIH MERILNIH RASTROV Lasersko izdelane rastre smo preverili na uporabnost v ODP In natančnost meritev z njimi. Najprej nas je zanimala najmanjša, še ponovljiva velikost Iuknjrc, zato smo brez cilindričnega objektiva izdelali okrogle luknjice v kromovi plasti. Na sliki 6 je prikazana taka luknjica, ki ima premer -2 pm Ob robu luknjic so lepo vidni rotwvi. f • i Napake meritev položaja črtic pa nastanejo tudi zaradi spreminjanja hsmnega količnika zraka ter temperaturn i h raztezkov Z laserskim interfere metrom merimo optično pot merilnega retroreflektorja (lo). Optična pot je produkt med potjo (l)in lomnim količnikom sredstva, po katerem se svetloba širi, v našem prkr^eru zrakom: lo ' l.n. Količina, ki jo želimo izmeriti, pa je pot retroreflektorja In ne optična pot. Za natančno meritev moramo zato poznati lomni količnik zraka Ta je sicer zelo blizu 1, vendar pri naši natančnosti ta ocena ne zadošča Lomni kolkfnik zraka se od 1 razlikuje že na Četrtem mestu za decimalno vejico. Poleg tega se fomm količnik zraka v tem redu natančnosti riKJčno spreminja s tlakom, temperaturo In vlažnostjo zraka. Zato smo izdelali sistem za merjenje lomnega količnika, ki temelji na primerjavi optične poti referenčne dolžine v vakuumu in zraku. Njun količnik je po definiciji enak lomnemu količniku zraka. Uporabili smo dva povezana interferometra z istim izvirom, od katerih smo z enim merili premik vozička z obdelovancem, z drugim pa lomni količnik zraka Oba interferometra kontrolira računalnik, ki iz razmerja optičnih poti v zraku in vakuumu izračuna kxnni količnik zraka m ga upošteva prt izračunu razdalje v merilni veji Opisani puslupeK uiiiuyuCa rtierjenje lucTuiegd Količnika zraka z natančnostjo ±0,1x10^. Na natančnost celotne meritve položaja črtic v rastru pa vplivajo tudi temperaturni raztezki različnih sestavnih Slike 6 Najmanjše, še ponovijive okrogle luknjtce v 100 nm debeli kromov plasti široki približno 0,6 ym. Nato smo v napravo vgradih cilindrični objektiv m izdelali rastre s črticami različnih dimenzij. Na sliki 7 je posnetek -3 pm širokih črtic z vrstlčn^m elektronskim mikroskopom {SEM). Ob robovih $0 zopet lepo vidne odebelitve kn^move plasti. Le-te in poškodbe površine stekla zaradi laserskega žarka smo študirali z "atomic force" mikroskopom (AFM) Na sliki 8 sta prikazana odseka dveh črtic, ki sta bili vpisani z razlitimi parametri Na sredinr slike je področje odstranjenega kroma, kjer so na sitkt 8a vidne značilne poškodbe stekla zaradi laserskega žarka. Z optimizacijo parametrov laserskega vpisa se da te poškodbe zmanjšati (slika 8b) tako, da niso moteče pri uporabi v ODP. Natančnost meritev z ODP določa predvsem kvalrteta rastra. Napake rastra, kot so neenakomernosti dolžine črtic, širine črtic med seboj m širine posamezne črtice. Slika 7. Raster približno 3 ^im širokih črtic, posnet z eleimove piasti. vplivajo tdko rta (o^ost mehiev kol tudi na največjo možno hitrost meritve z ODP, zato smo podrobneje raziskali značilne napake rastrov, ki so izdelam z direktnim laserskim vpisom, in jih primerjali z napakami rastrov, izdelanimi s fotolilografijo. Na sliki 9 je SEM posnetek zaključkov črtic, črtice so zaključene okro9lo. vendar je krivinski radij teh zaključrtev zelo majhen v pnmerjavi z dolžino Črtice (nekaj pm proti nekaj mm), (ako da je napaka zaradi tega zanemarljiva. Neenako* memost dolžine Črtic je pnkazana na sliki 10. Zopet Je nee na kome most dolžine zanemarljiva v primeri z dolžino črtic In je enako zanemarljiva tudi napaka, ki zaradi tega nastane Neenakomernost širine Črtic pd je podana v tabeli 1. Šinna črtic vanirs za ±3%, kar je TABELA 1 Meritve Šinne Črtic Slika 6 AFM posnetek Črtice rastra Po\/ršina z odstranjenim kromom ja na sredir^i slike, ob robu te površine so vidne odebehtve kromova plasti 6} značilna poškodt)e stekla in ostanh kroma za neoptimefne parametre, b) z oplimeinimi parametn so poškodbe -Otekla zanamar^rva položaj na črtici zgornji del črtice srednji del čnice spodnji Oel črtice I 2acoredna črtica 1 5,3 pm 6.5 pm 5.6 pm 2 4.7 6,8 5,2 4,5 3 4.8 5.1 4 4,6 5.2 4,4 5 4,6 5,1 5,4 6 5.4 5,4 5,2 7 6.0 5.5 4,5 8 6.1 5,6 4,6 9 5,3 S,2 6.1 globoko znotraj meja, ki so predpisane za izdelavo ODP po fotolitografskem postopku. Med predpisi za foiolito-grafski postopek nI tistega, ki bi določal, koliko lahko 39KU X3889 ' leu 883 14\2? US Slika 9. Zaključki črtic v rastra, posneti z elektronskim vrstičnim mikroskopom vanira širina posamezne črtice po dolžini, vendar ocenjujemo, da ima ta neenakomemost enak vpliv kot pre; omenjena. Celotna napaka zaradi neenakomemosli dimenzij črtic je znotraj predpisanih mejazafotolitograf-ski postopek (10%) in Je razporejena stohastIČno med črticami. Te napake ne vplivajo na natančnost meritve z ODP, ker jih Čitaho steklo izpovpreči Slika 10 Dellaser^ko izdelanega rastra v plasti kroma s prikazano enakomerno čoižmo črtic (posnetek z optičnim mikroskopom) Veöjd m pomembnejše napake merilnih rastrovpričakU' jemo zaradi nepravilnosti poziaoniranja posameznih črtic. Te napake so posledica neravnega potovanja vozička mehanskega $isten%a m netočnosti merjenja z laserskim interferometrom. Za preverjanje položaja črtic v rastru po celi dolžini metrske merilne letve smo kort* struirali napravo, ki za odčitavanje položaja uporablja CCD kamero na mikroskopu, za merjenje pomikov pa laserski inierlerometer. Resolucija odčitavanja položaja je nekaj pod 0,1 pm, meno relativno natančnost pa ocenjujemo na ±0,4x10 , Z napravo smo izmenli položaj črtic na različnih delih rrvenlnega rastra glede na začetno Črtk» Črtice so vpisane v okviru natančnosti meritve. Preizkusili smo tudi mehansko obstojnost tanke plasti po obdelavi z laserjem. Zaradi močnega lokalnega segrevanja tanke plasti med vpisom črtice (taliiče kroma je 1870^0) in prerazporejanja materiala bi lahko kasnejeprišlodoodstopanja in luščenja tanke plasti. Za preizkus mehanske obstojnosti plasti smo uporabili standardne metode; test z lepilnim trakom, drgnenje plasti z gumico, ultrazvočna kopel. Ugotovili smo, da vost pa zaradi velikih dimenzij na 5 jim nivo fotolitografije. Laserska mtkroli* tografija odpira nove možnosti izboljšanja tako ločljivosti kot tudi natančnosti menlmh rastrov in s tem tudi ODP Rezultati nam kažejo, da dosegamo z lasersko mikroli* tografijo brez posebnih težav ločljivost merilnih rastrov -3pm (slika 7). Ločljivostje omejena z valovno dolžino svetlobe uporabljenega obdelovalnega laserja (Nd* YAG laser 2 valovno dolžino X = 1064 nm) Z razvojem posebnih (excimer) laserjev, ki sevajo v uitravioličnem podn:^čju, pa je dana možnost submikronske laserske litografije Natančnost merilnih letev se z uporabo obstoječe naprave 2d lasersko mikrohtografijo izboljša skoraj za velikostni red v primerjavi s fotolitografskim postopkom. Velika prednost laserske litografije merilnih letev pa je preövsem v tem, da omogoča vpis na letev, ki ježe vgrajena v ODP. Stem se popolnoma izognemo napaki zaradi zvijanja letve, ki nastane pn njem vgradnji v nosilni del ODP 7 LITERATURA /1/B ^turm izbrariapogldvj«i2n«ravoslovjair)tehno4ogi(e Program funKoonsInega izobraževanja mladin raziskovakCAv iz naUS. Zbirka predavanj 1968,^89. ojganizirald ifivodiid R &inc. J Slak, uredila I Dr«vanUk, Ljubljana 1990. »It 109 /2/S Kopač. J Pirž I MuUvid. B Marin M itopič U Zgoni: D Uihailevič Paster ruling aparatus. Patentna pn^ava it EU S9120767Q, 19B9 m S Kopa« J Ptri I Muševič. B Marin U Čopič, M 2g«mk, O Mihailovič Naprava za edelavo «asirov. Patentna prhava it VU 2089/88.1988 m k C Miller. R H Willens. H A War$on LA DA$dn> Bell $y«( Tacrt J 1909,(1979) M/D Uav^an BeliSysiTech J.50<6J.176* <1971} /&/M Terao K ShP9emat»u.M C^^na Y Tan^ucTii S Hoftgom« j Appi Phvs . MHII). 6881. (1979) U Ctien.V Mairello.UG Gerbet Appl Phys LeH 41(9) 694 (1982) /7/GM Blom J Appl Phys 54(11), 6175. <1983) /B/DK Gee. M L^eKe. J LevAovntz Appl Opr 23(4). 565.(1984) /91 A Yacnr IntroducOon to opitcal electronics HeN, Rinei^art arvl Winsion Inc. New York. 1971 /10/ Hewlett PacKatQ. S528A Laset m«asujemenl «y$tem U&eis Guide sept 1986