2C0VX5>CU5 XX VAKUUMIST ČASOPIS ZA VAKUUMSKO ZNANOST, TEHNIKO IN TEHNOLOGIJE, VAKUUMSKO METALURGIJO, TANKE PLASTI, Lr. POVRŠINE IN FIZIKO PLAZME Tg. XL. Sporočilo za javnost SCAN d.o.o. Preddvor Breg ob Kokri 7 ■ SI-4205 Preddvor ■ Phone +386-4-2750200 Fax +386-4-2750420 ■ info@siol.net Pfeiffer Vacuum je predstavil nov prenosni helijev merilnik netesnosti za industrijske aplikacije. • Kompaktni vakuumski merilnik netesnosti z oknom iz kremenovega stekla za iskanje in merjenje majhnih netesnosti, • zanesljivo delovanje pri visokih delovnih tlakih, • majhni stroški vzdrževanja in velika učinkovitost. Asslar, Nemčija, 11. maj 2012. Pfeiffer Vacuum je vpeljal prvi vakuumski merilnik netesnosti z oknom iz kremenovega stekla MiniTest 300. Posebnost te naprave je v tem, da helija ne zaznavamo z masnim spektrometrom kot navadno, temveč s senzorskim oknom iz kremenovega stekla. MiniTest 300 tehta le 5 kg, zato je idealen kot prenosni merilnik netesnosti, še posebej za servisiranje na klic. Kombinacija z brezžično krmilno enoto RC 500 WL omogoča, da testiranje netesnosti tudi velikih naprav in sistemov opravlja le ena oseba. MiniTest 300 deluje pri delovnih tlakih do 200 mbar*, brez potrebe po dodatnem zmanjšanju tlaka. V primerjavi s tradicionalnim merilnikom netesnosti z masnim spektrometrom kot senzorjem helija (delovni tlak okoli 20 mbar), je to precejšnja prednost pri stroških dela, uporabljenih materialih in siceršnji višini stroškov. Tudi stroški vzdrževanja so nižji v primerjavi s tradicionalnimi merilniki netesnosti, saj je MiniTest merilnik parcialnega tlaka helija, zato ne potrebuje lastnega črpalnega sistema. Meja detekcije je 5 ■ 10-7 mbar L/s (pri črpalni hitrosti črpalke 1 L/s), kar omogoča uporabo za merjenje netesnosti v različnih industrijskih aplikacijah, kot so vakuumske naprave za nanos tankih prevlek, drugi vakuumski sistemi, vakuumske peči, cevovodi (v toplarnah in termoelektrarnah) itd. Naprava ima dve različni funkciji merjenja netesnosti. Netesnost hitro poiščemo z iskalnim načinom, tj. kvalitativno iskanje netesnosti. Če pa nas poleg lociranja netesnosti zanima tudi njena velikost, uporabimo merilni način - kvantitativno zaznavanje netesnosti. Vse merilne podatke lahko preko daljinske krmilne enote shranimo na USB-ključ za nadaljnjo uporabo. Več informacij na www.pfeiffer-vacuum.com. * Za doseganje takega vakuuma potrebujemo vakuumsko črpalko, ki jo priključimo na detektor MiniTest 300, le-tega pa na napravo, ki jo evakuiramo in opihujemo s curkom helija. VAKUUMIST 32/2, julij 2012 VSEBINA ČLANKI Reaktivno ionsko jedkanje (RIE) silicija na osnovi SF6/O2-kemije Danilo Vrtačnik, Drago Resnik, Matej Možek, Borut Pečar, Tine Dolžan, Slavko Amon.................... 4 Merjenje gostote nevtralnih atomov v porazelektritvenem območju plazme Rok Zaplotnik, Alenka Vesel, Miran Mozetič.................................................... 8 Pregled galvanske korozije Matjaž Finšgar........................................................................... 13 Ljubljančanove knjige o vakuumu v Bruslju (ob tristoletnici rojstva Janeza Karla Filipa Kobencla v Ljubljani) Stanislav Južnič.......................................................................... 16 DRUŠTVENE NOVICE Vakuumska konferenca v Dubrovniku Miran Mozetič........................................................................... 26 25. simpozij o fiziki plazme in plazemskih tehnologijah Miran Mozetič........................................................................... 29 Pregled konferenc v letu 2012/2013 .......................................................... 30 Pregled člankov v Vakuumistu 2002-2011..................................................... 32 VAKUUMIST Časopis za vakuumsko znanost, tehniko in tehnologije, vakuumsko metalurgijo, tanke plasti, površine in fiziko plazme Izid publikacije je finančno podprla Javna agencija za knjigo Republike Slovenije iz naslova razpisa za sofinanciranje domačih znanstvenih periodičnih publikacij Glavni in odgovorni urednik: doc. dr. Miha Čekada Uredniški odbor: dr. Matjaž Finšgar, dr. Jože Gasperič, prof. dr. Monika Jenko, dr. Stanislav Južnič, doc. dr. Marta Klanjšek Gunde, doc. dr. Janez Kovač, prof. dr. Urška Lavrenčič Stangar, dr. Peter Panjan, mag. Andrej Pregelj, dr. Drago Resnik, doc. dr. Alenka Vesel, prof. dr. Franc Zupanič Tehnični urednik: Miro Pečar Lektor: dr. Jože Gasperič Korektor: dr. Matjaž Finšgar Oblikovanje naslovnice: Ignac Kofol Tisk: Littera picta, d. o. o., Rožna dolina, c. IV/32-36, 1000 Ljubljana Naklada: 320 izvodov Vakuumist on-line: http://www.dvts.si/arhiv Letna naročnina: 25 EUR ISSN 0351-9716 UDK 533.5.62:539.2:669-982 Izdaja Društvo za vakuumsko tehniko Slovenije Teslova 30 1000 Ljubljana Tel. (01) 477 66 00 E-pošta: info@dvts.si Domača stran društva: http://www.dvts.si Številka transakcijskega računa pri NLB: 02083-0014712647 Uredništvo Vakuumista doc. dr. Miha Čekada glavni in odgovorni urednik Vakuumista Institut »Jožef Stefan« Jamova 39 1000 Ljubljana e-pošta: miha.cekada@iis.si tel.: (01) 477 37 96 faks.: (01) 251 93 85 VAKUUMIST 32 (2012) 2 3 D. Vrtačnik s sodel.: Reaktivno ionsko jedkanje (RIE) silicija REAKTIVNO IONSKO JEDKANJE (RIE) SILICIJA NA OSNOVI SF6/O2-KEMIJE Danilo Vrtačnik1'2, Drago Resnik1'2, Matej Možek1'2, Borut Pečar1, Tine Dolžan1, Slavko Amon1'2 ZNANSTVENI ČLANEK 'Univerza v Ljubljani, Fakulteta za elektrotehniko, Tržaška 25, 1000 Ljubljana 2CO NAMASTE, Jamova 39, 1000 Ljubljana povzetek Opisan je sistem reaktivnega ionskega jedkanja silicija in mehanizem usmerjenega jedkanja s SF6/O2-kemijo. Raziskana je odvisnost osnovnih lastnosti jedkanja od ključnih procesnih parametrov ter prikazana implementacija jedkanja pri izdelavi silicijevih mikrostruktur. Ključne besede: MEMS, RIE, hitrost jedkanja, profil jedkanja, selektivnost jedkanja RIE etching of silicon based on SF6/O2 chemistry Abstract The system for reactive ion etching and mechanism of directional etching with SF6/O2 chemistry are described. Investigation of basic process parameters was investigated and results of etching were implemented into fabrication of silicon microstructures. Keywords: MEMS, RIE, etch rate, etch profile, selectivity of etching 1 UVOD Pri izdelavi naprednih mikrostruktur, kot so npr. mikroelektromehanski in mikrooptoelektromehanski sistemi (angl. MEMS, MEOMS), je natančna kontrola mikroobdelave silicija in kompatibilnost jedkanja silicija s polprevodniškimi mikrotehnologijami ena od osnovnih zahtev. Reaktivno ionsko jedkanje (angl. Reactive Ion Etching, RIE) daje v primerjavi z mokrimi anizotropnimi jedkanji mnogo več možnosti realizacije različnih mikrostruktur, predvsem zaradi boljše kontrole profila jedkanja, večje anizotropije in neodvisnosti jedkanja od kristalografske orientacije. Zato jedkanje silicija po RIE-postopku postaja eno od osnovnih orodij za mikroobdelavo silicija. Osnovni problem pri usmerjenem jedkanju silicija po RIE-postopku je v iskanju ravnovesja med istočasnim ščitenjem (pasivacijo) stranskih sten pred jedkanjem in jedkanjem dna mikrostruktur. Ko znamo tak postopek ustrezno kontrolirati, je mogoče izdelovati mikrostrukture z odlično kontrolo profila jedkanja. 2 OSNOVNA ZGRADBA RIE-SISTEMA Shema uporabljenega RIE-sistema za suho jedkanje silicija je prikazana na sliki 1. V osnovi je to standardni sistem, ki se uporablja v mikroelektroniki za usmerjeno jedkanje tankih izolacijskih plasti, kot sta npr. silicijev oksid in silicijev nitrid. V našem primeru smo sistem Plasmalab pP 80 proizvajalca Oxford Instruments, Plasma Technology, prilagodili tudi za usmerjeno jedkanje silicija. Sistem sestavlja aluminijasta vakuumska komora, gornja elektroda, ki je na ozemljitvenem potencialu in ki hkrati zagotavlja homogen dovod plinov v komoro, ter električno izolirana spodnja elektroda premera 240 mm, ki je priključena na RF-generator in ki se hkrati tudi rabi kot nosilec podlag. Medelektrodna razdalja je 50 mm. RF-generator frekvence 13,56 MHz in moči 300 W je kapacitivno povezan s plazmo. Tlak in pretoki plinov v komori so kontrolirani z avtomatsko kontrolo tlaka (angl. Automatic Pressure Control, APC) ter z masnimi merilniki pretoka (angl. Mass Flow Controller, MFC). Dobro odvajanje toplote od vzorca in nosilca vzorca na vodno hlajeno elektrodo na podlagi se zagotavlja s tankim premazom visoko-vakuumske masti. 3 OSNOVE REAKTIVNEGA IONSKEGA JEDKANJA (RIE) SILICIJA S SF6/O2-KEMIJO PRI SOBNI TEMPERATURI Najpogosteje uporabljena kemija za suho jedkanje silicija temelji na fluorovi plazmi. V prvi vrsti je to zato, ker so ti plini nestrupeni in ker se jedka silicij z visoko hitrostjo. Shematski prikaz mehanizma usmer- Slika 1: Shema RIE-sistema: • gornja elektroda z distribucijo plinov • elektroda na podlagi z RF-generatorjem (GEN) in avtomatsko prilagoditveno enoto (AMU) • vodno hlajena elektroda (WC) • turbo (TMP) z dvostopenjsko rotacijsko ~rpalko (ROT) • zaporni ventil (GV) in avtomatska kontrola tlaka (APC) • metilniki tlaka (CM) in (PEN) 4 VAKUUMIST 32 (2012) 2 D. Vrtačnik s sodel.: Reaktivno ionsko jedkanje (RIE) silicija Slika 2: Shematski prikaz mehanizma usmerjenega jedkanja z RIE in SF6/O2-kemijo: a) idealni usmerjeni profil in b) realni profil s prikazanim lateralnim spodjedkavanjem a in pozitivnim nagibom stranskih sten profila globine h ter {irine odprtine w. jenega jedkanja silicija z RIE in SF6/O2-kemijo je prikazan na sliki 2. V plazmi molekule plina SF6 razpadejo, proizvedejo fluorove radikale (F*) in ti kemijsko jedkajo silicij. Produkt jedkanja je plin SiFx, najpogostej{e sestave SiF4. Prav tako kisikove molekule v plazmi razpadejo v kisikove radikale (O*), ki pasivirajo silicijevo povr{ino s silicijevimi oksifluoridi (SiOxFy). Plin SF6 je tudi izvir ionov SF/, ki odstranjujejo pasivacijsko plast z dna strukture preko formiranja hlapljivih produktov SOxFy. Tak{no jedkanje je poznano iz literature pod imenom »ion-inhibitor« ali »desorption-controlled« RIE-jedkanje [1]. 4 REZULTATI JEDKANJA Osnovni procesni parametri jedkanja so: tlak, skupni pretok in razmerje plinov ter RF-mo~. Poleg procesnih parametrov je rezultat jedkanja odvisen tudi od izpostavljene povr{ine, ki se jedka (silicijevega bremena, angl. loading) in geometrijskega razmerja med vi{ino in {irino struktur (angl. Aspect Ratio, AR). Na sliki 2b je to razmerje h/w. Prvi korak pri iskanju ustreznih procesnih parametrov jedkanja, ki dajejo usmerjen profil oziroma profil z vertikalnimi stenami, dolo~imo s tako imenovano metodo ~rnega silicija (angl. Black Silicon Method - BSM), ki jo je razvil H. Jansen s sodelavci [2]. Metoda temelji na ugotovitvi, da se ~rni silicij pojavi takrat, ko je anizotropija jedkanja največja. Profil je tedaj vertikalen, povr{ina dna strukture pa je tedaj hrapava, ker vsebuje mikrometrske ostanke nejedkanega silicija v obliki trave (angl. grass). Gladko povr{ino dobimo, če pomaknemo jedkanje v režim, kjer so stene struktur rahlo obrnjene navznoter, to je v smeri negativnega konusa (angl. negative taper- 24 26 28 30 32 34 38 38 40 42 delež Oj v skupnem pretoka plina, Slika 3: Hitrost jedkanja silicija in selektivnost jedkanja oksidne maske v odvisnosti od deleža O2 v skupnem pretoku plina ing). Teoretično je anizotropni režim mogoče doseči za skoraj poljubno ustrezno kombinacijo tlaka in RF-moči ter drugih procesnih parametrov. Na profil jedkanja je mogoče vplivati tudi z dodajanjem oziroma odvzemanjem silicijevega bremena. S tem vplivamo na pravilno razmerje med gostoto nevtralnih delcev in ionov, ki sodelujejo pri jedkanju. V osnovi je vpliv procesnih parametrov na lastnosti usmerjenega jedkanja naslednji: večji pretok plina povzroča, da je profil bolj izotropen, medtem ko večje silicijevo breme povzroča, da je profil bolj pozitivno konusen (angl. positive tapered). Pomembno je tudi plinsko razmerje med plinoma SF6 in O2, ker preveliko ali premajhno razmerje dela profil bolj izotropen oziroma bolj pozitivno konusen (to je nagnjenega v smeri navzven). Podobno se na obliko profila odzivata tudi RF-moč in tlak, ki soodvisno vplivata na energijsko porazdelitev ionov ter gostoto nevtralnih delcev in ionov v plazmi. Nepravilna izbira le-teh povzroča poleg omenjenega {e stranske efekte na obliko profila, kot so ukrivljenost (angl. bowing) in zasekanost (angl. trenching). 1.S -r so O.e ..... ■ T .....- ■■■ •■ ч ---------- - '1 ■■■ ■ ................. - r........ I 45 10 15 20 25 30 35 40 skupni pretok plinov. qVsccm Slika 4: Hitrost jedkanja silicija in selektivnost jedkanja oksidne maske v odvisnosti od skupnega pretoka plina VAKUUMIST 32 (2012) 2 5 D. Vrtačnik s sodel.: Reaktivno ionsko jedkanje (RIE) silicija Nanos plasti SiO^ v glavnem dolo~a vsebnost kisika v plinu SF6 in temperatura podlage. Eksperimenti so pokazali, da je zmes od 22 % do 28 % kisika v celotni zmesi plina tista, ki zagotavlja ustrezno pasivacijo stranskih sten, hkrati pa omogo~a ustrezno odstranitev pasivacije z dna silicija [3]. Slika 3 prikazuje hitrost jedkanja silicija ERSi in selektivnost jedkanja oksidne maske Sox v odvisnosti od deleža O2 v skupnem pretoku plina za naslednje parametre jedkanja: sobna temperatura, RF-mo~ 150 W, skupni pretok plina pri standardnih razmerah 36 cm3/min (tj. 36 sccm), tlak 0,16 mbar in silicijevo breme 80 cm2. Vidimo, da hitrost jedkanja silicija naglo upada, ~e koncentracija O2 naraš~a preko vrednosti 30 %. Takrat debelejša pasivacijska plast za~ne zavirati dostop nevtralnim delcem do silicijevih površinskih vezi. Na sliki 4 je prikazana odvisnost hitrosti jedkanja silicija in selektivnost jedkanja oksidne maske od skupnega pretoka plina za enake parametre jedkanja, kot so bili uporabljeni na sliki 3, in za razmerje pretokov plinov ^»(SF^O^ = 3, to je 25 % O2 v skupnem pretoku. Hitrost jedkanja naraš~a s koli~ino dovedenega plina, kar je razumljivo, saj večja koli~ina plina generira bogatejšo plazmo z več delci, ki sodelujejo Slika 5: Polje silicijevih stebričkov pod 600 nm debelo oksidno masko: a) skoraj vertikalni profil z rahlim lateralnim spodjedkavanjem silicija pod oksidno masko in profilom, ki kaže rahel efekt ukrivljenosti profila in b) močno spodjed-kana struktura z močnim negativnim konusom 6 pri jedkanju. Naraščanje ERSi s pretokom plina ni linearno, ker se pri konstantnem tlaku in pri večjem pretoku generira relativno manj delcev. To je posledica nižje ionizacijske proste poti elektronov. Selektivnost jedkanja oksidne maske je definirana z razmerjem med hitrostjo jedkanja silicija in hitrostjo jedkanja oksida. Čim večja je ta, manj maskirnega oksida porabimo za to, da izjedkamo enako globino silicija. S slik 3 in 4 je razvidno, da je selektivnost odvisna tako od deleža O2 v skupnem pretoku kakor tudi od velikosti skupnega pretoka plina in je v prvi vrsti funkcija hitrosti jedkanja silicija: čim večja je hitrost, tem večja je selektivnost. Vzrok je v dejstvu, da se hitrost jedkanja oksida s fluorovimi radikali znatno poveča, če so prisotni še ioni (angl. ionassisted etching). Energija in gostota ionov sta v veliki meri funkciji RF-moči in tlaka, zato je pri konstantni RF-moči in tlaku hitrost jedkanja oksida bolj ali manj konstantna. Sliki 5a in 5b prikazujeta rezultat jedkanja stebričkov, maskiranih z oksidno masko dimenzij 6,5 pm x 6,5 pm. V prvem primeru je bil uporabljen optimalen set procesnih parametrov (RF-moč = 145 W, tlak 0,13 mbar, skupni pretok plinov 36 sccm, razmerje plinov F(SF6/O2) 2,5 in silicijevo breme 40 cm2. Primer jedkanja, prikazanega na sliki 5b, se razlikuje od primera na sliki 5a v tem, da ni bilo uporabljenega dodatnega silicijevega bremena, RF-moč pa dvignjena iz 145 W na 180 W. Razvidno je, da manjše breme povzroča večje lateralno spodjedkavanje struktur in da večja energija ionov pri relativno visokem tlaku omogoča, da imajo razpršeni ioni v plazmi, ki bombardirajo silicijevo površino pod različnimi koti, zadostno energijo, da odstranjujejo pasivacijsko plast iz sten stebričkov. Slika 6: Jedkanje preizkusnih silicijevih mikrostruktur lateralnih dimenzij med 3 pm in nekaj 100 pm ter z višine okrog 20 pm VAKUUMIST 32 (2012) 2 Slika 7: Realizacija mikrokanala v prerezu strukture, širine 300 pm in višine 145 pm Na sliki 6 je prikazan primer optimiziranega jedkanja preizkusnih silicijevih mikrostruktur, kot so polni in votli stebri~ki ter okrogle in pravokotne votline. Mikrostrukture so izdelane na silicijevi plo{~ici premera 100 mm, s 40-odstotnim silicijevim bremenom. Hitrost jedkanja je v tem primeru 1,8 pm/min, selektivnost jedkanja silicija glede na oksidno masko je 70 ter lateralno spodjedkavanje 4-odstotno. Zavedati se moramo, da zaradi kompleksnosti procesa jedkanja vsaka nova oblika zahteva individualno optimizacijo [4, 5]. Slika 7 prikazuje primer 300 pm širokega in 145 pm visokega silicijevega mikrokanala v prerezu. Za masko je bil uporabljen fotorezist debeline 8 pm. V tem primeru je imela silicijeva bremenska ploš~ina samo 2,75 cm2, zato je bila hitrost jedkanja silicija 1,8 pm/min dosežena pri znižanih vrednostih parametrov jedkanja: pri pretoku plina SF6 15 sccm, tlaku 0,13 mbar in RF-mo~i 135 W [6]. D. Vrtačnik s sodel.: Reaktivno ionsko jedkanje (RIE) silicija ... 5 SKLEP Raziskan in razvit je bil postopek suhega jedkanja silicija v standardnem RIE-sistemu za suho jedkanje tankih izolacijskih plasti s SF6/O2-kemijo pri sobni temperaturi. Proces jedkanja je bil uporabljen pri razvoju razli~nih MEMS aplikacij, kot so izdelava mikrofluidnih kanalov za mikroprocesorje goriva, mikro~rpalke, mikrokonice, itd. Glavna pomanjkljivost omenjenega na~ina pred namenskimi suhimi jedkalniki za globoko jedkanje silicija (ang. Deep Reactive Ion Etching - DRIE) je v omejeni hitrosti jedkanja, prevelikem spodjedkavanju (tipi~no 5-10 % glede na globino jedkanja), nizki selektivnosti in predvsem omejeni možnosti jedkanja struktur z velikim razmerjem med višino in širino struktur (AR). To razmerje je tipi~no omejeno na AR = 4-6, nasprotno od DRIE-jedkalnikov, kjer je mogo~e dose~i AR tudi večje od 20. Prav tako pri DRIE ni lateralnega spodjedkavanja, doseči pa je mogoče znatno večje hitrosti (tipično 5-10 pm/min) in večje selektivnosti jedkanja na oksidno masko (100-200). ZAHVALA Raziskavo je sofinanciralo Ministrstvo za visoko šolstvo, znanost in tehnologijo Republike Slovenije. 6 LITERATURA [1] M. Elwenspoek and H. Jansen, Silicon Micromachining, Cambridge University Press, Cambridge CB2 1RP, 1998. [2] H. Jansen, H., M. De Boer, R., Legtenberg, M., Elwenspoek, J. Micromech. Microeng., 5 (1995), 115-120 [3] D. Vrtačnik, D. Resnik, U. Aljančič, M. Možek, S. Amon, Micro-eletronics, MEMS, and Nanotechnology, 11.-14. 12. 2005, Brisbane, Avstralija, 11-14 December 2005. Proceedings of SPIE on CD-ROM, 2005, vol. 6037, 603720 [4] K. P. Müller, K. Roithner, H.-J. Timme, Microelectron. Eng., 27 (1995), 457-462 [5] C. J. Mogab, J. Electrochem. Soc., 124 (1977), 1262-1268 [6] D. Vrtačnik, D. Resnik, U. Aljančič, M. Možek, S. Penič, S. Amon, 44th international Conference on Microelectronics, Devices and Materials and the Workshop on Advanced Plasma Technologies, 17.-19. 9. 2008, Fiesa, Proceedings, 2008, str. 93-98 VAKUUMIST 32 (2012) 2 7 R. Zaplotnik s sodel.: Merjenje gostote nevtralnih atomov v porazelektritvenem območju plazme MERJENJE GOSTOTE NEVTRALNIH ATOMOV V PORAZELEKTRITVENEM OBMOČJU PLAZME Rok Zaplotnik12, Alenka Vesel2, Miran Mozetič2 STROKOVNI ČLANEK 'Mednarodna podiplomska šola Jožefa Stefana, Jamova 39, 1000 Ljubljana 2Institut »Jožef Stefan«, Jamova 39, 1000 Ljubljana povzetek V članku predstavljamo nekaj v literaturi najpogostejših metod za merjenje gostote nevtralnih atomov v porazelektritvenen območju plazme. Metode smo opisali za primer merjenja nevtralnih kisikovih atomov, čeprav se večina opisanih metod lahko uporablja tudi za določanje gostote drugih nevtralnih atomov. Predstavljene so tudi primerjave med nekaterimi metodami. Rezultati teh primerjav nam razkrijejo določene prednosti in pomanjkljivosti metod. Ključne besede: katalitične sonde, NO-titracija, TALIF, aktino-metrija, FOCP, kisikova plazma Neutral atom density measurement in the plasma postglow region ABSTRACT in this paper some of the most common methods for neutral atom density measurements in plasma postglow are presented. The methods are described for the case of neutral oxygen density measurement, although most of the described methods can be used to determine the density of several types of neutral atoms. A comparison of methods is presented. The results of these comparisons reveal certain advantages and disadvantages of the methods. Key words: catalytic probes, NO titration, TALIF, actinometry, FOCP, oxygen plasma 1 UVOD Pomembnost nevtralnih atomov kot reaktivnih delcev v sodobni znanosti narašča. Nevtralni atomi se uporabljajo npr. v nanoznanosti [1-3] za sintezo velikih količin nanožičk iz kovinskih oksidov, v biomedicinski znanosti [4, 5] za sterilizacijo delikat-nih biokompatibilnih materialov in v znanosti o površinah [6, 7] za spreminjanje površinskih lastnosti. Največje gostote nevtralnih atomov dobimo z elektromagnetnimi razelektritvami. Tipična gostota nevtralnih kisikovih atomov v nizkotlačnih kisikovih plazmah je okoli 1021 m-3 [8-10]. Gostote nevtralnih atomov pa, v odvisnosti od razelektritvenih parametrov, lahko variirajo za več redov velikosti. Ker je za določeno uporabo potrebna točno določena gostota nevtralnih atomov, jo je treba kar se da natančno določiti. Za določitev gostote nevtralnih atomov obstaja več metod. Vsaka metoda določanja gostote nevtralnih atomov v porazelektritvenem območju plazme ima tako prednosti kot pomanjkljivosti. Nekatere metode so primernejše za določanje nizkih gostot, druge za določanje gostot z dobro časovno in prostorsko ločljivostjo, nekatere so enostavne in preproste za uporabo, druge zahtevne in drage. Oglejmo si, kako nekatere od teh metod delujejo. 2 METODE MERJENJA GOSTOTE NEVTRALNIH KISIKOVIH ATOMOV V tem poglavju so na kratko predstavljene v literaturi najpogostejše metode za merjenje gostote nevtralnih kisikovih atomov. večina opisanih metod je uporabna tudi za merjenje drugih nevtralnih atomov (npr. dušikovih in vodikovih). 2.1 NO-titracija NO-titracija je precej zanesljiva kemična metoda za določanje gostote nevtralnih kisikovih atomov. Metoda temelji na reakciji med atomi kisika, ki so nastali v plazmi, in dušikovega oksida, ki ga dovajamo v porazelektritveno komoro. Zaradi varnostnih razlogov se po navadi uporablja mešanico dušikovega oksida in argona. V porazelektritveni komori potekajo naslednje reakcije [11]: O + NO + Ar ^ NO2* + Ar (1) NO2* + Ar ^ NO2 + Ar (2) NO2* ^ NO2 + hv (kontinuum) (3) Pri reakciji (1) nastaja metastabilna molekula NO2*, ki pri prehodu v osnovno stanje (3) seva zeleno svetlobo z vrhom okoli X = 575 nm. Intenziteto te svetlobe merimo z optično emisijsko spektroskopijo. Število nastalih metastabilnih molekul NO2* je odvisno od gostote nevtralnih kisikovih atomov, nastalih v plazmi, in od volumenskega pretoka NO. Sledi, da je intenziteta izsevane svetlobe /(NO2*) sorazmerna z gostoto kisikovih atomov nO in gostoto dušikovega oksida nNO. Zvezo lahko zapišemo kot: /(NO2*) = K(X) • nNO • no (4) kjer je K(X) konstanta, ki je odvisna od spektralne občutljivosti spektrometra, energije fotonov, verjetnosti emisije in od hitrosti potekanja reakcij (1) in (3). Enačbo (4) lahko enostavneje zapišemo kot: /(NO2*) = r • nNO (5) kjer je r = K(X) • nO. Enačba (4) pove, daje intenziteta izsevane svetlobe /(NO2*) linearno odvisna od gostote oziroma volumenskega pretoka dušikovega oksida. 8 VAKUUMIST 32 (2012) 2 R. Zaplotnik s sodel.: Merjenje gostote nevtralnih atomov v porazelektritvenem območju plazme Iz naklona premice r, ki ga dobimo z merjenjem intenzitete I(NO2*) v odvisnosti od volumenskega pretoka NO, lahko izračunamo gostoto nevtralnih kisiko-vih atomov nO. Konstanto K(A) se določi s kalibracijo z dušikom. Pomanjkljivost te metode sta predvsem strupena plina No in No2. poleg tega pa je metoda uporabna le v porazelektritvenem območju, saj se v razelektrit-venem območju NO zaradi trkov z elektroni uniči. Gostota nevtralnih atomov v plazmi se lahko torej določi le z uporabo primernega modela in podatkov, izmerjenih v porazelektritvi. 2.2 Absorpcijske metode Pri optično absorpcijskih tehnikah se pogosto uporablja opazovanje fluorescence, ki jo povzroči absorpcija fotona curka laserske svetlobe, s katero se selektivno vzbuja atome v osnovnem stanju. Vzbujen atom se nato deekscitira in izseva foton z valovno dolžino v vidnem spektru. Za vzbujanje atomov iz osnovnega stanja se uporabijo fotoni s točno določeno energijo. Atom absorbira energijo in preide v višje vzbujeno stanje. Nato se s fluorescenco oziroma z izsevanjem svetlobe relaksira v nižje stanje. V primeru kisikovih atomov morajo fotoni imeti najmanj valovno dolžino 130 nm, kar ustreza prehodu med osnovnim stanjem 2p4 3P in vzbujenim stanjem 3s 3S [12]. To je namreč dovoljen optični prehod z najmanjšo energijo (9,5 eV). Ker pa nastavljivih laserjev pri tako kratkih valovnih dolžinah ni, so razvili tako imenovano dvofotonsko absorpcijo. Tehnika, ki za vzbujanje atomov iz osnovnega stanja uporablja dvofotonsko absorpcijo, se imenuje dvofotonska laserska fluorescenca oziroma TALIF (Two Photon Laser-Induced Fluorescence). Atom istočasno absorbira dva fotona z energijo enako polovici energije prehoda. Za kisikove atome je prvi tak prehod iz osnovnega stanja v stanje 3p 3P. Za ta prehod je potrebna energija okoli 11 eV, kar pomeni dva fotona z valovno dolžino 226 nm. Svetlobo pri tej valovni dolžini pa je že mogoče doseči z uporabo določenih nelinearnih optičnih procesov. Gostota kisikovih atomov, vzbujenih iz osnovnega stanja v stanje 3p 3P, se torej določi z merjenjem fluorescence v stanje 3s 3S pri 845 nm. Tehnika TALIF ima zelo dobro prostorsko in časovno ločljivost. prostorska je določena z debelino laserskega curka, ki je tipično okoli 100 pm, časovna pa je reda velikosti 0,1 ms. Metoda ima tudi nekaj pomanjkljivosti. Zaradi bistveno manjšega preseka za dvofotonsko absorpcijo kot za enofotonsko je za to tehniko merjenja potreben zelo močan vir laserske svetlobe, kar pomeni, da je metoda zelo draga. Za določanje absolutne gostote atomov je metodo treba tudi umeriti, za kar se je uporabljala NO-titracija, dokler niso Goehlich s sodel. [13] ponudili tehnično bolj preprosto kalibracijo z žlahtnimi plini. Poleg tega tehnika omogoča merjenje nevtralnih kisikovih atomov le v porazelektritvenem območju, kjer so atomi zopet v osnovnem stanju in ne v vzbujenem, kot so bili v območju razelektritve. 2.3 Aktinometrija Aktinometrijo sta prvič, kot tehniko za določanje gostote fluorovih atomov, leta 1980 predstavila J. W. Coburn in M. Chen [14]. Pri tej tehniki določanja gostote prostih atomov v osnovnem stanju se uporablja optična emisijska spektroskopija in aktinometer. Slednji je plin, ki ga v majhnih a znanih koncentracijah dodamo v plinsko mešanico. Po navadi je to žlahtni plin, ki ima sevalni prehod blizu prehoda delcev, katerih gostoto želimo izmeriti. Pri meritvah nevtralnih kisikovih atomov se najpogosteje uporablja argon. Ker je gostota argonovih atomov v plinski mešanici poznana, se z razmerjem med intenzitetami vrhov emisijskih črt argona in kisika lahko določi gostoto nevtralnih kisikovih atomov. Primerja se intenziteta kisikove emisijske črte 845 nm z intenziteto argonove črte pri 750 nm. Razmerje med intenzitetama emisijskih črt opiše izraz [15]: I Ar n Ar J oo(e) f (eWede _fü_ J o Ar(e) f (e)Ve~de (6) kjer sta IO in IAr intenziteti vrhov emisijskih črt, nO in nAr številski gostoti atomov v osnovnem stanju, oO in oAr preseka za elektronsko ekscitacijo atoma v osnovnem stanju, f(e) funkcija porazdelitve energije elektronov in e energija elektronov. Ker opazujemo razmerje intenzitet črt, se gostoti elektronov okrajšata in zato izraz ni odvisen od gostote elektronov ne, še vedno pa je odvisen od f(e). če sta integrala konstantna, lahko izraz (6) zapišemo kot: kr k Ar n Ar = k ' (7) kjer so k sorazmernostne konstante. Ta izraz je temelj aktinometrije kot tehnike za merjenje gostote atomov v osnovnem stanju. V izrazu (7) je k'0 konstanta, le če sta odvisnosti od energije pri presekih oO(e) in oAr(e) enaki ali če se v področju integriranja f(e) bistveno ne spremeni. V realnih sistemih pa je oblika presekov relativno nepomembna, saj f(e) hitro pada z večanjem energije n Ar O n Ar Ar VAKUUMIST 32 (2012) 2 9 R. Zaplotnik s sodel.: Merjenje gostote nevtralnih atomov v porazelektritvenem območju plazme in je pomembna le gostota elektronov, ki imajo energijo večjo od obeh prehodov. Če sta energiji prehodov £O in £Ar podobni, je k0 konstanten. Največja pomanjkljivost te tehnike je v njenih dveh predpostavkah. Aktinometrija namreč temelji na predpostavkah, da se stanje O* vzbudi zgolj z neposrednim trkom elektrona z atomom v osnovnem stanju: O(2p4 3P) + e ^ O*(3p 3P) + e (8) vzbujeno stanje o* pa izgubi energijo le z izsevanjem karakterističnega fotona: O*(3p 3P) ^ O*(3s 3S) + hv (845 nm) (9) Iz (8) in (9) je torej razvidno, daje intenziteta vrha emisijske črte pri 845 nm direktno sorazmerna s koncentracijo vzbujenih atomov O* oziroma kar z gostoto atomov v osnovnem stanju o. Dejansko pa do stanja O* lahko pride na več načinov. Poleg vzbujanja iz osnovnega stanja se stanje O* lahko vzbudi z večstopenjsko ekscitacijo, z deekscitacijo z višjih vzbujenih stanj ali, v določenih okoliščinah, z disociativno ekscitacijo [16]: O2 + e ^ O* + O + e (10) K intenziteti emisijske črte torej ne prispevajo le prosti atomi v osnovnem stanju, pač pa tudi molekule, ki pri trku z elektronom doživijo disociativno ekscitacijo. Poleg tega pa vzbujeno stanje O* ne izgublja energije le pri deekscitaciji, ampak tudi pri trkih med atomi [15, 16]. Ti popravki tehniko aktinometrije precej zakom-plicirajo, saj je za točno določanje gostote nevtralnih kisikovih atomov treba upoštevati dokaj kompleksen kinetični model [17]. 2.4 Katalitične sonde Katalitične sonde so med omenjenimi metodami najstarejše. Prvič je katalitično sondo opisal W. V. Smith leta 1942 [18]. V omenjenem članku je uporabil platino, ki jo je kot katalitični material naparil na stekleno kapico. Temperaturo steklene kapice je meril s termočlenom. Za povezavo med temperaturo katali-tičnega materiala in gostoto atomov je ponudil le preprosto kvalitativno razlago: ko je gostota atomov v okolici sonde večja, potem je tudi temperatura sonde višja. Novo različico katalitične sonde, aktivno grelno sondo, sta leta 1961 predstavila Wood in Wise [19]. Za katalitični material sta uporabila greto katalitično žarilno nitko. Namesto merjenja temperature katalizatorja sta merila električno moč, ki je potrebna, da temperatura žarilne nitke ostaja nespremenjena, potem ko se na njeni površini pričnejo rekombinacije. Čeprav je merjenje z aktivno grelno katalitično sondo precej bolj neposredno, pa zaradi preprostosti v literaturi še vedno večkrat najdemo navadno katalitično sondo. Katalitične sonde se segrevajo zaradi disipacije energije, ki jo povzročajo heterogene rekombinacije atomov na površini katalizatorja. Iz temperaturne krivulje sonde pa lahko določimo gostoto nevtralnih atomov v okolici sonde ali pa rekombinacijski koeficient uporabljenega katalizatorja. Sonde pri delovanju izkoriščajo eksotermno naravo rekombinacijske reakcije, ki je v našem primeru: O + O ^ O2 (11) Na vsak par atomov, ki se rekombinira na površini sonde, se sprosti disociacijska energija WD, ki je v primeru reakcije (11) WD = 5,12 eV [20]. Če je sonda izpostavljena gostoti atomov n in lahko zanemarimo usmerjen tok plina, je gostota toka atomov na sondo enaka j = n • v/4, kjer je v termična hitrost atomov in se izračuna z enačbo: v = 7 8 kT 0 /nma (12) kjer je T0 kinetična temperatura plina v bližini sonde, ma je masa atomov in k Boltzmannova konstanta. Gostota toplotnega toka, sproščenega na sondi z rekombinacijskim koeficientom y, je potem: 1W J = y .1. n-v--^ (13) 4 2 Kot je razvidno iz enačbe (13) je gostota toplotnega toka, ki se sprošča na sondi, odvisna ne le od okolice sonde, ampak tudi od rekombinacijskega koeficienta materiala, iz katerega je sonda narejena. Če torej želimo iz sonde dobiti čim boljši signal, se mora le-ta bolj segrevati in mora zato biti narejena iz materiala, ki ima čim večji rekombinacijski koeficient. Če pa merimo v območju z zelo veliko gostoto atomov, mora biti rekombinacijski koeficient manjši, da se sonda ne stali. Katalitične sonde imajo v primerjavi z drugimi opisanimi metodami kar nekaj prednosti. Zaradi enostavne izdelave so izredno dostopne in poceni, enostavne za uporabo, kvantitativne in se lahko uporabljajo za merjenje gostote nevtralnih atomov v območju razelektritve. Metoda merjenja s katalitičnimi sondami ima tudi nekaj pomanjkljivosti. Med omenjenimi metodami ima namreč najslabšo časovno ločljivost, saj je za eno meritev treba počakati toliko, da se sonda segreje do ravnovesne temperature, kar navadno traja nekaj deset sekund. Pri sistematičnih meritvah karakteristik plazme sicer obstaja postopek meritev, ki ta čas bistveno zmanjša, a je časovna ločljivost še vedno reda velikosti sekunde. Poleg tega je merjenje s katalitično sondo destruktivna metoda, saj je sonda ponor atomov in se gostota 10 VAKUUMIST 32 (2012) 2 R. Zaplotnik s sodel.: Merjenje gostote nevtralnih atomov v porazelektritvenem območju plazme nevtralnih atomov v njeni okolici zaradi tega zmanjša, kar pa ni velika pomanjkljivost, saj se vpliv sonde na okolico preprosto upošteva pri obdelavi podatkov. Glavna pomanjkljivost navadne katalitične sonde je naslednja: Pri eksperimentih, kjer se uporablja radio-frekvenčna razelektritev in meritve s katalitično sondo potekajo blizu razelektritvenega območja, so največji problem elektromagnetne interference. Električni signal, ki ga odčitavamo na katalitični sondi, je zelo šibek in zato že zaradi manjših radiofrekvenčnih motenj postane neuporaben. To pa je tudi glavni razlog, zakaj so razvili novo verzijo katalitične sonde, optično katalitično sondo [21]. Optična katalitična sonda (FOCP - Fiber Optic Catalytic Probe) za zajemanje signala uporablja optična vlakna in jo zato elektromagnetne interference ne motijo. 3 PRIMERJAVA METOD V tem poglavju si bomo ogledali primerjave nekaterih prej omenjenih metod. Na sliki 1 so predstavljeni rezultati primerjave NO-titracije in optične katalitične sonde (FOCP). Mozetič s sodel. [22] je ti dve metodi primerjal v porazelektritvi mikrovalovne plazme, ustvarjene v surfatronu v mešanici plinov kisika in argona, in prišel do sklepa, da sta obe metodi dali podobne rezultate. S slike 1 je razvidno, da se izmerjene gostote razlikujejo največ do 1,7-krat. Primerjava je razkrila nekaj prednosti obeh metod. NO-titracija lahko meri gostoto nevtralnih kisikovih atomov pri zelo majhnih koncentracijah kisikovih atomov, tudi pod stopnjo disociacije 10-3, medtem ko je FOCP veliko hitrejša metoda, pri kateri se ne uporablja strupenih plinov. Za primerjavo metode TALIF z optično katalitično sondo (FOCP) je Gaboriau s sodel. [23] uporabil dušikovo plazmo. Merili so dušikove atome v poraz- 5.5 4.5 3,5 2.5 1,5 FOCP —1— NOtitracija -X..... - f / X........ 20 40 60 80 100 120 140 160 180 P /W Slika 1: Gostota nevtralnih kisikovih atomov v porazelek-tritveni komori mikrovalovne plazme, v odvisnosti od moči mikrovalovnega generatorja, merjena z optično katalitično sondo (FOCP) in z NO-titracijo pri 16 Pa [22] Slika 2: Gostota nevtralnih dušikovih atomov v porazelek-tritveni komori mikrovalovne plazme v odvisnosti od tlaka v porazelektritveni komori pri 270 W, merjena z optično katalitično sondo (FOCP) in metodo TALIF [23] elektritvi dušikove plazme, ustvarjene s surfatronskim mikrovalovnim generatorjem. Na sliki 2 so predstavljene gostote nevtralnih dušikovih atomov v odvisnosti od tlaka v porazelektritveni komori, kjer je bila mikrovalovna moč 270 W. Ugotovimo lahko, da se rezultati, izmerjeni z metodo TALIF, le do okoli 30 % razlikujejo od rezultatov, izmerjenih z optično katalitično sondo. Metodi sta torej primerljivi, saj so odmiki med rezultati v okviru natančnosti metod. Metoda TALIF ima boljšo časovno in prostorsko ločljivost, optična katalitična sonda (FOCP) pa je preprostejša za uporabo, ne potrebuje zelo drage opreme in ne potrebuje umeritve. Primerjavo med standardno katalitično sondo (SCP - Standard Catalytic Probe) in optično katalitično sondo (FOCP) pa je Poberaj s sodel. [24] opravil v induktivno sklopljeni radiofrekvenčni (27,12 MHz) Slika 3: Gostota nevtralnih kisikovih atomov v porazelektritveni komori induktivno sklopljene radiofrekvenčne plazme v odvisnosti od tlaka v porazelektritveni komori pri 200 W, merjena z optično katalitično sondo (FOCP) in standardno katalitično sondo (SCP) [24] VAKUUMIST 32 (2012) 2 11 R. Zaplotnik s sodel.: Merjenje gostote nevtralnih atomov v porazelektritvenem območju plazme kisikovi plazmi. Radiofrekvenčno moč na generatorju so nastavili na 200 W in spreminjali tlak v porazelek-tritveni komori. Na sliki 3 so predstavljeni rezultati teh meritev. Rezultati izmerjeni s katalitičnima sondama se razlikujejo le do okoli 30 %, kar je v okviru natančnosti sond. Sklepi, do katerih so prišli v omenjenem članku, pa so naslednji: Čeprav so rezultati, dobljeni z standardno (SCP) in optično (FOCP) katalitično sondo, zelo podobni, pa ima optična katalitična sonda le nekaj prednosti. ponovljivost rezultatov z optično katalitično sondo je manjša od 1 %, medtem ko je ponovljivost rezultatov, izmerjenih s standardno katalitično sondo, nekaj odstotkov. poleg tega so na natančnost meritev s standardno katalitično sondo vplivale tudi radiofrekvenčne motnje, medtem ko na optično katalitično sondo niso. 4 SKLEPI Za merjenje nevtralnih atomov v porazelektritvenih območjih plazem obstaja več metod. V literaturi najpogosteje uporabljene so: NO-titracija, absorpcijske metode, aktinometrija in katalitične sonde. Vsaka od njih ima določene dobre lastnosti in nekaj pomanjkljivosti, npr. za meritve gostote nevtralnih atomov s čim večjo prostorsko in časovno ločljivostjo je najprimernejša metoda TALiF, ki pa je dokaj zahtevna, zahteva zelo drago opremo in je neuporabna v območju razelektritve. Z vidika uporabnosti in enostavnosti pa se odlikujeta standardna katalitična sonda (SCP) in optična katalitična sonda (FOCP). Katalitične sonde se lahko uporabljajo za merjenje različnih nevtralnih atomov. Za merjenje nevtralnih kisikovih atomov se največkrat uporablja nikljeva katalitična konica, za merjenje vodikovih atomov je najprimernejša katalitična konica iz zlata, za merjenje dušikovih atomov pa železna katalitična konica. Katalitične sonde so zaradi enostavne izdelave izredno dostopne in poceni, poleg tega po so zelo enostavne za uporabo. Uporabne so tudi pri meritvah nevtralnih atomov v območjih razelektritve. 5 LITERATURA [1] U. Cvelbar, J. Phys. D: Appl. Phys., 44 (2011), 174014 [2] U. Cvelbar, Z. Chen, M. K. Sunkara, M. Mozetič, Small, 4 (2008), 1610-1614 [3] m. Mozetič, J. Phys. D: Appl. Phys., 44 (2011), 174028 [4] A. Vesel, M. Mozetič, M. Jaganjac, L. Milkovič, A. Cipak, N. Zarkovič, Eur. Phys. J.: Appl. Phys., 56 (2011), 24024 [5] U. Cvelbar, M. Mozetič, N. Hauptman, M. Klanjšek-Gunde, J. Appl. Phys., 106 (2009), 103303 [6] A. Vesel, Surf. Coat. Technol., 205 (2010), 490-497 [7] T. Vrlinič, A. Vesel, U. Cvelbar, M. Krajnc, M. Mozetič, Surf. Interface Anal., 39 (2007), 476-481 [8] M. Balat-Pichelin, A. Vesel, Chem. Phys., 327 (2007), 112-118 [9] G. Primc, R. Zaplotnik, A. Vesel, M. Mozetič, AIP Advances, 1 (2011), 022129 [10] R. Zaplotnik, A. Vesel, M. Mozetič, Europhys. Lett., 95 (2011), 55001 [11] A. Ricard, T. Czerwiec, T. Belmonte, S. Bockel, H. Michel, Thin Solid Films, 341 (1999), 1-8 [12] L. Dimauro, R. Gottscho, T. Miller, J. Appl. Phys., 56 (1984), 2007-2011 [13] A. Goehlich, T. Kawetzki, H. Dobele, J. Chem. Phys., 108 (1998), 9362-9370 [14] J. Coburn, M. Chen, J. Appl. Phys., 51 (1980), 3134-3136 [15] J. Booth, O. Joubert, J. Pelletier, N. Sadeghi, J. Appl. Phys., 69 (1991), 618-626 [16] R. Walkup, K. Saenger, G. Selwyn, J. Chem. Phys., 84 (1986), 2668-2674 [17] P. Macko, P. Veis, G. Cernogora, Plasma Sources Sci. T., 13 (2004), 251-262 [18] W. V. Smith, The Journal of Chemical Physics, 11 (1943), 110-125 [19] B. J. Wood, H. Wise, The Journal of Physical Chemistry, 65 (1961), 1976-1983 [20] P. Brix, G. Herzberg, The Journal of Chemical Physics, 21 (1953), 2240-2240 [21] D. Babič, I. Poberaj, M. Mozetič, Rev. Sci. Instrum., 72 (2001), 4110-4114 [22] M. Mozetič, A. Ricard, D. Babič, I. Poberaj, J. Levaton, V. Monna, U. Cvelbar, J. Vac. Sci. Technol. A, 21 (2003), 369-374 [23] F. Gaboriau, U. Cvelbar, M. Mozetič, A. Erradi, B. Rouffet, J. Phys. D: Appl. Phys., 42 (2009), 055204 [24] I. Poberaj, M. Mozetič, D. Babič, J. Vac. Sci. Technol. A, 20 (2002), 189-193 12 VAKUUMIST 32 (2012) 2 M. Finšgar: Pregled galvanske korozije PREGLED GALVANSKE KOROZIJE Matjaž Finšgar STROKOVNI ČLANEK Institut »Jožef Stefan«, Jamova 39, 1000 Ljubljana povzetek Galvanski tok nastane, kadar je kovinski material v istem elektrolitu in električnem stiku z drugim kovinskim materialom ali nekovinskim prevodnim materialom. Pogost primer galvanske korozije je stik bakrene in jeklene cevi. Galvanska korozija lahko povzroči hiter propad materiala. Po drugi strani pa izkoriščamo značilnosti te vrste korozije za katodno zaščito, kjer žrtvena elektroda skrbi za obnovo določene kovine. Ključne besede: galvanska korozija, korozija, kovina, zlitina An overview of galvanic corrosion ABSTRACT Galvanic corrosion occurs when a metallic material is in electrical contact to another metallic material or conducting nonmetal in the same electrolyte. A common case is coupling of a copper and a steel pipe. Galvanic corrosion can cause quick deterioration of the material. On the other hand, one metal can protect another attached metal from corrosion, which is the basis for cathodic protection by employing sacrificial electrodes. Keywords: galvanic corrosion, corrosion, metal, alloy 1 UVOD Glavni razlog za nastanek galvanske korozije je razlika potencialov na površini dveh kovin. Pri tem tipu korozije gre za naslednje pomembne vplive: - lastnosti elektrokemijskih reakcij korozije na elektrodah: oksidacija kovine, redukcija kisika, sproščanje vodika; - metalurški faktorji: tip zlitine, toplotna in mehanska obdelava; - površina elektrode: ali je površinsko obdelana, ali je na površini pasivna tanka plast in ali so na površini korozijski produkti; - geometrijski faktorji: velikost površine, razdalja med različnimi materiali, položaj in oblika materiala; - okoljski atmosferski dejavniki; - lastnosti elektrolita: prevodnost, tip ionske zvrsti, pH, temperatura, hitrost toka tekočine. Kadar sta dve različni elektrodi sklopljeni, lahko iz vrednosti standardnega elektrodnega potenciala kovin predvidimo polariteto galvanskega člena, ampak to velja samo informativno. Dejanski potencial na elektrodi v elektrolitu (imenovan korozijski potencial) je odvisen od reakcij na površini elektrode, sestave materiala in sestave površinske plasti. Mnogokrat je korozijski potencial kovine zelo različen od svoje termodinamske vrednosti (standardnega elektrodnega potenciala). Tako je za določevanje polaritete bolj kot standardna napetostna vrsta pomembna galvanska vrsta za določen elektrolit. Galvanska korozija anodnega materiala lahko povzroči tako generalni (enakomerna oziroma splošna korozija) kot tudi lokalni (lokalna korozija) propad materiala. Na to, kateri tip korozije bo prevladal, vpliva postavitev materialov, sestava površinskih plasti in narava kovin ali zlitin v tem procesu. Dodatek majhne količine določenega materiala zlitini ne prispeva pomembno k spremembi korozijskega potenciala. Po drugi strani pa lahko pomembno vpliva na elektrokemijske procese in tako na hitrost galvanske korozije. Prav tako na hitrost galvanske korozije v zlitinah vpliva mikrostruktura faz, kot na primer spremenjen delež feritne in martenzitne faze v dupleksnem nerjavnem jeklu [1]. Galvanska korozija pa ni samo posledica razlik korozijskih potencialov dveh kovinskih materialov. Lahko nastane tudi med kovinskim in nekovinskim materialom. Nekovinski minerali imajo po navadi višji potencial od kovin in lahko povzročijo galvansko korozijo le-teh. To je primer uporabe grafitne epok-sidne strukture v letalski industriji. V tem primeru se z izolacijo te strukture od aluminija prepreči galvanski korozivni napad [2]. 2 HITROST GALVANSKE KOROZIJE Korozijska potenciala dveh kovinskih materialov nam povesta samo polariteto obeh elektrod (kjer bo nastala oksidacija in redukcija), razlika teh dveh potencialov pa ne da informacije o hitrosti galvanske korozije. Ta je poleg razlike korozijskih potencialov odvisna tudi od drugih faktorjev, kot so kinetična in koncentracijska polarizacija elektrod. Hitrost galvanske korozije se lahko oceni s potopit-venimi preizkusi z merjenjem izgube mase. Najprej se določi hitrost korozije dveh sklopljenih kovinskih materialov, ki je posledica galvanske korozije, ter korozije posamezne kovine ali zlitine. Nato se določi hitrost korozije posameznega kovinskega materiala v enakem elektrolitu. Razlika hitrosti se rabi le kot ocena hitrosti galvanske korozije, kajti mnogokrat je hitrost korozije pri sklopljenih materialih višja v primerjavi z vsoto korozij nesklopljenih kovin in galvanske korozije (izmerjene z meritvami galvanskega toka). Razlika nastane zaradi povečanja hitrosti lokalne korozije kot posledice nastanka stika med dvema kovinama. VAKUUMIST 32 (2012) 2 13 M. Fin[gar: Pregled galvanske korozije Na hitrost galvanske korozije vpliva tudi vrsta hitrosti odlo~ujo~e reakcije. V primeru, da je katodna reakcija tista, ki dolo~a hitrost reakcije, potem sprememba povr{ine anode ne vpliva pomembno na hitrost galvanske korozije. Po drugi strani pa ima zelo pomemben vpliv sprememba povr{ine katode. Pri anodno kontroliranem procesu velja nasprotno. Sestava plasti na povr{ini elektrode v dolo~enem elektrolitu je mnogokrat razli~na od materiala kovinske elektrode. Na povr{ini se lahko tvori plast adsorbiranih snovi ali dolo~ena povr{inska plast (npr. oksidna plast). Korozijski potencial na tak{ni povr{ini je druga~en od standardnega potenciala kovine in pomembno vpliva na elektrokemijske procese kovine pri procesu galvanske korozije. Na primer, titan ima relativno nizek standardni elektrodni potencial (pri bolj negativnih potencialih glede na nekatere kovine) v standardni napetostni vrsti, po drugi strani pa mnogo bolj pozitivno vrednost v galvanski vrsti mnogih elektrolitov, kar je posledica pasivacije povr{ine [1]. Prav tako se hitrost redukcije kisika na železovi elektrodi pove~a zaradi nastanka rje (železovih oksidov) na povr{ini, ki je porozna in ima veliko specifi~no povr{ino. Korodirano železo deluje kot zelo u~inkovita katoda, kadar je sklopljeno s kovinami z bolj negativnim korozijskim potencialom, kot so cink, aluminij in magnezij [2]. 3 VPLIV OKOLJA KOVIN Elektrokemijske lastnosti reakcij posameznih kovin so zna~ilne za dolo~en elektrolit. Posledi~no je tudi galvanska korozija kovin zna~ilna in odvisna od okolja kovin. Hitrost galvanske korozije je odvisna od a anoda katoda b katoda anoda c anoda^ katoda Slika 1: Vpliv prevodnosti elektrolita na porazdelitev galvanske korozije: a) za~etno stanje pred nastankom galvanske korozije, b) visoka prevodnost raztopine in c) nizka prevodnost raztopine. sestave elektrolita, predvsem zaradi vpliva na kinetiko elektrokemijskih reakcij. Zelo pomemben faktor je prevodnost elektrolita. Kadar je elektrolit zelo prevoden (npr. morska voda), je galvanska korozija na anodnem materialu enakomerna po vsej povr{ini. Po drugi strani, kadar je elektrolit manj prevoden, je vpliv galvanske korozije opazen le na ozkem področju stika dveh materialov (slika 1). Prav tako pa je hitrost galvanske korozije odvisna od prevodnosti. V bolj prevodnem elektrolitu je hitrost galvanske korozije višja kot v manj prevodnem. Na primer, problem nastanka galvanske korozije je prisoten predvsem v pomorski industriji zaradi visoke prevodnosti morske vode. Galvansko korozijo lahko povzročijo tudi ioni kovin z višjim korozijskim potencialom na kovinah z nižjim korozijskim potencialom. To je posledica nastanka majhnih galvanskih celic pri redukciji in nalaganju kationov na kovino, ki deluje kot anoda. 4 SPREMEMBA POLARITETE Polariteta galvanskega člena se lahko v določenih razmerah s časom tudi spremeni. Na spremembo polaritete lahko vpliva pH raztopine, temperatura in prisotnost določenih ionov. Ta primer je znan za člen cink-jeklo in aluminij-jeklo. Sprememba polaritete nastane zaradi spremembe na površini enega izmed sklopljenih kovinskih materialov. Ta sprememba je lahko hitra ali pa se zgodi po daljšem časovnem obdobju. Na primer, nastanek pasivne plasti na površini aluminija v karbonatni raztopini vodi do spremembe korozijskega potenciala proti bolj pozitivnim potencialom. Po drugi strani pa ima kloridna raztopina obraten učinek in povzroči premik korozijskega potenciala proti bolj negativnim potencialom. Spremljanje polaritete galvanskih členov je izredno pomembno. Aluminij in cink se po navadi rabita kot žrtveni anodi za zaščito jekla, pri čemer lahko sprememba polaritete vodi do zmanjšanja efekta katodne zaščite in neželene smeri galvanske korozije, npr. da žrtvena anoda zaradi pasivacije postane katoda nekega galvanskega člena [1]. 5 ZAŠČITA PRED GALVANSKO KOROZIJO Bistvena okoliščina za nastanek galvanske korozije sta dva neenaka kovinska materiala (ali eden nekovinski prevoden material), ki sta električno in elektrolitsko povezana. Zato se je treba izogniti povezavam dveh kovin, kjer je razlika korozijskih potencialov v galvanski vrsti velika. Prav tako se je treba izogniti povezavam, kjer je površina anode majhna (material, ki bo predstavljal anodo glede na drug material), površina katode pa velika. Galvanski 14 VAKUUMIST 32 (2012) 2 M. Finšgar: Pregled galvanske korozije koroziji se je mogoče izogniti tudi z izolacijo materialov. Eden od načinov je uporaba hidrofobnih površinskih prevlek. Prav tako je mogoče hitrost galvanske korozije zmanjšati z inhibicijo agresivnosti korozivnega medija z dodatkom korozijskih inhibitorjev. Pomembno vlogo ima tudi razdalja med anodo in katodo pri manj prevodnih raztopinah, saj se z večanjem razdalje upornost elektrolita povečuje in hitrost galvanske korozije zmanjšuje. 6 GALVANSKA ZAŠČITA zaradi zelo dobro poznanega efekta galvanske korozije lahko ta proces tudi izkoriščamo. Pri tem uporabimo tako imenovano žrtveno anodo (angl. sacrificial anode), s katero zmanjšamo oziroma zaustavimo korozijo določene kovine (ki po sklopitvi elektrod predstavlja katodo), saj na slednji poteče redukcija predhodno oksidiranih korozijskih produktov do kovine. Najpogosteje se za žrtveno elektrodo uporabi cink, aluminij in magnezij ali njihove zlitine. Tako se preprečuje korozijski propad cevovodov, rezervoarjev, mostov in ladjevja. Pogost primer je uporaba galvaniziranega jekla, prevlečenega s cinkom, kjer je prevleka fizična ovira za korozivni napad jekla, prav tako pa kot žrtvena anoda na poškodovanih mestih materiala. 7 PRIPRAVA GALVANSKE VRSTE Galvanska vrsta je lista korozijskih potencialov več kovin in zlitin v enakem mediju. S to vrsto je mogoče predvideti, kateri od dveh sklopljenih materialov bo predstavljal anodo in kateri katodo. Po drugi strani pa s to listo ne moremo predvideti hitrosti galvanske korozije. Galvanska vrsta je veljavna samo za določen elektrolit in je ne moremo enačiti z drugimi podobni elektroliti, saj lahko majhna sprememba sestave elektrolita pomembno vpliva na spremembo korozijskega potenciala. Slabost galvanske vrste je v tem, da se lahko pri določenih materialih s časom spremeni korozijski potencial. To je predvsem značilno za nekatera nerjavna jekla (npr. AISI 304), ki prehajajo iz korozijsko aktivnega stanja v pasivno. Tako je treba biti pri uporabi galvanske vrste za napoved galvanske korozije previden. Po navadi se uporablja le kot prva informacija pri napovedovanju te vrste korozije. Izdelava galvanske vrste poteka tako, da izmerimo v enakem elektrolitu korozijske potenciale različnih kovin in zlitin glede na potencial referenčne elektrode. Nato se ta vrsta uredi glede na korozijske potenciale od bolj pozitivnih potencialov (žlahtno stanje) do bolj negativnih potencialov (aktivno stanje). Galvanska vrsta lahko navaja korozijske potenciale ali samo podaja relativni položaj materialov med seboj [3]. V literaturi je predvsem mogoče najti dobro izdelane galvanske vrste za morsko vodo. Pomembno je, da se galvanska vrsta ne zamenjuje s standardno napetostno vrsto kovin. 8 SKLEP Zaradi galvanske korozije mnogokrat nastane zelo hiter propad kovinskih materialov. Galvanska korozija nastane zaradi razlik potencialov dveh kovinskih materialov ali enega nekovinskega prevodnega materiala. Na hitrost galvanske korozije vpliva predvsem sestava površinskih plasti na kovinskih materialih, lastnosti kinetike elektrokemijskih reakcij in prevodnost elektrolita. Za informacijo polaritete kovinskih materialov skrbijo izdelane galvanske vrste, ki pa imajo le informativni pomen. Znanje in lastnosti galvanske korozije se lahko izkorišča za katodno zaščito kovin z uporabo žrtvenih elektrod. Literatura [1] Uhlig's Corrosion Handbook, Second Edition, ur. R. Winston Revie, John Wiley & Sons Inc., Hoboken, New Jersey, 2006 [2] Corrosion: understanding the basics, ur. J. R. Davis, ASM International, ZDA, 2000 [3] ASTM G 82, Standard Guide for Development and Use of a Galvanic Series for Predicting Galvanic Corrosion Performance VAKUUMIST 32 (2012) 2 15 S. Južnič: Ljubljančanove knjige o vakuumu v Bruslju LJUBLJANCANOVE KNJIGE O VAKUUMU V BRUSLJU (ob tristoletnici rojstva Janeza Karla Filipa Kobencla v Ljubljani) Stanislav Južnič ZNANSTVENI ČLANEK Univerza v Oklahomi, Oddelek za zgodovino znanosti, Norman, Oklahoma, ZDA / Ob~ina Kostel, 1336 Kostel POVZETEK Opisana je pot od trnja k zvezdam kranjsko-gori{ke rodovine Kobenclov s posebnim poudarkom na njihovem prijateljevanju z Bo{kovi}em in zbiranju knjig o vakuumskih tehnikah tedanjih let. Vse to in {e več se je posrečilo predzadnji generaciji Kobenclov na ~elu z bruseljskim poobla{~enim ministrom za Habsbur{ko Nizozemsko, Ljubljančanom Janezom Karlom Filipom Koben-clom. Prvovrstna bruseljska knjižnica s tehni{ko-vakuumskimi priročniki in umetni{ka zbirka Ljubljančana Janeza Karla Filipa Kobencla so tlakovali uspeh njegovega rodu v srenji prostozidarskih svobodomislecev tedanje Evrope, ki so ji bile zagate vakuuma blizu, {e posebno po balonskih poletih prostozidarjev Montgolfierjev. Čeprav Janez Karl Filip Kobencl svojih vakuumu posvečenih knjig ni bral, temveč si jih je dal raje prebirati in komentirati od svojih tajnikov, so le-te opredeljevale njegova dejanja in nehanja v času, ko je dobra in pravočasna obve{čenost vedno bolj pogojevala njegove pravilne gospodarske posege v vakuumske in druge tehnologije dana{nje Belgije z Luksem-burgom, ki jo je Ljubljančan Kobencl upravljal več kot poldrugo desetletje pod imenom Habsbur{ka Nizozemska. Klju~ne besede: grof Janez Karl Filip Kobencl, Ljubljana, Bruselj, zgodovina vakuumskih tehnik, 18. stoletje Ljubljana native's books about vacuum in Brussels (on 300th anniversary of Johann Karl Philip Cobenzl's birth in Ljubljana) ABSTRACT The path per aspera ad astra of the Carniola-Gorizia family Cobenzl is described with a special attention put on their friendly relations with Ruder Bo{kovi} and their acquisitions of books related to modern vacuum techniques. All that and much more was achieved by in the next to last generation of Count Cobenzls headed by the minister plenipotentiary for Habsburg Netherlands Johann Karl Philip Cobenzl. The role of Johann Karl Philip Cobenzl's first rate Brussels library with technical-vacuum books and art collection proved to be decisive for the success of his family inside the freemasonic freethinkers of Europe of his era. Although Johann Karl Philip Cobenzl never read his vacuum-related and other books but preferred his secretaries to read and comment them for him, the new books and journals helped his work in the modern times when the good and timely news paved the way for the right economic activities in vacuum and other industries of the area of modern Belgium and Luxembourg which the native of Ljubljana Cobenzl managed under the name of Habsburg Netherlands for nearly two decades. Keywords: count Johann Karl Philip Cobenzl, Ljubljana, Brussels, history of vacuum technologies, 18th century 1 UVOD Med številnimi Ljubljančani, ki so se v različnih časih in v različnih okoliščinah uveljavljali v Bruslju, se je gotovo najbolj izkazal grof Janez Karl Filip Kobencl, ki je bil rojen sredi julijske vročine pred tremi stoletji v nedavno zgrajeni ljubljanski Koben-clovi palači; na Novem trgu 4 jo danes uporablja ZRC SAZU. Njegov uspeh bo vsekakor dobro služil zanam- cem kot primer, kako naj se v velikem svetu uveljavi učeni pripadnik majhnega naroda iz razmeroma majhnega mesta. Kobencli so se namreč nasprotno od mnogih svojih kranjskih kolegov od nekdaj radi in s ponosom razglašali za - Slovence. Prijateljsko podporo mogočnih Kobenclov so uživali številni znanstveniki in raziskovalci vakuumskih tehnologij njihovega časa, predvsem Ruder Boškovi} in Janez Krstnik Paccassi. 2 KOBENCLI IN CORONINIJI ZA BO[KOVI]A Družini Kobencl in Coronini sta bili tesno povezani. Nečak bruseljskega ministra grofa Janeza Karla Filipa Kobencla, sin njegove starejše polsestre Kasandre Kobencl, Goričan Rudolf Antonio Maria Coronini (* 1731 Gorica; f 1781 Gorica), je do leta 1752 študiral na deset let prej ustanovljenem Terezi-janišču pri matematiku Erasmusu Frölichu, ki gaje na položaju prefekta knjižnice po smrti nasledil fizik in vakuumist Joseph (Jacobus) Khell von Khellburg; Khellove knjige, polne skic vakuumskih poskusov, so bile izjemno priljubljene tudi v Ljubljani. Leta 1756 je Rudolf Coronini sodeloval pri geometrijskih meritvah za določitev meje med habsburško monarhijo in Benetkami po Boškovicevih metodah tik pred prvimi Boškovicevimi obiski v Gorici in Ljubljani; Rudolf Coronini je s sodelavci sestavil zemljevid z Gorico in Trstom, ki je bil ponatisnjen že po Boškovicevih obiskih, in sicer leta 1759. Leta 1772 je študent iz Gradišča Girolamo Pisanelli privezal k svojim izpitnim tezam na višjih jezuitskih študijih v Gorici knjigo Rudolfa Coroninija, ki je prvič izšla na Dunaju leta 1769. Latinsko poezijo je za Coroninijevo dunajsko izdajo predelal učenec matematika Frölicha, nekdanji jezuit Johann Michael Denis ob pomoči izkušenega jezuita Andreasa Friza (* 1711; f 1790 Gorica). Rudolf Coronini je ob ustanovitvi goriške akademije Accademia degli Arcadi Romano-Sonziaci dne 8. 9. 1780 postal njen član z akademskim imenom Libanio Crissanteo skupaj s Petrom Antonom Codelli-jem, prednikom poznejšega ljubljanskega izumitelja vakuumskih elementov televizije, nekdanjim jezuitskim študentom in članom rimske Arcadie Giuseppe-jem Colettijem in predsednikom akademije, svojim stricem Gvidom Kobenclom. Seveda je starejši stric Rudolfa Coroninija, Gvidov brat Janez Karl Filip 16 VAKUUMIST 32 (2012) 2 S. Južnič: Ljubljančanove knjige o vakuumu v Bruslju Kobenzl, hranil Rudolfova dela v svoji bruseljski knjižnici. Rudolfova sestra Ludovica Coronini se je poročila z Rudolfom Strassoldo de Villanova; njun brat Ernesto Felice Coronini je predaval filozofijo s fiziko in sodobnimi vakuumskimi tehnikami na jezuitskih visokih šolah v Gorici. Po legendi naj bi prednik Cipriano Coronini v Rimu spoznal Ignacija de Loyolo in je že leta 1615 pomagal Kobenclom pri naselitvi jezuitov v Gorici in drugih krajih.1 3 TEHNIKA GVIDA KOBENCLA, MLAJŠEGA BRATA BRUSELJSKEGA MINISTRA JANEZA KARLA FILIPA KOBENCLA Leta 1747 se je Gvido Kobencl preselil iz Ljubljane v Gorico, kjer sta bili njegovi starejši polsestri Kasandra in Marija Elizabeta bogato poročeni z grofoma Coronini in Edling. Gvido je kot prvi predsednik pomagal leta 1780 ustanoviti Accademia degli Arcadi Romano-Sonziaci, ki je takoj postala uradna podružnica rimskih Arkadijcev, ustanovljenih stoletje prej v čast švedske kraljice Kristine; tajnik goriške veje akademije je bil Giuseppe de Coletti (* 1744 Rim; f januar 1815 Trst) iz florentinske družine, nekdanji vojak in goriški tiskar. Coletti je začel 2. 7. 1784 izdajati Osservatore Triestino; pri Slika 1: Gvido(n) Kobencl (Guodobald Cobenzl, * 1716; t 1797), mlaj{i brat Janeza Karla Filipa Kobencla urednikovanju je vztrajal vso Napoleonovo dobo, dokler ni omahnil za vekomaj. Brat pomočnika Gabrijela Gruberja jezuit Jožef Jakob Maffei, tržaški patricij Karel Maffei, je konec leta 1784 postal član tržaške veje Accademia degli Arcadi Triestini pod Colettijevim vodstvom. Gvido Kobencl je imel zveze s številnimi izobraženci. Bianchini mu je leta 1753 pisal o podzemnem toku kraške reke Timave; vmes je nadvse upravičeno poudarjal »poznanje znanosti fizike in matematike« Gvida Kobencla.2 V drugem pismu Gvidu Kobenclu je Bianchini 4. 2. 1754 v Vidmu (Udine) opisal izvir in podzemni tok Timave, katerega povezavo z reko Reko (Recca) pod površjem je že leta 1702 devinski benediktinec Pietro Imperati opisal bolonjskemu naravoslovcu Ulissu Aldrovandu. Bianchini je Gvidu Kobenclu poročal o podzemnih prazninah, podobnih vakuumu; poleg jam okoli Timave je omenil še Nil in druge slavne reke. Bianchini je sprva menil, daje reka pod Kobenclovim Predjamskim gradom povezana s podzemnim tokom Timave; načrtno je preiskal kraške jame, da bi našel podzemno vodno povezavo s Cerkniškim jezerom. Obiskal je številne jame na Primorskem in končno ugotovil, da pod zemljo v Timavo teče le Reka (Recca), kar je privzel tudi Gruber.3 Ta je dognal, da dovolj pitna voda Timave dobi čuden okus, ko se med podzemnimi potmi meša z zemljo in morjem;4 tudi on je pismo poslal grofu Gvidu Kobenclu v Gorico. Gruber je temeljito preučil vodni režim Planinskega polja in celotne Notranjske, saj je bil le-ta bistvenega pomena za ljubljanski prekop; osebno si je ogledal Cerknico in ob tej priložnosti opisal idrijski rudnik.5 Prijatelj Gvidovega brata Janeza Karla Filipa, Ruđer Boškovic, je 3. 6. 1754 pisal Bianchiniju o svojem desetletnem raziskovanju riminijskega pristanišča. Obenem mu je poslal svojo lanskoletno 75 strani dolgo razpravo o ozračju Lune De Lunae Atmosphaera.6 Med Bianchinijevimi prijatelji je bil tudi raziskovalec našega krasa Hervey, anglikanski škof v Derryu na Irskem.7 4 KOBENCL PODPIRA ZNANOST V BRUSLJU Janez Karl Filip Kobencl je študiral na univerzi v Leydnu v času pozne slave tamkajšnjega rektorja Boerhaaveja; nasproti univerze je bila znamenita delavnica flamskih bratov Musschenbroekov, ki so tisti čas, morda z edino izjemo Londona, izdelovali 1 Coronini, Fasti goriziani, str. 5-6, 9-10, 13, 20, 21, 34, 43, 44, 48, 63; Stipišic, Pomo}ne povijesne znanosti, str. 7 2 Bianchini, Osservazioni, str. 81 3Tavagnutti, Giovanni Fortunato Bianchini; Gruber, Briefe hydrographischen, str. 157 4 Gruber, Briefe hydrographischen, str. 157-158 5 Gruber, Briefe hydrographischen, str. 35; Korošec, Beseda dve o Steinbergovem, str. 18 6 Markovic, Ru^ Bo{kovi}, str. 665 7 Shaw, Bishop Hervey, str. 286 VAKUUMIST 32 (2012) 2 17 S. Južnič: Ljubljančanove knjige o vakuumu v Bruslju najboljše vakuumske črpalke in druge naprave na svetu: zvedavi Janez Karl Filip Kobencl si ni mogel pomagati, da ne bi pogosto zahajal na oglede k Musschenbroekovim. Nato je janez Karl Filip Kobencl obiskoval še univerzo Würzburg; seveda se mu je kot grofu zdelo za malo, da bi delal kakršne koli izpite, in je svoj študij v slogu tedanjih plemenitašev jemal bolj kot druženje, dokler ni leta 1730 postal komornik cesarja Karla VI. in se kot pravi bon-vivant izobrazil še na potovanjih do leta 1733. Svobodnjaško pohajanje je prekinila dunajska poroka z Marie-Therese de Palffy Erdödy (* 1719; f 25. 12. 1771), hčerko grofice Marie Margarethe Stubenberg (f 28. 5. 1724) in dne 5. 7. 1754 imenovanega feldmaršala, grofa Karla Paula Palffy Erdödy (* 1697; f 1774). Janez Karl Filip Kobencl je gospodaril z gradovi Prošek, Štanjel (sv. Danijel), Jama, Ribnica, Planina, Šteberg, Logatec, Lože (Leitenburg), Isernica, Sivi-gliano in Flambruzzo pri Rivignanu, na pol poti med Trstom in Benetkami, in drugimi; zavoljo tastovega ogrskega ugleda je nosil tudi veliki križ reda sv. Štefana (Saint Etienne). Po cesaričinem nalogu (1751/59) je postal vitez zlatega runa skupaj s pariškim veleposlanikom Georgom Adamom Star- Slika 3: Janez Karl Filip Kobencl po doprsnem kipu Mar-seillčana Jean-Philippe-Augustina Ollivierja (* 1739; t 1788) v Bruslju hembergom;8 enaka prestižna argonavtska naslova sta pozneje nosila še sin Janeza Karla Filipa Kobencla od leta 1798 in nečak od leta 1792, podobno kot prvi knez Janez Vajkard Turjaški (1650), znameniti pionir Guerickejeve vakuumske tehnike, in njegovi dediči. Janez Karl Filip Kobencl je leta 1738 postal pooblaščeni minister za Loreno, dedno deželo soproga Marije Terezije Franca Lotarinškega, ki ga je svoj čas vzgajal oče Janeza Karla Filipa Kobencla. Janez Karl Filip Kobencl je postal prvi doslej znani slovenski prostozidar; pridružil se je loži Zur Sonne v Bayreuthu leta 1741,9 desetletje po tem, ko so v Haagu v ložo sprejeli Franca Lotarinškega. Prostozidarstvo je bilo pomemben element vakuumskih raziskav, saj je bil vodilni prostozidar John Theophile Desaguliers (1683-1744) med najpomembnejšimi raziskovalci novih vakuumskih tehnik in obenem urednik vodilnega znanstvenega časopisa londonskih Philosophical Transactions. Po očetu je Janez Kari Filip Kobencl gotovo slika 2: Janez Kari Filip Kobencl10 podedoval nekaj knjig, večino svoje knjižnice pa je 8 Sorgeloos, Charles de Cobenzl, str. 126; Villermont, Le comte de Cobenzl, str. 251, 252, 254, 277 9 Košir, Brat Vega, str. 105 10 Villermont, Le comte de Cobenzl 18 VAKUUMIST 32 (2012) 2 S. Južnič: Ljubljančanove knjige o vakuumu v Bruslju vendarle kupil, med drugim pri normandijskem knjigarnarju Charlesu Fontaineju (* 1724; f 1802), ki je leta 1742 ustanovil knjigarno v Mannheimu, prav tako pa tudi pri Johannu-Franzu Varrentrappu (* 1706; f 1786), ki je leta 1731 svojo knjigarno ustanovil v Frankfurtu na Maini; slednji je Kobenclu med 14. 1. 1747 in 18. 12. 1752 dostavil 291 knjig, med njimi 130 v nemškem jeziku. Janez Karl Filip Kobencl je urno širil svoj vpliv med izobraženci v Bruslju, njegova beseda pa je nekaj veljala tudi na cesarskem Dunaju. Dne 29. 5. 1767 je Neny prenesel Kobenclu željo antwerpenskega tiskarja Jana Baptista Verdussena III. (* 1698; f 1773), naj bi Kobencl ob pričakovani prepovedi jezuitov pridobil jezuitsko bruseljsko knjižnico, baje najlepšo na svetu, ki so jo krasile številne razprave o vakuumskih tehnikah. verdussen je prav dobro vedel, o čem teče beseda, saj je ob številnih inkunabulah hranil slike Petra Paula Rubensa in Antoona van Dycka; bil je tudi član Kobenclove bruseljske literarne družbe, poznejše cesarsko-kraljeve akademije. Kobencl je takoj odpisal in ponudbo sprejel; še posebej si je zagotovil lepo sliko Antoona van Dycka. 5 BRUSELJSKE KNJIGE janez Karl Filip Kobencl je knjige za police svojega doma v bruseljskem hotelu Mastaing kupoval pri številnih knjigarnarjih od blizu in daleč. Michael Lambert je Kobenclu 22. 3. 1758 priporočil Journal des Sgavants, najstarejši evropski akademski časopis, ki je prinašal tudi nekaj znanstveno-tehniških novic. Kobencl je v Strasbourgu kupoval knjige pri jean-Geoffroy Bauerju, na Dunaju pa pri cesarsko-kralje-vem tiskarju prostozidarju Johannu-Thomasu Trattnerju. Kobencl se je s tekočimi objavami seznanjal z branjem Journal Encyclopedique, Mercure de France, Gazette Britannique in Gazette de France. Kanonik Pierre Wouters (* 1702; f 1792), kraljevi knjižničar v Bruslju med letoma 1754 in 1768, je za Kobencla kupoval knjige na razprodajah, Kobencl pa se je sam udeležil pariških razprodaj knjig pokojne markize de Pompadour (jeanne Antoinette Poisson, * 1721; f 15. 4. 1764) in knjižnice jezuitov iz cerkve Saint-Paul-Saint-Louis na cesti Saint-Antoine v okraju Marais po izgonu jezuitov iz Francije novembra 1764. Leta 1760 je Kobencl nameraval za naravoslovni kabinet univerze v Leuvnu nabaviti knjige obubožanega škotsko-pariškega raziskovalca in člana pariške akademije od leta 1750 Michela Adansona (*1727 Aix-en-Provence; f 1806) po njegovi vrnitvi s petletnega raziskovanja v Senegalu. Janezu Karlu Filipu Kobenclu je knjige prinašal tudi njegov nečak, Kasandrin sin Coronini. Janez Karl Filip Kobencl ni najel lastnega poklicnega knjižničarja, zato pa sta mu pri urejanju knjižnice pomagala nečak Janez Filip Kobencl in mladi tajnik Gottfried baron van Swieten (* 29. 10. 1733; f 29. 3. 1803 Dunaj), sin zdravnika Marije Terezije Gerharda van Swietena, ki ga je nadomestil rojak Jan Ingenhousz, raziskovalec Fontanovega getranja vakuumskih posod in poletov z baloni. Gottfried je služboval v Bruslju med letoma 1755 in 1757, od oktobra 1757 pod nadzorom Janeza Karla Filipa Kobencla v skladu z dvornim ukazom; pozneje je kot vodilni habsburški diplomat podpiral glasbenike in znanstvenike, med drugim prostozidarja Mozarta, ki je učil eno od Kobenclovih hčera, ter ljubljanskega profesorja Balthasarja Hacqueta. Janez Karl Filip Kobencl ni imel navado pisati ali brati, temveč so to zanj raje opravljali mladi tajniki, njih vsakokrat štiri ali pet po številu.11 Karl Janez Filip Kobencl je pred letom 1739 sestavil prvi od obeh knjižničnih avtorskih katalogov, sestavljenih v času njegovega življenja, na 94 foliostaneh med danes izgubljenimi platnicami. Drugi avtorski katalog je nastal leta 1761/62 na 149 foliolistih; vsak naslov je imel arabsko številko med 1 in 2000;12 le-te so se nanašale na tretji katalog s kronologijo nakupov, ki danes ni v evidenci. Janez Karl Filip Kobencl je restavriral knjižnico vojvod Burgundskih (Bourgogne) leta 1755, leta 1769 pa je v Bruslju gmotno podprl ustanovitev Societe litteraire, Slika 4: Joseph Wright of Derby (* 1734; t 1797): Upodobitev poskusa z zadušitvijo ptice v vakuumski posodi iz leta 1768. O vrsti upodobljene črpalke se še dandanes lomijo kopja (olje na platnu, z dovoljenjem National Gallery, London). Slika v slogu industrijske revolucije, kot jo je Ljubljančan Janez Karl Filip Kobencl spodbujal v svoji domači galeriji, eni najboljših na svetu njega dni. 11 Sorgeloos, Charles de Cobenzl, str. 125; Villermont, Le comte de Cobenzl, str. 7, 8, 22, 88-89, 186, 216-217, 221 12 Sorgeloos, Charles de Cobenzl, str. 126-127; Bibliotheque Royale, cabinet des Manuscripts, rokopisa št. 20.922 in 20.919 VAKUUMIST 32 (2012) 2 19 S. Južnič: Ljubljančanove knjige o vakuumu v Bruslju Slika 5: Slika Arthurja Devisa (* 1712; t 1787) Johna Bacona in družine z oljem na platnu iz leta 1742/43, ki v ozadju kaže vakuumsko črpalko Stephena Davenporta (* 1701) (z dovoljenjem Yale Center for British Art v New Havenu, Conn.). Slika 6: Poslovna izkaznica z vakuumsko črpalko v ospredju iz leta 1721 Stephena Davenporta ki je po njegovi smrti postala Cesarsko-kraljeva akademija znanosti in umetnosti 16. 12. 1772 ob pomoči knjižničarja v Leuvnu in poznejšega škofa Antwerpna, Corneliusa Franciscusa Nelisa uit Mechelena (* 1736; f 1798). Po smrti Janeza Karla Filipa Kobencla je kustos njegove zapuščine Nicolas-Joseph Sanchez d'Aguilar, odvetnik sveta Brabanta, popisal pokojnikovo knjižnico skupaj s kletkami za ptice, barometrom, bota- 13 Sorgeloos, Charles de Cobenzl, str. 192-193, 199 ničnim termoskopom, hidrometričnimi pripomočki, črpalko in 36 portreti angleške kraljeve družine. Prodaja Kobenclovih knjig je bila zaupana knjižničarju Josephu Ermensu (* 1736; f 1805), ki je februarja 1770 sestavil prodajni katalog v petih strokovnih področjih teologije, prava, znanosti z umetnostmi, literaturo in zgodovino. Razprodajo so opravili 21. 6. 1771 pod vodstvom tiskarja Vleminckxa. Samuel Paterson (* 1728; f 1802) je naslednje leto v Londonu objavil angleški prodajni katalog Kobenclovih knjig, pomešanih z zapuščinami drugih nizozemskih zbirateljev; to je bil le deloma angleški prevod bruseljske ponudbe, pozneje pa so v Patersonovo tiskano besedilo ročno vnesli cene posameznih knjig. Ermens je 2 821 knjig razporedil v deset strokovnih skupin. Zbral je devet inkunabul in 80 izdaj iz 16. stoletja. Sto šest knjig Janeza Karla Filipa Kobencla ali 3,75 % celotne knjižnice je bilo posvečenih eksaktnim znanostim z vakuumskimi tehnikami vred. Triindvajset knjig je obravnavalo medicino; Kobencl je zbral šest knjig o matematiki, tri o astronomiji, sedem o fiziki, eno samo o alkimiji s kemijo, eno o antropologiji, sedem o splošnem naravoslovju, eno o botaniki, tri o zoologiji, 23 o medicini, štiri o mehaniki ali inženirstvu, 11 o poljedelstvu, štiri o domačem gospodarstvu in 28 o vojaških vedah.13 Slika 7: Vakuumska posoda angleškega pridigarja Stephena Halesa (* 1677; t 1761). Na ploščo, ki ima priključek na vakuumsko črpalko, je postavljena steklena vakuumska posoda, v kateri je Hales preverjal prepustnost skorje neke rastline v vakuumu. 20 VAKUUMIST 32 (2012) 2 S. Južnič: Ljubljančanove knjige o vakuumu v Bruslju Bruseljski politični tekmec Janeza Karla Filipa Kobencla, cesarjev brat Karl Lotarinški, se je nekoliko bolj poglobil v tehniške vede, saj je zbral 34 knjig o matematiki, 17 o astronomiji, 38 o fiziki, 60 o alkimiji-kemiji, 22 o geologiji, 25 o mehaničnih strojih in inženirstvu.14 Karl Lotarinški je iz knjižnice Mariemonta leta 1777 dobil 36 knjig o znanosti, kar je bilo 7,37 %, ob smrti leta 1780 pa 47 knjig, torej 9,45 %. Imel je 10 ogrskih piscev, zgolj po enega pa ameriškega, češkega, kitajskega, perzijskega ali arabskega.15 Karl Lotarinški je imel ob popisu po smrti leta 1780 knjige Sigaud de la Fonda, Jacquesa Rohaulta in Puliana o fiziki vakuuma; bral je kemijo Nicolasa Lemeryja in Pierre Joseph Macquera, dva izvoda Diderotove Encyclopedije, delo Valmont De Bomara o naravoslovju, dela Duhamela Du Mon-ceauja, potopise de Condamineja, du Haldeja in podobnih, ki jih je prebiral tudi Žiga Zois v Ljubljani. Lemerya, Condamineja in Diderota se ni branil niti Janez Karl Filip Kobencl. Karl Lotarinški je imel razmeroma številno zbirko 255 rokopisov, med njimi risbe naprav za elektriko v povezavi z vakuumskimi tehnikami, kemijo in proizvodnjo porcelana, razne skrivnostne spise in medicinsko-kemijske rokopise Paracelza.16 Bral je nUrnberško naravoslovje Delices Physiques (1766/67) izpod peresa Georga Wolfganga Knorra, ki ga je bral tudi Kobencl, južnoameriško La Metallurgie Alvareza Alonza Barbaja v pariški izdaji iz leta 1750 in spis jezuita Jeana Paulusa (* 1710 Vergaville; f 1781) Descriptio d'une machine astronomique, natisnjenega v Point-a Moussonu leta 1762.17 Jean Paulus je leta 1763 prispel v Bruselj kot urar Karla Lotarinškega in strojnik, vajen sodobnih vakuumskih tehnik; sestavil mu je uro, drugo astronomsko pa je izdelal za potrebe mesta. Svobodomiselni Janez Karl Filip Kobencl je 14. 4. 1759 obžaloval prepoved pariške Diderotove Enciklopedije kot dedinje londonskega dela Ephraima Chambersa. Kobencl si je dopisoval z Voltairom preko knjigarnarja Johanna-Franza Varrentrappa; Kobencl in njegova žena sta bila resnična Voltairova občudovalca, saj sta zbrala 41 Voltairovih del in za nameček še 13 knjig o njem. Kobencl je aprila 1759 hvalil knjigo Candide ou l'optimisme iz leta 1759, v kateri je prepoznal Voltairovo pero; imel je tudi Voltairovo Elemens de la philosophie de Newton, mis ä la portee de tout le monde, par M. De Voltaire, natisnjeno v Amsterdamu pri J. Desbordesu leta 1738. Voltairov esej o naravi toplote Essai sur la nature de feu, et sur sa propagation (1737), napisan za nagradno tekmovanje pariške akademije leta 1739, ni bil objavljen v Voltairovih zbranih delih iz let 1739 in 1748, temveč šele leta 1757/58 pri Cramerju v ženevi; tam ga je nabavil Kobencl. Kobencl je bral tudi gospodarska dela Boškovi-cevega prijatelja fiziokrata markiza Victorja de Riquetti markiza de Mirabeauja iz let 1761 in 1768.18 Med povzetki eksaktnih znanosti si je Kobencl dal prebirati Magnieresove Remarques sur plusieurs branches de commerce et de navigation iz leta 1757. Predvsem so ga zanimale zdrahe okoli Buffonove Histoire naturelle v pariški izdaji iz leta 1749 in v hamburškem prvem nemškem prevodu iz leta 1750; ko je Reaumurjev prijatelj, nekdanji oratorijanec Joseph-Adrien Lelarge de Lignac, v Lettres ä un American sur l'Histoire naturelle, generale et particuliere de M. de Buffon takoj po Buffonovem prevodu v nemščino v Hamburgu leta 1751 objavil uničujočo kritiko Buffona, jo je privoščljivi Kobencl seveda nemudoma kupil. Kobencl je prav tako bral pariški Dictionnaire raisonne universel d'histoire naturelle iz leta 1764 MANIERE rVAMOLIR LES OS' DE FAIR.E CUIRE TOUTES fort« de Viandes en fort peu de tempi, & 1 peu de frait; rOfie defcription de la Machine dont il ft f outfervtr pour c4t effet, fes frofrićtez. fS fes ufagesjonfirmez par pltifkurs Experiences. Pif M'. Pa»jn, Dcxä. en Mcdecme, & Mc mbrodc h Socićtć R .de Londrcs. Hmttu Е£Иш rniB& tugmrmie tum Strnit A AMSTERDAM, Ciei Hinrt Datso&oBS, dim le Kilver-Strut, pnJs j5 Dim. Slika 8: Naslovna stran prvega dela Papinove knjige o vakuumskih tehnologijah in o visokotlačnem loncu, ki so jo brali Ljubljančani Kobencli v Bruslju. 14Sorgeloos, Charles de Lorraine, str. 834 15Sorgeloos, Charles de Lorraine, str. 838 16Sorgeloos, Charles de Lorraine, str. 830 17 Sorgeloos, Charles de Lorraine, str. 825, 827-828, 830, 832; Kobencl & Paterson, A catalogue, str. 88 18 Sorgeloos, Charles de Cobenzl, str. 146-147, 149, 152, 210 VAKUUMIST 32 (2012) 2 21 S. Južnič: Ljubljančanove knjige o vakuumu v Bruslju CONTINUATION DU DIGESTEUR M ANIERE D AMOJLIR LES OS SECONDE PARTIE. Contenant les perfečiions qum y a ajodtćes lesnowveaux ufagesa quoyonFa appliqud: av'ecphfieurs ftmyelles utilitezdela Machine du Eprouve'es tint en Anglcterrc qu'eti Italic, Par M'. Pap in t Doćt.en Medecinc, Be Membre de la Socićte R. de L orldr«, A AMSTERDAM, Chez Henri D esjokdeS , dans It Kalver-Straai, puis [e Dam. M. DC. t-XXXVlIL Slika 9: Naslovna stran drugega dela Papinove knjige o vakuumskih tehnologijah in o visokotlačnem loncu, ki so jo brali Ljubljančani Kobencli v Bruslju. izpod peresa Jacques-Christophe Valamont de Bomare (* 1731; f 1807). Morda je Kobencl še iz mladostnih popotovanj hranil peto izdajo pariških Elemens des mathematiques, ki jih je Bernardu Lamyu objavila pariška vdova Delaulne leta 1731; istega leta so v Parizu pod podobnim naslovom jezuitu Pierre Varignonu (* 1654; f 23. 12. 1722 Pariz), od leta 1788 članu geometrijskega oddelka pariške akademije s College de France, posmrtno objavili matematiko pri Parižanu Brunetu. Drugo amsterdamsko izdajo Lamyeve matematike iz leta 1682 je hranil baron Erberg v Ljubljani in pozneje v Dolu. Lamy je pri osemnajstih letih začel študirati v Parizu. Štiri leta pozneje je med študijem retorike (zadnji letnik nižjih študijev) spoznal Malebrancheja in ostal njegov prijatelj do smrti. Leta 1671 in 1672 je poučeval filozofijo na kolegiju v Saumurju in nato v Angersu. Ker je v Angersu zagovarjal tedaj še prepovedano vakuumu nasprotno kartezijansko filozofijo, ga je kralj Ludvik XIV. odstavil leta 1676. Po štirih letih izgnanstva je nadaljeval pouk v Grenoblu. Leta 1679 je objavil mehaniko s pravilom za seštevanje sil v paralelogramu, ki ga je istočasno opisal Varignon. Lamyeva knjiga je bila tako priljubljena, da jo je leta 1687 še ponatisnil prav v času izdaje Newtonovih Principov onstran preliva. Leta 1685 je Lamy svoj matematični učbenik dopolnil z geometrijo. Naslednje leto je dobil dovoljenje za vrnitev v Pariz, vendar je zaradi teoloških nasprotij že leta 1690 odšel v Rouen. Tam je leta 1701 objavil razpravo o perspektivi.19 Po smrti zbrana Lamyeva matematično-fizikalna dela so izšla leta 1734 v Amsterdamu. Janez Karl Filip Kobencl je hranil francoski prevod Jeana Hellota dela Nemca Christophe-Andre Schlü-terja De la Fonte des mines, des fonderies, tiskanega v Parizu med letoma 1750 in 1753, ki ga je s pridom uporabljal za napredek tehnike in gospodarstva Habsburške Nizozemske. Nabavil je tudi zelo vplivne Hallerjeve Elementa physiologia corporis humani (Lausanne 1757-1766). Za splošen pregled novosti v znanosti in vakuumskih tehnikah si je Kobencl privoščil poljudni deli Le Spectacle de la nature, ou Entretiens sur les particularites de l'Histoire naturelle qui ont paru les plus propres a rendre les jeunes gens curieux et a leur former l'esprit, natisnjeno v Amsterdamu leta 1743, ki je bila prvič objavljena leta 1732, in Histoire du ciel (Pariz 1740); obe uspešnici je spisal duhovnik Noel Antoine Pluche (* 13. 11. 1688 Rems; f 19. 11. 1761 Pariz), profesor retorike in šolski rektor v Remsu. Kobencl si je dal brati vsaj dve Leibnizovi knjigi, prav tako pa dela Christiana Wolffa,20 ki so jih uporabljali za pouk fizike in Slika 10: Papinovo posodo, kot jo je uprizoril na koncu prvega dela svoje knjige iz leta 1688, je Papinov bralec Kobencl uporabljal pri pripravah svojih znamenitih gostij. 19 Cantor & Cajori, 1908, 4: 603 20 Sorgeloos, Charles de Cobenzl, str. 150-151, 156 22 VAKUUMIST 32 (2012) 2 S. Južnič: Ljubljančanove knjige o vakuumu v Bruslju Slika 11: Denis Papin v najboljših dneh vakuumskih tehnik povsod po cesarstvu in tudi v Ljubljani. Med najpomembnej{imi deli o zgodnjih vakuumskih tehnikah, ki jih je nabavil Ljubljan~an Janez Karl Filip Kobencl, je bilo delo Denisa Papina21 iz ~asov neposredno po Papinovem delovanju na položaju direktorja poskusov pri bene{ki javni akademiji Accademia publicca di science, ki jo je Kobencl dobro poznal; bene{ki akademiki so delovali po vzoru londonske Kraljeve družbe in so se predvsem ukvarjali z Boylovimi vakuumskimi poskusi, pri katerih je imel sam Papin dobr{en delež. Papinova knjiga je bila po Kobenclovi smrti ocenjena razmeroma nizko: na 1 krajcar in 8 denari~ev, prinesla pa je {tevilne novosti v tedanje vakuumske tehnike. Janez Karl Filip Kobencl je nabavil knjigo Gründ-lichen Nachricht von dem in dem Inner-Crain gelegenen Cirknitzer See Franca Antona pl. Steinberga (* 1684 Kalec pri Zagorju na Krasu; f 1765 Ljubljana), ki jo je v Ljubljani objavila Ana Elizabeta, vdova Reichardt, leta 1758 na 235 straneh s 34 bakrorezi. Knjigo je Kobencl razpe~eval med prijatelji; Kobenclovi katalogi omenjajo kar 25 bro{iranih izvodov Steinbergovega dela, enega pa je imel tudi Kobenclov sodelavec Neny. Ljubljan~an Promberger je v knjigotr{kem oglasu ~asopisa Wochentliches Kundschaftsblatt objavil eno stran z dvanajstimi novimi knjigami, ki jih je ponujal; med njimi je bila knjižica o Cerkni{kem jezeru Franza Steinberga po ceni 1 fl. Deželni glavar Janez Ga{per Kobencl je Steinbergovo delo spodbujal že med letoma 1718/20; zato je Steinberg knjigo posvetil 21 Kobencl & Paterson, 1772, 76, pod številko 1848 22 Korošec, Beseda dve o Steinbergovem, str. 16; Sevnik, Steinberg, str. VAKUUMIST 32 (2012) 2 Gašperjevemu sinu Janezu Karlu Filipu Kobenclu na sedmih straneh slavospeva, Janez Karl Filip Kobencl pa je leta 1761 omogo~il tiskanje skrajšanega prevoda v kraljevi tiskarni v Bruslju pod naslovom Le lac merveilleux ou description du lac de Czirknitz en Carniole, et des ses principales singularites Phisiques. Tires de l'allemand de Steinberg. Delo je bilo posve~eno grofici Kobenclovi na 59 straneh z bakrorezom, isto~asno pa sta izšla še haaški francoski prevod in ponatis nemške izdaje v Gradcu, ki se je od ljubljanske izdaje razlikoval le po izdajatelju. Steinberg in Kobencel sta bili starodavni notranjski rodovini, ~eprav je Steinbergov o~e obubožal po izgubi denarja, vloženega v rejo lipicancev, tako da je moral prodati graš~ino na Kalcu in se preseliti v cerkniški Marof, ko je bilo Francu Antonu Steinbergu komaj tri leta. Steinbergov mladostni u~itelj je bil matematik in duhovnik Nikolaj Brion z Reke, ki je leta 1715 Steinbergu prodal zbirko merilnih naprav, namenjenih vakuumskim in sorodnim poskusom,22 s katerimi je Steinberg preverjal delovanje svojih izumov za rudnik v Idriji. Steinberg se je po ljubljanskih študijih priu~il mehanike in novodobnih vakuumskih tehnik na Dunaju. Med letoma 1712 in 1724 je bil uradnik cesarske dvorne blagajniške in rudarske komisije, nato preiskovalec gozdov, cest, morja na Reki in nadzornik deželnih cest na Kranjskem. Med letoma 1724 in 1747 je bil upravitelj rudnika v Idriji, kjer je rudniško zbirko obogatil s številnimi pripomo~ki, izdelanimi na osnovi sodobnih vakuumskih in urarskih tehnik; Idrija je bila njega dni svojevrstna prestolnica vakuumskih raziskav, ki so domala vse temeljile na uporabi idrijskega živega srebra. žal se Steinberg ni dobro razumel z rudniškim zdravnikom Scopolijem, ki je do konca dni verjel v flogistonsko teorijo. Slika 12: Papinov visokotlačni lonec 458 23 S. Južnič: Ljubljančanove knjige o vakuumu v Bruslju Janez Karl Filip Kobencl ni pomagal le kranjskim pisateljem; pla~al je tiskanje zgodovinske knjige Roberta Macquereau de Valenciennesa, ki jo je uredil hebraist in bibliograf Jean-Noel Paquot (* 1722; f 1803) z omembo Kobenclovega imena v uvodu. Ne~ak janeza Karla Filipa Kobencla grof janez Filip Kobencl se je navzel nekaj stri~eve veliko-poteznosti; dal si je posvetiti nemški dunajski prevod Eulerjeve latinske razprave o kometih iz leta 1744, ki jo je leta 1781 na Dunaju prevedel jurist, diplomat, arhitekt, astronom, vakuumist in matematik Janez Krstnik baron Paccassi (Johann Baptist, * 1758 Gorica; f 1818 Dunaj). Ta je sodeloval z Gruberjevim u~iteljem Karlom Scherfferjem in Abrahamom Gotthelfom Kästnerjem, ~igar knjige je Gabrijel Gruber uporabljal pri svojih ljubljanskih predavanjih. Paccassija so sprejeli v berlinsko akademijo znanosti tako kot Eulerja in Lamberta; z njima si je pridno dopisoval. Janez Krstnik Paccassi je leta 1781 na Dunaju prevedel pravne spise francoskega finan~nega ministra Jacquesa Neckerja (* 1732; f 1804). Bil je potomec dvornega arhitekta Schönbrunna, Nikolaja Fran~iška Leonarda Paccassija (Nikolaus Franz Leonhard, * 1716 Dunajsko Novo mesto; f 1790 Dunaj), ki je postal ~lan dunajske umetniške akademije Зпђиип grерђ. tum ^accafft . шешгвиа iib tt bit 35 c ш C 9 u it 31 n t> 11 £uftmaf$Uf. ■far ш ... > :6y 6* Slika 14: Slika na koncu Paccasijeve knjige o plovbi s polnjenimi in vakuumskimi baloni leta 1768 in baron 15. 7. 1769; kamnoseki Paccassi so se do evropskega slovesa povzpeli z delom za lokalne goriške velmože, vklju~no s Coroniniji. Janez Krstnik baron Paccassi je leta 1784, takoj po prvih francoskih poskusih bratov Montgolfier, objavil matemati~ne izra~une možnosti usmerjanja poletov z baloni; kot neizvedljivo zaradi predebele stene balona je zavrnil idejo jezuita Lana Terzija o vakuumskem zra~nem plovilu.23 Razmišljal je o elipsasti obliki balona in preveril upor zraka po Eulerjevi Mehaniki.24 izra~unal je krivo~rtno gibanje ob spremembi zunanjega tlaka ob poti balona na meji z vakuumom, ki ga je meril z živosrebrnim barometrom; v njem je vakuum seveda tvoril nad stolpom idrijske kovine. upošteval je tudi vpliv težnosti sosednjih planetov po ra~unih geologa Barthelmi Faujas de Saint-Fonda (Barthelemy, * 1741; f 1819); uporabljal je Saint-Fondov francoski opis Montgolfierjevega poleta, ki ga je bral tudi Žiga Zois v Ljubljani, in kritiziral slab nemški prevod Franza Überlackerja, saj si je bil gotov, da Überlacker ne obvlada sodobnih matemati~nih in vakuumskih tehnik.25 Janez Krstnik baron Paccassi je cikal tudi na nagradni razpis pariške akademije o upravljanju balonov. Že med tiskom je slišal za polnjenje balonov z ogljikovim dioksidom, ki so ga razvili tedanji vakuumisti; novost je nemudoma ponudil bralcem v dodatku.26 ® 3 S Si, ecbmtft Ц ЗДгао Xf)omu ЦМп ш Zratttira, f- .■P'f'mttwUim цп» guitianUrrn. 1 7 8 4, Slika 13: Naslovna stran Paccasijeve knjige o plovbi z baloni in možnostih za njihovo vakuumsko izvedbo 23 Paccassi, Bewegungen der Luftmaschine, str. 10-11 24 Paccassi, Bewegungen der Luftmaschine, str. 16, 20, 23 25 Paccassi, Bewegungen der Luftmaschine, str. 16, 20, 26, 27, 29 26 Paccassi, Bewegungen der Luftmaschine, str. 32, 33 6 SKLEP Ime Kobenclov je na južnih obronkih Alp ugasnilo pred dobrima dvema stoletjema, ko je zmanjkalo moških dedi~ev. Morda so v zadnjih dveh generacijah zagrešili podobno napako kot pokneženi celjski grofje tri stoletja in pol pred njimi: hoteli so si prigrabiti ~im hitreje ~im ve~ znanja z oblastjo in so pri tem pozabili 24 VAKUUMIST 32 (2012) 2 S. Južnič: Ljubljančanove knjige o vakuumu v Bruslju na stoletno habsburško modrost: oblast se redi s kar se da številnimi otroki oblastnikov. Tako kot davni celjski rod je tudi Kobenclov rod v ihti hlastanja po moči izumrl po moški veji, nikakor pa ne, preden se ni veličastno z zlatimi črkami zapisal v zgodovino slovenske diplomacije. Medtem ko so svoj čas Celjani gradili svojo moč na kopičenju donosnih namestništev, so Kobencli igrali na sodobne urarsko-vakuumske tehnike, prostozidarske zveze in visoko družbo same smetane dunajske politike. Nasprotno od Celjanov ali turjaških Auer-spergov se grofje Kobencli resda niso nikoli povzpeli do knežjih časti, a jim to gotovo niti ni preveč dišalo na predvečer Napoleonove ukinitve Svetega Rimskega cesarstva germanske narodnosti z vsemi njegovimi knezi vred. Medtem ko je bilo orožje Celjskih sablja, so Turjaški prisegali na svoje dobro gospodarjenje po Dolenjskem ali Sudetskem ter na vakuumske poskuse pod Guerickejevim okriljem; orodje Kobenclov pa se je ob njihovi notranjsko-primorski veleposesti kovalo predvsem v salonih tedanje družbene smetane, kjer so se brale znamenite knjige o novih vakuumskih tehnikah in drugih zagatah tedanjih dni. 7 POPIS POMEMBNEJŠIH OMENJANIH OSEB Rudolf Antonio Maria Coronini (* 10. 1. 1731 Gorica; f 4. 5. 1791 Gorica) Frederick Augustus Hervey (* 1730; f 1803) Karl Lotarinški (* 12. 12. 1712; f 1780) Gvido(n) Kobencl (Guodobald Cobenzl, * 1716 Gorica; f 1797) Janez Gašpar Kobencl (* 30. 5. 1664/1669 Gorica; f 20/30. 4. 1742 Gradec) Grof Janez Filip Kobencl (* 1741 Ljubljana; f 1810) Janez Karl Filip Kobencl (* 21. 7. 1712 Ljubljana; f 27. 1. 1770 Bruselj) Ludvik grof Kobencl (Johann Ludwig Joseph, * 21. 11. 1753 Bruselj; f 22. 2. 1809 Dunaj) Kasandra grofica Kobencl, poročena Coronini (* 1703; f 1788) Bernard Lamy (* 16. 6. 1640 Le Mans; SJ; f 19. 1. 1715 Rouen) Joseph-Adrien Lelarge de Lignac (1710-1762) Erazem Predjamski (Luegg, f 1484 Jama pri Postojni) Rene Antoine Ferchault de Reaumur (* 1683; f 1757) Franc Anton pl. Steinberg (Stemberg, * 1684 grad Kalec pri Zagorju in Pivki na Krasu; f 1765 Ljubljana) 8 LITERATURA Bianchini, Giovanni Fortunato, Gio. Fortunato Bianchini, medico, Osservazioni intorno all'uso dell'electricite celeste e sopra l'origine del fiume Timavo, riportate in due lettere. Drugo pismo: Osservazioni intorno al fiume Timavo scritte in una lettera al Nobile ed Erudito Signore Guido Conte Cobenzl. Venezia: G. B. Pasquali, 1754, str. 41-81. Coronini, Rodolfo, Fastorum Goritiensium liber I.: cum adnotat. Historico-genealogicis. Dunaj: Kurtzböck, 1769; Coronini, Rodolfo & Girolamo Pisanelli, Fasti Goritiensis Gorica, 1772; Coronini, Rodolfo & Alessio Stasi & Lorenzo Da Ponte, Fasti goriziani. istituto per gli incontri culturali mitteleuropei; Mariano del Friuli (Gorizia): Edizioni della Laguna, 2001. Euler, Leonhard, Theoria motuum planetarum et cometarum / Theoria motuum planetarum et cometarum continens methodum facilem ex aliquot observationibus orbitas cum planetarum tum cometarum determinandi : una cum calculo, quo comets, qui annis 1680 et 1681, itemque eius, qui nuper est visus, motus verus investigatur. Berlin, 1744; Beyträge zur Theorie der Cometen; Theorie der Planeten und Cometen von Johann Freyherrn von Pacassi übersetzt, und mit einem Anhange und Tafeln vermehrt / Leonh. Eulers, Director der Königl. Academie der Wissenschaften von Berlin, Mitglied der Kaiserl. Academie der Wissenschaften von Petersburg, ... Theorie der Planeten und Cometen. Posvečeno Janezu Filipu Kobenclu, prevajalec Johann baron Paccassi.Dunaj: J. T. von Trattner. [4] Bl., 230 S., [1] Bl., III gef. Bl : 3 graph. Darst. (Kupferst.); 4°, 1781. Galand, Michele, Charles de Lorraine, gouverneur general des Pays-Bas autrichiens (1744—1780). Bruselj: Edition de l'Universite, 1993. Gruber, Tobija, Herrn Tobias Grubers, Weltpriesters und k. k. Bau- und Navigationsdirektors im Temeswarer Banat, Briefe hydrographischen und physikalischen Inhalts aus Krain an Ignaz Edlen von Born k. k. wirklichen Hofrath.Dunaj: Johann Paul Krauss, 1781. Kobencl (Cobenzl) & Ermens, Joseph, Catalogue des livres, en toutes sortes de facultez et langues, de feu S. E. le comte de Cobenzl, Chevalier de l'Ordre de la Toison d'Or, Grand Croix de l'Ordre de Saint-Etienne, Ministre Plenipotentiare de S. M. l'Imperatrice Douairiere et Reine Apostolique pour la Gouvernement des Pais-Bas, etc, etc, dispose par ordre des matieres & avec quelques notes litterairies, Veminchk, Bruxelles, 1771. Kobencl (Cobenzl) & Paterson, S., A catalogue of a choice collection of books, antient and modern, in various languages and sciences, and in neat condition, lately made in the Netherlands: ... many of which were selected from the libraries of their excellencies the late Count Cobenzl, Prime Minister in the Austrian Netherlands; the Marquis Fuente Fuerte, the Spanish Ambassador to the States-General, De Heer de Buys, tajnik stanov Holandije in zahodne Freilandije, Philip Douw, M. D. of Middelburg & tc... London, 1772. Kobencl (patron) & Macquereau de Valenciennes, R & Paquot, J-N., Histoire generale de l'Europe depuis la naissance de Charles-Quint jusq'au cinq juin MDXXVII, Imprimerie academique, Leuven, 1765. Continuation: Histoire generale de l'Europe Durant les annees MDXXVII, XXVII, XXIX. Pariz, 1841. Korošec, Branko, Beseda dve o Steinbergovem in drugih opisih Cerkniškega jezera. Kronika 15, 1967, str. 11-22. Košir, Matevž, Brat Vega, prostozidar. Zbornik za zgodovino naravoslovja in tehnike 15-16, 2002, str. 75-111. Lamy, Bernard, Elemens de mathematiques, ou le Traite de la grandeur en general, comprend l'arithmetique, l'algebre, et l'analyse et les principes de toutes les sciences qui ont la grandeur pour objet... par le R. P. Bernard Lamy. Amsterlodami, 1680; 1682;... 2e edition revue et augmentee, Pariz: vdova Delaulne, 1731. Markovic, Željko, Ruđer Boškovic. Zagreb: JAZU, 1968-1969. Miklavčič, M. Seebach (Sepach, Sepacher) Peter. SBL, 1967, str. 268-269. Paccassi, Johann, Abhandlung über die Bewegungen der Luftmaschine. Dunaj: Trattner, 1784. Papin, Denis, La Maniere d'amolir les Os, et de faire cuire toutes sortes de viandes en fort peu de temps, & a peu de frais. Avec Une description de la Machine dont il se faut servir pour cet offet, ses proprietez & ses usages, confirmez par plusieurs Experiencez. Amsterdam: Henry Desbordes, 1688. Rainer, Johann, Grazer Nuntiatur 3. Band. Nuntiatur des Girolamo Portia und Korrespondenz des Hans Kobenzl 1592-1595. Dunaj: Akademie, 2001. Sevnik, Roman, Steinberg (Stemberg), Franc Anton (geslo), Primorski slovenski biografski leksikon (ur. Martin Jevnikar) 14, 1988, str. 458-459. Shaw, Trevor, Bishop Hervey at Trieste and in Slovenia, 1771 = Škof Hervey v Trstu in Sloveniji 1771. Acta carsologica 30, 2001. št. 2, str. 279-291. Sorgeloos, Claude, 'La bibliotheque de Charles de Lorraine', Revue belge de philologie et d'histoire 60, 1982, št. 4, str. 809-838. Sorgeloos, Claude, La bibliotheque du comte Charles de Cobenzl, ministre pleni-potentiaire dans Les Pays-Bas autrichiens et celle de son epouse, la comtesse Marie-Therese de Palffy. In: Le livre & l'estampe (Bruselj) 30, 1984, str. 115-210. Stipišic, Jakov, Pomocne povijesne znanosti u teoriji in praksi. Zagreb: Školska knjiga, 1972. Tavagnutti, Maurizio, Giovanni Fortunato Bianchini and the first studies on the subterranian river Timavo in the ancient county of Gorizia, 5. speleološki simpozij APS v Zadru, ALCADI 23. 5.-28. 5. 2000. Villermont, Charles, Le comte de Cobenzl, ministre plenipotentaire aux Pays-Bas. Lille: Desclee, 1925. VAKUUMIST 32 (2012) 2 25 DRUŠTVENE NOVICE DRUŠTVENE NOVICE VAKUUMSKA KONFERENCA V DUBROVNIKU Med 3. in 8. junijem 2012 je v Dubrovniku na Hrvaškem potekal največji letošnji evropski znanstveni kongres raziskovalcev, ki se ukvarjajo z vakuumsko znanostjo, vakuumskimi tehnologijami in uporabo vakuuma v različne namene. Kongres je združil naslednja tradicionalna srečanja: • 14. združeno vakuumsko konferenco srednjeevropskih držav, • 12. evropsko vakuumsko konferenco, • 11. letno srečanje Nemškega vakuumskega združenja, • 19. hrvaško-slovensko vakuumsko srečanje. Predsednik kongresa je bil dolgoletni aktivni član in bivši predsednik Hrvaškega vakuumskega društva, dr. Nikola Radie. Pri organizaciji so mu pomagali člani mednarodnega in lokalnega organizacijskega odbora. Med člani mednarodnega organizacijskega odbora sta bila tudi člana Društva za vakuumsko tehniko Slovenije, doc. dr. Miha čekada in doc. dr. Alenka Vesel. Znanstveni program srečanja je pripravil mednarodni programski odbor, v katerem je bilo 18 uveljavljenih znanstvenikov iz Hrvaške, Velike Britanije, Francije, Madžarske, Nemčije, češke, Slovenije, Slovaške, Avstrije, Švedske in Švice, med njimi tudi dva dolgoletna člana slovenskega vakuumskega društva, prof. dr. Monika jenko in prof. dr. Miran Mozetič. Mednarodnemu programskemu odboru je predsedoval dr. Slobodan Miloševic z Instituta za fiziko v Zagrebu. udeleženci so se udeležili različnih znanstvenih prireditev, ki so včasih potekale tudi sočasno. Poleg vabljenih in klasičnih predavanj ter posterske sekcije smo organizirali tudi okrogle mize in različne sestanke z omejeno udeležbo. V petih dnevih se je zvrstilo 21 plenarnih in vabljenih predavateljev, poleg tega pa je v vzporednih tematskih sklopih nastopilo še 63 predavateljev. Rezultate svojega dela so raziskovalci predstavili tudi v obliki 122 posterjev. Največ prispevkov je bilo s področja vakuumskih tehnik za pripravo in karakterizacijo tankih plasti, nekoliko manj pa s področja vakuumske znanosti in tehnike. Nekoliko slabše so bila zastopana druga tematska področja, ki jih je vključeval letošnji kongres: plazemska znanost in tehnika, znanost o površinah, nanometrske strukture, elektronski materiali in inženiring površin. Zadnje omenjeni tematski sklop je bil delno vsebovan že v drugih sklopih. Več kot 250 registriranih udeležencev je prisluhnilo najnovejšim usmeritvam interdisciplinarnih raziskav v okolju različnih stopenj vakuuma in sodelovalo pri razpravah o prihodnji usmerjenosti raziskav, ki se vse bolj nagibajo k okolju prijaznim tehnologijam in izdelkom. prof. dr. Miran Mozetič, predsednik DVTS Slika 1: Predsednik konference dr. Nikola Radie Slika 2: Predsednik mednarodnega programskega odbora dr. Slobodan Milosevic (levo) in predsedujoči programskemu sklopu prof. dr. Frantisek Fendrych (desno) 26 VAKUUMIST 32 (2012) 2 DRUŠTVENE NOVICE Slika 3: Predavanja so bila v kongresni dvorani hotela Rixos Libertas Slika 4: Prof. dr. Karl Leo s Tehni{ke univerze v Dresdenu, Nem~ija, (v sredini) je leto{nji prejemnik priznanja »Rudolf Jaeckel Prize«, ki ga vsako leto podeljuje nem{ko vakuumsko dru{tvo. Levo od nagrajenca sta dr. Michael Kopnarski in dr. Michael Heuken, desno pa prof. dr. Hans Oechsner in dr. Nikola Radie. Slika 5: Sre~anja se je udeležil tudi znanstveni tajnik mednarodne vakuumske zveze prof. dr. Christoph Eisenmenger -Sittner. Slika 6: Prof. dr. Adolf Winkler je predstavil komplementarni hipotezi o nukleaciji in rasti skupkov organskih molekul s kondenzacijo iz parne faze v obmo~ju visokega vakuuma. Slika 7: Med predsedujo~imi tematskih sklopov je bil tudi stari znanec mednarodne vakuumske zveze dr. Lars Westerberg. 1 i Slika 8: Plenarni predavatelj je bil direktor Direktorata za znanost in tehnologijo mednarodne zveze IUVSTA prof. dr. David Ruzic, ki je predstavil uporabnost litijevih oblog v prihodnjih komercialnih fuzijskih plazemskih reaktorjih. VAKUUMIST 32 (2012) 2 27 DRUŠTVENE NOVICE ■ ^^^ Slika 9: Med razpravljavci je bil tudi prof. dr. §efik Süzer, ki bo organiziral prihodnjo evropsko konferenco o povr{inah v Carigradu. Slika 10: Član izvr{nega odbora Dru{tva za vakuumsko tehniko Slovenije doc. dr. Miha Čekada je predaval o napakah v tankih plasteh. Slika 12: Izvr{ilni založnik podjetja Elsevier, dr. Jan Willem Wijnen (levo), in dolgoletni urednik ugledne revije »Vacuum« prof. dr. John Colligon (desno) med tematsko delavnico o pripravi znanstvenih člankov. Slika 13: Zaslužni profesor Tokijskega tehnolo{kega in{tituta, dr. Masahiro Yoshimura, si je ogledal poster članice slovenskega vakuumskega dru{tva, Nine Recek. Slika 11: Med povabljenimi predavatelji je bila tudi članica slovenskega vakuumskega dru{tva dr. Ita Junkar. Slika 14: Predstavnik Avstrijskega vakuumskega dru{tva prof. dr. Christoph Eisenmenger - Sittner predaja nagrado za naj-bolj{i poster članici slovenskega vakuumskega dru{tva Martini Modic. 28 VAKUUMIST 32 (2012) 2 DRUŠTVENE NOVICE 25. SIMPOZIJ O FIZIKI PLAZME IN PLAZEMSKIH TEHNOLOGIJAH V Pragi na češkem je Tehniška univerza organizirala že 25. srečanje znanstvenikov in inženirjev, ki se ukvarjajo z raziskavami nekaterih vrst plinske plazme in razvojem ter uporabo tehnoloških postopkov, ki temeljijo na uporabi tovrstne plazme. Na letošnjem srečanju je bil poudarek na naslednjih tematskih sklopih: • Veliki plazemski reaktorji, kot so tokamaki in podobne naprave z magnetnim zaprtjem plazme; • Kratkožive plazme, ki nastajajo z visokotokovnimi enosmernimi plinskimi razelektritvami ali z obstreljevanjem plina s curki delcev z veliko kinetično energijo; • Plazme, ki nastanejo z absorpcijo laserske svetlobe; • Termodinamsko neravnovesne plazme z nizko-kinetično temperaturo težkih delcev; • Termodinamsko ravnovesne vroče plazme; • Plazemske tehnologije; • Fizikalne osnove plinske plazme; • Teorija plinske plazme in simulacije. Simpozija se je udeležilo več kot 150 raziskovalcev in inženirjev, ki so predstavili svoje dosežke s predavanji v dveh vzporednih sklopih in plakati v treh popoldanskih sklopih. Programski odbor je za vabljene predavatelje v plenarnem sklopu izbral 26 vrhunskih raziskovalcev iz Francije, Nizozemske, Portugalske, Velike Britanije, ZDA, Avstralije, Češke, Rusije, Norveške, Avstrije, Slovenije in Singapura. Simpozij je potekal pod okriljem Evropskega fizikalnega združenja. Mlajši udeleženci - doktorski ali podoktorski študentje so tekmovali za najboljši poster. Komisija v sestavi: prof. dr. Holger Kersten (predsednik) in člani prof. dr. Pavel Kubeš, dr. Jan Stöckel, prof. dr. Tomaž Gyergyek, prof. dr. Jiff ullschmied in dr. Eva Kovačevič je med merili posebej poudarila originalnost raziskav in znanstveno kakovost vsebine in predstavitve, pa tudi način priprave posterja in sposobnost pravilnega zagovarjanja svojih stališč. Nagrado za najboljši prispevek sta si razdelila dva raziskovalca, in sicer Jan Kluson in Matej Peterka za prispevka z naslovoma »Diagnostic study of the discharge in the lowpressure plasma jet sputtering system« (Kluson) in »Systematic ball-pen probe measurements of the plasma potential in different low temperature plasma conditions« (Peterka). prof. dr. Miran Mozetič Slika 2: Predsednik organizacijskega odbora je bil prof. dr. Jan Pichal s Tehniške Univerze v Pragi. Slika 1: Simpozij je odprl predsednik programskega sveta prof. dr. Holger Kersten z Univerze v Kielu. Slika 3: Clan programskega sveta simpozija je bil tudi dolgoletni član DVTS prof. dr. Tomaž Gyergyek z Univerze v Ljubljani. VAKUUMIST 32 (2012) 2 29 DRUŠTVENE NOVICE Slika 4: Predsednik tematskega sklopa o fuziji je bil dr. Jan Stöckel, dolgoletni direktor fuzijskih raziskav na tokamakih CASTOR in kasneje COMPASS, ki se nahajata na Inštitutu za fiziko plazme na Češki akademiji znanosti. Slika 6: Prof. dr. Wei Dong Zhu z Odseka za uporabne znanosti in tehnologije Univerze v Jersey Cityju, ZDA, je predaval o originalni napravi za ustvarjanje dvodimenzionalne atmosferske plazme velikih dimenzij, ki temelji na množici elektrod z dielektrično zaporo. Slika 5: Dr. Vftezslav Stranak z Inštituta za fiziko Univerze v Greifswaldu je predaval o nanosu funkcionalnih prevlek z naprševanjem z močnostnimi magnetronskimi pulzi. Slika 7: Slovesna podelitev nagrade za najboljši poster mladih raziskovalcev. Od leve proti desni so predsednik organizacijskega odbora, prof. dr. Jan Pichal, nagrajenca Jan Kluson in Matej Peterka in predsednik znanstvenega odbora, prof. dr. Holger Kersten. PREGLED KONFERENC V LETU 2012 63rd Annual meeting of the International society of electrochemistry 19.-24. avgust 2012, Praga, Češka (rok za povzetek: 1. marec 2012) event12.ise-online.org 23nd European conference on diamond, diamond-like materials, carbon nanotubes and nitrides - Diamond 2012 2.-6. september 2012, Granada, Španija (rok za povzetek: 25. april 2012) www.diamond-conference.elsevier.com 14nd Annual conference YUCOMAT 3.-7. september 2012, Herceg Novi, Črna gora (rok za povzetek: 1. maj 2012) www.mrs-serbia.org.rs The European corrosion congress - EUROCORR 2012 9.-13. september 2012, Istanbul, Tur~ija (rok za povzetek: 10. februar 2012) www.eurocorr.org 30 VAKUUMIST 32 (2012) 2 DRUŠTVENE NOVICE 13th International conference on plasma surface engineering - PSE 2012 10.-14. september 2012, Garmisch-Partenkirchen, Nemčija (rok za povzetek: 31. januar 2012) www.pse2012.net European materials research society fall meeting -EMRS 17.-21. september 2012, Varšava, Poljska (rok za povzetek: 31. maj 2012) www.emrs-strasbourg.com 48th International conference on microelectronics, devices and materials - MIDEM 2012 19.-21. september 2012, Otočec, Slovenija (rok za povzetek: 1. junij 2012) www.midem-drustvo.si/conf2012 International conference on advances in materials science and engineering - AMSE 2012 27.-28. september 2012, Bangkok, Tajska (rok za povzetek: 1. april 2012) www.smss-sg.org/amse2012 6'h Vacuum and surface sciences conference of Asia and Australia (VASSCAA-6) 9.-13. oktober, Islamabad, Pakistan (rok za povzetek: 30. junij 2012) www.vasscaa6.com.pk 20. jubilejna konferenca o materialih in tehnologijah 17.-19. oktober 2012, Portorož, Slovenija (rok za povzetek: 15. junij 2012) konferenca2012.imt.si PREGLED KONFERENC V LETU 2013 International conference on industrial technology - IEEE ICIT 2013 25.-27. februar 2013, Cape Town, Južna Afrika rok za povzetek: 1. september 2012 www.icit2013.org 40th International conference on metallurgical coatings & thin films - ICMCTF 2013 29. april-3. maj 2013, San Diego, ZDA rok za povzetek: 1. oktober 2012 www2.avs.org/conferences/icmctf European materials research society spring meeting - EMRS 27.-31. maj 2013, Strasbourg, Francija rok za povzetek: 16. januar 2013 www.emrs-strasbourg.com Mednarodni znanstveni sestanek Vakuumska znanost in tehnika Hrvaško-slovensko srečanje vakuumistov predvidoma junija 2013, Slovenija rok za povzetek: (še ni določen) http://www.dvts.si (domača stran društva) European congress and exhibition on advanced materials and processes - EUROMAT 2013 8.-13. september 2013, Sevilla, Španija rok za povzetek: januar 2013 euromat2013.fems.eu 19h International vacuum congress, IVC-19 vključuje tudi International conference on nano-science and technology - ICN+T 2013, 15th international conference on solid surfaces - ICSS-15, Innovations in thin films processing and characterisation - ITFPC 2013, Magnetron, ion processing & arc technologies European conference - MIATEC 2013, 19th international conference on plasma processes - CIP 2013 in Reactive sputter deposition -RSD 2013 9.-13. september 2013, Pariz, Francija rok za povzetek: 15. januar 2013 www.ivc19.com 3rd European symposium on photocatalysis - JEP 2013 25.-27. september 2013, Portorož, Slovenija rok za povzetek: (še ni določen) www.photocatalysis-federation.eu 15th European conference on applications of surface and interface analysis - ECASIA 2013 13.-18. oktober 2013, Cagliari, Italija (rok za povzetek: spomladi 2011) http://people.unica.it/ecasia13 VAKUUMIST 32 (2012) 2 31 DRUŠTVENE NOVICE PREGLED ČLANKOV V VAKUUMISTU 2002-2011 Natančno pred desetimi leti smo objavili zgoščen pregled vseh člankov, ki so bili do tedaj objavljeni v Vakuumistu (Vakuumist 22/1 (2002), 29-33). Omejili smo se na znanstvene in strokovne članke, tako da v pregledu ni bilo društvenih novic, vabil itd. Desetletje je okoli in ob tej priliki je na mestu, da seznam obnovimo. Na naslednjih štirih straneh je zbran pregled vseh znanstvnih in strokovnih člankov, ki so bili objavljeni od začetka leta 2002 do konca leta 2011. Pregled je urejen na enak način kot tisti izpred desetih let. letnik 22, {t. 1, marec 2002 4-9 Maček Marijan Energijsko ločljiva masna spektroskopija plazme 10 15 Jenko Saša Uporaba sinhrotronske svetlobe pri študiju strukture proteinov 16 18 Irmačnik-Belič Lidija, Setina Janez, Erjavec Bojan Akreditacija Laboratorija za metrologijo tlaka na Inštitutu za kovinske materiale in tehnologije 19 24 Južnič Stanislav Zgodovina raziskovanja tekočih kristalov (3. del) 25 26 Panjan Peter Nekaj napotkov za mehansko pripravo površine vzorcev za metalografske preiskave in podlag za nanos vakuumskih tankih plasti 29 33 Čekada Miha Pregled člankov v Vakuumistu 1981-2001 letnik 22, {t. 2-3, avgust 2002 4-8 Cerc Korošec Termična analiza tankih plasti Romana (1. del) 9-12 Pregelj Andrej, Pirih Razvoj plinskega odvodnika Andrej, Hribar Ziga, Stagoj Aleš, Brecelj France, Bizjak Martin 13 16 Jug Nina Mehanizmi rasti vakuumskih tankih plasti 17 24 Surca Angela, Vince Jelica, Orel Boris Elektrokromni sklop s trdnim redoks-elektrolitom I~/I3", pripravljenim po postopku sol-gel 25 28 Panjan Peter Nanašanje trdih zaščitnih prevlek s katodnim lokom 29 37 Južnič Stanislav Zgodovina raziskovanja tekočih kristalov (4.del) 38 39 Južnič Stanislav 150-letnica napršenih vakuumskih tankih plasti 40 41 Čekada Miha Uporaba profilometra pri analizi površin in tankih plasti 42 Gasperič Jože Varnost pri delu v vakuumski tehniki letnik 22, {t. 4, december 2002 4-7 8-13 14-16 17-23 Dolinšek Slavko Cvelbar Uroš, Mozetič Miran, Čekada Miha Čekada Miha, Panjan Peter Glavič Peter 24-27 Južnič Stanislav Tehnologija laserskega sintranja za hitro izdelavo prototipov in orodij Teorija rasti kovinskih oksidnih plasti Diamantu podobne ogljikove (DLC) plasti Mednarodni standardi - Veličine in enote (ISO 31-0 do 31-13) Vakuumski baloni (Ob dvestoletnici Vegove smrti) 28-29 Gasperič Jože 30-33 Panjan Peter Vzrok za podaljšan čas črpanja vakuumskih sistemov in kako se temu izognemo Nova naprava za nanos keramičnih trdih prevlek_ letnik 23, {t. 1, april 2003 4-9 Cerc Korošec Termična analiza tankih plasti Romana, Bukovec (2. del) Peter 10- 12 Vesel Alenka, Mozetič Miran Magnetronska ionsko-razprševalna črpalka 13- 20 Čakare-Samardžija Laila Termodinamika površin trdnih snovi 21- 28 Južnič Stanislav Prvih osemdeset let spektroskopije Augerjevih elektronov. Ob desetletnici Augerjeve smrti 29- 30 Nemanič Vincenc, Zajec Bojan Pospešeno ohlajanje obdelovancev v vakuumu letnik 23, {t. 2-3, oktober 4-7 8-12 13-16 Čekada Miha, Panjan Peter, Dolinšek Janez Gasperič Jože Panjan Peter 17-22 Furlan Andrej, Radie Nikola 23-30 Južnič Stanislav 31-42 Južnič Stanislav 43-46 46-48 Zitko Rok Čekada Miha 2003 Kvazikristalne tanke plasti Uporaba vakuuma v medicini PVD-prevleke za zaščito orodij za suho obdelavo Magnetronsko nanašanje volframskih tankih plasti Kako je vakuum prišel na Kitajsko (Ob 300-letnici Hallersteinovega rojstva) Turjaški knez, prvi kranjski vakuumist (Ob 350-letnici Guerickejevega poskusa z magdeburškima polkroglama) Priprava atomsko čistih površin Določanje debeline tankih plasti iz meritve profila stopnice_ letnik 23, {t. 4, december 2003 4-8 Panjan Peter Pomen trdih zaščitnih prevlek za zaščito orodij v avtomobilski industriji (1. del) 9-14 Vesel Alenka, Plazemska sterilizacija Mozetič Miran 15-26 Južnič Stanislav Ljubljanski izumitelj Codelli (ob 50-letnici smrti) 27-28 Panjan Peter Čiščenje površin trdih podlag s peskanjem letnik 24, {t. 1-2, junij 2004 4-12 Samardžija Zoran Osnove metod SEM in AFM za preiskave površin 13-18 Uplaznik Marko, Mihailovic Dragan Osnove elektronske nanolitografije 19-25 Panjan Peter Zaščita orodij za preoblikovanje pločevine s trdimi zaščitnimi prevlekami (2. del) 26-38 Kosec Mikic Tadeja, Korozijski procesi, vrste korozije Milošev Ingrid in njihove zaščite 39-46 Južnič Stanislav, Zigon Tanja Röntgen v Ljubljani 47-52 Južnič Stanislav Vakuum v Vegovi balistiki (ob Čekada Miha, 250-letnici Vegovega rojstva) 53-54 Merjenje poroznosti tankih plasti s Panjan Peter helijem 32 VAKUUMIST 32 (2012) 2 DRUŠTVENE NOVICE letnik 24, št. 3, oktober 2004 4-13 Zitko Rok, Muševič Igor 14-17 Panjan Peter, Čekada Miha 18-29 Južnič Stanislav Tunelski mikroskop kot nanotehnološko in analitično orodje Zaščita orodij in strojnih delov s kombinacijo različnih postopkov inženirstva površin Gruber o širjenju plinov v vakuum letnik 24, št. 4, december 4-10 Čekada Miha, Panjan Peter 11-17 Panjan Peter, Čekada Miha 18-20 Cerc Korošec Romana 21-23 Samardžija Zoran, Čeh Miran, Panjan Peter, Čekada Miha 24-32 Južnič Stanislav 33-34 Panjan Peter, Čekada Miha 2004 Laserski postopki zaščite površin Tribološke lastnosti trdih zaščitnih prevlek Temperaturna kalibracija termoanalizatorja Mikrostrukturna karakterizacija trdih prevlek (Ti,Al)N in Cr(C,N) Raziskovanje vakuuma na (dunajskem) fizikalnem inštitutu Jožefa Stefana (ob stopetindvajsetletnici Stefanovega zakona) Zakaj pri vakuumskem nanšanju tankih plasti potrebujemo visoki vakuum? letnik 25, št. 1-2, junij 2005 4-8 Klanjšek Gunde Marta, Kunaver Matjaž, Hrovat Anton, Čekada Miha, Mozetič Miran, Panjan Peter 9-12 Šetina Barbara, Jenko Monika, Muševič Igor 13-15 Ambrožič Milan, Michalski Jakub, Beranič Sabina 16-19 Drenik Aleksander, Cvelbar Uroš, Vesel Alenka, Mozetič Miran, Vratnica Zoran, Vujoševic Danijela 20-23 Vratnica Zoran, Vujoševic Danijela, Bele Marjan, Drenik Aleksander, Vesel Alenka, Cvelbar Uroš, Mozetič Miran 24-27 Kek Merl Darja, Panjan Peter 28-39 Južnič Stanislav 40-41 Paulin Alojz, Južnič Stanislav 42-44 Panjan Peter 45-49 Panjan Peter Analiza površin matiranih praškastih premazov Segregacija Računalniška analiza mikrostrukture keramičnega materiala Meritve gostote atomov v šibkoionizirani kisikovi plazmi vzdolž zaprte cevi Preiskave bakterij s sodobnim vrstičnim elektronskim mikroskopom Priprava trdega elektrolita za gorivne celice v obliki tanke plasti in njegove lastnosti Zgodnje raziskovanje vakuuma v srednji Evropi in med Slovenci. Cauchyjeve goriške teorije vakuuma ob 60-letnica Balzersa, 155-letnici Leybolda in Heraeusa Aleš Strojnik s prvim ljubljanskim elektronskim mikroskopom (Ob deseti obletnici zaslužnega slovenskega znanstvenika) Nastanek turbulence pri črpanju vakuumske posode Dvajsetletnica Centra za trde prevleke_ letnik 25, št. 3, oktober 2005 4-8 Klanjšek Gunde Analiza kemijske sestave in Marta, Vesel Alenka, sevalnih lastnosti aluminizirane Opara Krašovec polimerne folije Urša, Kunaver Matjaž, Mozetič Miran 9-15 Panjan Matjaž, Čekada Miha 16-18 Steiner Petrovič Darja, Jenko Monika, Milun Milorad 19-24 Kovač Janez, Zalar Anton 25-33 Južnič Stanislav Merjenje mikrotrdote trdih PVD-prevlek z nanoindenterjem (1. del) - Fizikalna opredelitev trdote Analiza desorpcije bakra z metodo termične desorpcijske spektroskopije Zmogljivosti rentgenskega fotoelektronskega spektrometra (XPS) na Institutu "Jožef Stefan" Nanocevke (ob desetletnici sinteze nanocevk MoS2 v Ljubljani) letnik 25, {t. 4, december 2005 4-7 Santo Zarnik Marina, Holc Janez 8-17 Panjan Matjaž, Čekada Miha 18-22 Panjan Peter, Čekada Miha 23-27 Glavan Nataša, Krstulovic Nikša, Čutic Nino, Miloševic Slobodan, Cvelbar Uroš, Vesel Alenka, Drenik Aleksander, Mozetič Miran 27 Paulin Alojz 28-33 Južnič Stanislav, Remškar Maja 34 Kek Merl Darja Optični profilometer Merjenje mikrotrdote trdih PVD-prevlek z nanoindenterjem (2. del) Magnetronsko naprševanje tankih plasti Preiskava značilnosti nizkotlačne plazme vodne pare z optično emisijsko spektroskopijo Fotoefekt kot elektromagnetni pojav Slovenke raziskujejo z vakuumskimi tehnikami Elektropoliranje_ letnik 26, št. 1-2, junij 2006 4-10 Drenik Aleksander, Vesel Alenka, Mozetič Miran 11- 15 Panjan Peter 16 22 Viršek Marko, Remškar Maja 23 29 Gec Medeja, Čeh Miran 30 34 Furlan Andrej 35 38 Južnič Stanislav 39 46 Južnič Stanislav 47 49 Panjan Peter Merjenje koeficienta rekombinacije vodikovih atomov na trdnih površinah Trde PVD-prevleke za zaščito orodij za oblikovanje plastike Vrstična tunelska mikroskopija in študij površin Tehnike priprave vzorcev za preiskave na TEM (1. del) -Mehanska predpriprava vzorca Fulerenom podobne tanke plasti CNx Kopernik o vakuumu Tesla vakuumist (ob 150-letnici rojstva) Merjenje temperature v vakuumskih sistemih med PVD-procesi nanašanja tankih plasti_ letnik 26, št. 3, oktober 2006 4-7 8-13 14-18 19-22 Panjan Peter Ambrožič Milan Kosec Tadeja, Milošev Ingrid Gec Medeja, Čeh Miran 23-31 Južnič Stanislav 32-34 Panjan Peter Trde PVD-prevleke za zaščito orodij za oblikovanje plastike (2. del) Poroznost keramike: merjenje poroznosti in njen vpliv na mehanske lastnosti snovi Inhibicija korozijskih procesov Tehnike priprave vzorcev za preiskave na TEM (2. del) - Ionsko jedkanje vzorcev Knjige o vakuumu prvega ljubljanskega vakuumista Poliranje orodnega jekla_ VAKUUMIST 32 (2012) 2 33 DRUŠTVENE NOVICE letnik 26, št. 4, december 2006 4-9 Zupanič Franc 10-13 Junkar Ita, Hauptman Nina, Cvelbar Uroš, Kovač Janez, Mozetič Miran 14-18 Kevorkijan Varužan 19-29 Južnič Stanislav 33-34 Panjan Peter Tehnologija fokusiranega ionskega curka (FIB) Obdelava umetnih žil s kisikovo plazmo Inženiring površine izdelkov in polizdelkov iz aluminijevih zlitin Peterlinov prispevek k razvoju vakuumskih tehnik Plini za pripravo vakuumskih (PVD) tankih plasti_ letnik 27, št. 1-2, junij 2007 4-13 Zalar Anton 14-19 Zupanič Erik, Zitko Rok, Prodan Albert, Muševič Igor 20-23 Blaževič Edita, Milošev Ingrid 24-33 Cvelbar Uroš, Mozetič Miran 34-42 Finšgar Matjaž, Milošev Ingrid 43-52 Južnič Stanislav Trideset let spektroskopije Augerjevih elektronov v Sloveniji Načrtovanje in izdelava ultravisokovakuumskega kriostata s helijevo kopeljo za vrstično tunelsko mikroskopijo Uporaba dentalnih zlitin za protetične nadomestke in implantate Osnove fizike kisikove plazme Uporaba piezoelektrične kremenove mikrotehtnice Pospeševalniki in tanke plasti v senci (jugo)slovenske A-bombe (ob 55-letnici poimenovanja Instituta "Jožef Stefan" dne 24. 5. 1952) letnik 27, št. 3, oktober 2007 4-9 10-15 16-22 Kosec Tadeja, Milošev Ingrid Ambrožič Milan Finšgar Matjaž, Milošev Ingrid 23-30 Južnič Stanislav 31-34 Panjan Peter, Cekada Miha, Panjan Matjaž, Paskvale Srečko, Fišer Jožko Inhibicija korozije bakra in njegovih zlitin s cinkom z benzotriazolom v kloridni raztopini Obrabna obstojnost keramike Ciklična voltametrija -elektrokemijska metoda za študij reakcijskih mehanizmov Valvasor o vakuumu in tankostenskih kipih (ob 320-letnici Valvasorjeve izvolitve v londonsko Kraljevo družbo) Opis metod za študij topografije površine podlag na mikronivoju letnik 27, št. 4, december 2007 4-8 9-15 16-19 20-22 23-34 Zupanič Franc Tušek Janez, Muhič Tadej, Pleterski Matej, Klobčar Damjan Pleterski Matej, Tušek Janez, Muhič Tadej, Pompe Klemen Cekada Miha, Kahn Markus, Waldhauser Wolfgang Južnič Stanislav Vakuumsko indukcijsko taljenje Lasersko reparaturno varjenje dupleksno zaščitenih orodnih jekel Sanacija termorazpok na orodjih za tlačno litje z lasersko tehnologijo Anodni ionski izvir Vakuum trubarjevih dni (ob 500-letnici Trubarjevega rojstva) letnik 28, št. 1-2, junij 2008 4-7 8-11 Hauptman Nina, Spremembe površine praškastega Klanjšek Gunde premaza zaradi jedkanja s Marta, Vesel Alenka, kisikovo plazmo Kunaver Matjaž Drenik Aleksander, Odstranjevanje amorfnih Vesel Alenka, hidrogeniziranih ogljikovih tankih Mozetič Miran, plasti s kisikovimi atomi Panjan Peter, Cekada Miha 12-18 19-24 25-29 Finšgar Matjaž, Milošev Ingrid Panjan Matjaž, Zalar Anton, Kovač Janez, Cekada Miha, Panjan Peter Ambrožič Milan 30-34 Cekada Miha, Panjan Peter 35-40 Zupanc Uroš 41-46 47-49 Južnič Stanislav Panjan Peter Organske molekule kot korozijski inhibitorji Določanje koncentracijskih profilov in difuzijskih parametrov v tankoplastnih strukturah s profilno analizo in modelom MRI Porazdelitev trdnosti keramičnih materialov Plazemski elektrolitski postopki Površinska obdelava materiala -Obstreljevanje s kroglicami Proslave Peterlinove 100-letnice Nova sodobna naprava za nanos trdih PVD-prevlek v Centru za trde prevleke na Institutu "Jožef Stefan" letnik 28, št. 3, oktober 2008 4-8 Maglica Aljoša, Ambrožič Milan 9-19 Samardžija Zoran 20-21 Južnič Stanislav 22-31 Južnič Stanislav 32-33 Panjan Peter, Cekada Miha, Panjan Matjaž Razvoj keramične žarilne svečke Opazovanje magnetnih domen z vrstičnim elektronskim mikroskopom s spinsko polarizacijo sekundarnih elektronov Osemdesetletnica televizijskega patenta Ljubljančana Codellija Prvih 800 let frančiškanskega vakuuma za Slovence (ob 800-letnici frančiškanskega reda v letu 2009) Kje in kako dovajati reaktivni plin med naprševanjem tankih spojinskih plasti?_ letnik 28, št. 4, december 2008 4-8 9-16 17-22 Opara Krašovec Elektrokemijske sončne celice Urša, Berginc Marko, Hočevar Mateja, Topič Marko Orel Boris, Slemenik Selektivni barvni premazi za Perše Lidija, Surca Vuk Angela, Jerman Ivan, Merlini Dušan Panjan Peter 23-30 Južnič Stanislav sončne fasade Termični pršilni postopki nanašanja prevlek Kapucinski vakuum sredi 17. stoletja (ob 800-letnici frančiškanskega reda, 2. del) letnik 29, št. 1-2, junij 2009 4-8 Muhič Tadej, Tušek Janez, Možina Janez, Pleterski Matej, Kosec Ladislav 9-22 Samardžija Zoran 23-30 Zupanič Franc 31-36 Panjan Peter, Cekada Miha, Panjan Matjaž, Paskvale Srečko, Kek Merl Darinka 37-56 Južnič Stanislav letnik 29, št. 3, september 19-25 Jerman Ivan, Surca Vuk Angela, Koželj Matjaž, Orel Boris 26-29 Nemanič Vincenc, Zajec Bojan, Zumer Marko 30-42 Južnič Stanislav Poliranje z laserskim žarkom Mejne površine v kompozitih Kontinuirno litje nikljevih superzlitin v vakuumu Pulzno magnetronsko naprševanje pri veliki vršni moči Vakuum barona Zoisa (ob dvestoletnici Ilirskih provinc)_ 2009 Primerjava korozijskih lastnosti različnih multifunkcionaliziranih POSS-prevlek na zlitini AA 2024 Meritve skrajno majhne permeacije vodika Knjige o vakuumu iz nekdanje knjižnice cistercijanov v Stični (ob 225-letnici ukinitve samostana v Stični, ob 250-letnici Florjančičeve smrti)_ 34 VAKUUMIST 32 (2012) 2 DRUŠTVENE NOVICE letnik 29, št. 4, december 2009 letnik 31, št. 1, marec 2011 4-8 Finšgar Matjaž, Milošev Ingrid 9-20 Arsenijevič Branislav, Gasperič Jože 21-24 Repnik Robert, Gerlič Ivan, Ambrožič Milan 25-32 Južnič Stanislav Inhibicijska učinkovitost benzotriazola in 1-hidroksi-benzotriazola proti koroziji bakra Preizkušanje na vakuumsko tesnost - neporušitvena metoda z mehurčki Prikaz spremembe lomnega količnika evakuiranega zraka z odmikom svetlobnega žarka v valjni geometriji Knjige o vakuumskih poskusih na slovenskem pred katodnimi elektronkami letnik 30, št. 1, april 2010 5-14 Finšgar Matjaž, Milošev Ingrid Zaščita nerjavnega jekla v kloridnih raztopinah s polietileniminskim korozijskim inhibitorjem 15-19 Arsenijevič Preizkušanje na vakuumsko Branislav, Gasperič tesnost - neporušitvena akustična Jože metoda 20-36 Južnič Stanislav Zgodnje japonske vakuumske tehnike letnik 30, št. 2, julij 2010 4-7 Eleršič Kristina, Kovač Janez, Modic Martina, Mozetič Miran 8-16 Finšgar Matjaž, Milošev Ingrid 17-24 Južnič Stanislav ARXPS analiza bakterij Escherichia coli, obdelanih v kisikovi plazmi Primerjava polietileniminskih korozijskih inhibitorjev Hočevarjevi vakuumski poskusi letnik 30, št. 3, september 2010 4-11 12-16 Finšgar Matjaž, Kovač Janez, Milošev Ingrid Klanjšek Gunde Marta 17-25 Južnič Stanislav Študij mehanizmov vezave molekul BTAH in BTAOH na baker z rentgensko fotoelektronsko spektroskopijo - XPS Fotobiološka varnost nekoherentnih optičnih sevanj -določila nove uredbe Vakuum ljubljanskih frančiškanov letnik 30, št. 4, november 2010 4-8 9-18 19-25 26-28 29-33 Zaplotnik Rok, Vesel Razelektritveni parametri pri Alenka, Mozetič prehodu iz E- v H-način v kisikovi Miran plazmi Lojen Gorazd, Anžel Mikrostrukture kontinuirno litih palic iz zlitine z oblikovnim spominom Cu-Al-Ni Fotobiološka varnost nekaterih virov nekoherentnih umetnih optičnih sevanj Ivan Klanjšek Gunde Marta, Friškovec Mojca, Sever Škapin Andrijana, Bernard Janez Gasperič Jože, Preizkušanje na vakuumsko Arsenijevič Branislav tesnost - neporušitvena termovizijska metoda Južnič Stanislav Knjigi na pot 4-7 Zupanič Franc 8-14 Klanjšek Gunde Marta, Faktor Darijan, Čekada Miha, Paskvale Srečko, Panjan Peter, Sušin Barbara, Hauptman Nina, Friškovec Mojca 15-29 Južnič Stanislav letnik 31, št. 2, junij 2011 Uporaba mikroposnetkov z odbitimi elektroni pri identifikaciji faz Polprepustne hologramske folije za zaščito dokumentov Vakuum razsvetljenske Ljubljane v frančiškanski knjižnici_ 4-8 Drev Marija, Opara Kraševec Urša, Hočevar Mateja, Topič Marko 9-13 Friškovec Mojca, Kulčar Rahela, Hauptman Nina, Vesel Alenka, Klanjšek Gunde Marta 14-19 Bončina Tonica 20-27 Južnič Stanislav Kapljično tiskanje polprevodniške plasti TiO, za elektrokemijske sončne celice Svetlobna obstojnost termokromnih odtisov Elektronska vrstična mikroskopija pri povišanem tlaku (ESEM) Prve vakuumske črpalke med Slovenci letnik 31, št. 3, oktober 2011 4-7 Tiskarski materiali za tiskano elektroniko Žveglič Maša, Klanjšek Gunde Marta 8-11 Vesel Alenka, Drenik Evropski sončni center Font Aleksander, Mozetič Romeu Miran 12-16 Stanislav Južnič Vakuum Osredkarjevih dni 17-21 Stanislav Južnič Vakuumske tehnike pri jedrski magnetni resonanci Roberta Blinca _(* 1933; t 2011)_ letnik 31, št. 4, december 2011 4-9 Lavrenčič Štangar Urška, Šuligoj Andraž, Kete Marko, Tasbihi Minoo 10-15 Petrovič Suzana, Gakovic Biljana, Čekada Miha, Kovač Janez, Peruško Davor, Panjan Peter, Trtica Milan 16-19 Ambrožič Milan, Kocjan Andraž, Kosmač Tomaž 20-25 Stanislav Južnič Fotokatalitske tanke plasti in njihova uporaba Lasersko inducirana modifikacija sestave in morfologije površin Stereometrična analiza nanometrskih bemitnih prevlek Boškovičev vakuum (ob 300-letnici rojstva slovitega Hrvata)_ VAKUUMIST 32 (2012) 2 35 Providing the best price performance with the greatest of ease Navigate the stage from a photo of your sampie Automatic functions for focusing, stigmation, contrast and brightness Standard recipes for common samples Help files with video instruction for beginners to SEM Advanced features for experienced users Low Vacuum capability Integrated EDS option for seamless analysis www.|eol.com +44 (0)1707 377117 euro.sales@jeol.com SCAN d.o.o. Preddvor Breg ob Kokri 7 • SI-4205 Preddvor • Phone +386-4-2750200 Fax +3864-2750420 - info@siol.net Dej ig n: www. ti arleq um creative ■ com Nebulae image courtesy of NA SA 3DVjew Video instruction