Vakuumski slovarček VAKUUMSKI SLOVARČEK Miha Cekada, Jože Gasperič Institut "Jožef Stefan", Jamova 39, 1000 Ljubljana Pred dobrimi 25 leti, natančneje v številki 3 (1992) je bil v Vakuumistu objavljen kratek slovarček vakuumskih izrazov. Avtor dr. Jože Gasperič ga niti ni poimenoval za slovar, saj je obsegal le tabelo na treh straneh z naslovom »Vakuumsko izrazje«. Poleg slovenskih izrazov (z eventualnimi sinonimi) in angleških prevodov je obsegal še nepravilne in nepriporočljive variante. Skupaj je štel 83 pojmov. Že v izhodišču je bil zastavljen kot delovna verzija, saj je bilo v uvodu dodano povabilo k dopolnitvam. V naslednji številki (4/1992) je bilo objavljeno dopolnilo, kjer je bilo poleg 11 pojmov dodanih še 58 analitskih tehnik, pri čemer jim za 19 ni uspelo najti primernega slovenskega izraza. Dopolnilo so uredili mag. Bojan Povh, dr. Jože Gasperič in dr. Velibor Marinkovic. Pred nekaj leti sva avtorja tokratnega slovarčka začela nekoliko bolj na glas razmišljati o možnosti, da bi slovarček posodobili in spet objavili. Za osnovo sva vzela prej omenjenih skupaj 152 pojmov in ga precej razširila, vendar je sčasoma redakcijski obseg postajal vse bolj obsežen in vse manj pregleden. Eno je urejati tabelo s 50 ali morda 100 pojmi, nekaj povsem drugega pa s 493 pojmi, kjer sva potegnila črto in rekla: »Dovolj je!« To je tudi botrovalo zamudi, saj sva prvotno načrtovala objavo že pred dvema letoma. Kakor koli, slovarček je pred vami. Ni popoln, ni idealen, ampak vseeno sva prepričana, da prinaša dodano vrednost v vakuumsko srenjo. Če bo veliko pobud, popravkov in dopolnil, najbrž ni ovir, da ga objavimo v dopolnjeni izdaji. Na koncu se zahvaljujeva še kolegom, ki so pomagali pri pripravi: prof. dr. absolute pressure = absolutni tlak absolutni tlak = absolute pressure absorbcija ^ absorpcija absorbe = absorbirati absorbirati = absorbe absorpcija, absorbcija = absorption absorpcijska črpalka = gas-absorbing pump absorpcijsko črpanje ^ getranje absorption = absorpcija absorptivity = vpojnost *absorptivnost ^ vpojnost accumulation test = akumulacijski preizkus adhesion = oprijemljivost, adhezija adhesion tester = merilnik oprijemljivosti, merilnik adhezije Janezu Kovaču, prof. dr. Miranu Mozetiču, doc. dr. Alenki Vesel, dr. Vinku Nemaniču in dr. Petru Panjanu. KRATKO POJASNILO Slovarček nima ločenega slovenskega in angleškega dela, temveč so vsi izrazi našteti v enotnem besednem redu. Vsak pojem ima en primarni izraz, ki je natisnjen krepko, lahko pa ima tudi sinonime (enega ali več), ki so natisnjeni navadno. Enako pravilo velja v slovenskem in angleškem jeziku, le da so angleški izrazi natisnjeni poševno (primarni izraz krepko po{evno). Zgolj v slovenskem jeziku so našteti še najpogostejši odsvetovani izrazi (z dodano *zvezdi-co) ter najpogostejši napačni izrazi, ki so natisnjeni prečrtano. Pri sinonimih, odsvetovanih in nepravilnih izrazih je navedena le puščica ^ k primarnemu izrazu. Čisto na koncu je, če obstaja, navedena še kratica (največkrat za analitske tehnike), v redkih primerih pa tudi pojasnilo. Mogoče variante so: primarni izraz, sinonim(i), *odsvetovan izraz, nepravilen izraz = angleški primarni izraz, angleški sinonim, kratica; pojasnilo sinonim ^ primarni izraz *odsvetovan izraz ^ primarni izraz nepravilen izraz ^ primarni izraz angleški primarni izraz = primarni izraz, sinonim(i), kratica angleški sinonim ^ angleški primarni izraz kratica ^ primarni izraz adhezija ^ oprijemljivost admissible ambient temperature = dopustna temperatura okolice adsorbcija ^ adsorpcija adsorbe = adsorbirati adsorbent = adsorbent adsorbent = adsorbent adsorbirati = adsorbe adsorpcija, adsorbcija = adsorption adsorption = adsorpcija AES ^ atomska emisijska spektroskopija; spektroskopija Augerjevih elektronov AFM ^ mikroskopija na atomsko silo afterglow = porazelektritev agregat ^ skupek agregate = skupek, gruča, zrastek 4 VAKUUMIST 38 (2018) 2 Vakuumski slovarček aksialni ionski izvir = axial ion source akumulacijski preizkus = accumulation test ALD ^ nanašanje atomske plasti amount-of-substance fraction = molski delež, številski delež, množinski delež angle tap = kotna pipa angle valve = kotni ventil anti-suckback valve = protitočni ventil *apertura ^ odprtina aperture = odprtina, zaslonka aperture leak = netesnost odprtine, puščanje skozi zaslonko APPJ ^ atmosferski plazemski curek at.% ^ molski delež atmosferski plazemski curek, atmosferskotlačni plazemski curek = atmospheric pressure plasma jet, APPJ atmosferski pritisk ^ atmosferski tlak atmosferski tlak, atmosferski pritisk = atmospheric pressure atmosferskotlačni plazemski curek ^ atmosferski plazemski curek atmospheric pressure = atmosferski tlak atmospheric pressure plasma jet = atmosferski plazemski curek, atmosferskotlačni plazemski curek, APPJ atomic emission spectroscopy = atomska emisijska spektroskopija, AEs atomic force microscopy = mikroskopija na atomsko silo, AFM atomic layer deposition = nanašanje atomske plasti, ALD atomska emisijska spektroskopija = atomic emission spectroscopy, AES *atomski delež ^ molski delež atomski procent ^ molski delež Auger electron spectroscopy = spektroskopija Augerjevih elektronov, AES *Augerjeva elektronska spektroskopija ^ spektroskopija Augerjevih elektronov Avogadro number = Avogadrovo število Avogadro's number ^ Avogadro number Avogadrovo število = Avogadro number, Avogadro's number axial ion source = aksialni ionski izvir back pressurizing test ^ pressurizing evacuation test backflow prevention valve = nepovratni ventil backing line = predvakuumski vod backing line port = predvakuumski priključek backing pressure = predtlak backing pump = predčrpalka backing space = predčrpalni volumen backing volume = predvakuumski volumen baffle = lovilnik (par) ball valve = krogelni ventil barometric altitude = barometrska višina barometrska višina = barometric altitude base pressure = začetni tlak batna črpalka = piston pump Bayard-Alpert gauge = Bayard-Alpertov merilnik, ionizacijski merilnik z vročo katodo Bayard-Alpertov merilnik, ionizacijski merilnik z vročo katodo = Bayard-Alpert gauge, hot cathode ionisation gauge bellows = gibljiva kovinska cev, gibljiva cev bias ^ prednapetost bias = prednapetost, napetost na podlago blank flange = slepa prirobnica bliskovno naparevanje, fleš naparevanje = flash evaporation boiler ^ heater bombing = nadtlačna obremenitev, izpostavitev nadtlaku bombing test = nadtlačnoobremenitveni preizkus booster pump = vmesna črpalka, pomožna črpalka, podporna črpalka Bourdon gauge = Bourdonov merilnik Bourdonov merilnik = Bourdon gauge brazed connection = spajkani spoj, lotani spoj brezslišen ^ neslišen bubble test = preizkus z mehurčki bulk material (metal) = masivni material (kovina), masivna snov butterfly valve = metuljasti ventil by-pass = obvod, obtok by-pass valve = obvodni ventil, obtočni ventil calibrated leak ^ standard leak calibration = umerjanje calibration leak = etalon puščanja capacitance gauge = kapacitivni merilnik capacitive diaphragm vacuum gauge ^ diaphragm vacuum gauge capacitively coupled discharge = kapacitivno sklopljena plazma, CCP capacitively coupled plasma ^ capacitively coupled discharge capillary leak = kapilarna netesnost carbonitriding = karbonitriranje carburizing = cementiranje case = primer cathodic arc = katodni lok cathodic arc evaporation = naparevanje s katodnim lokom cathodoluminescence = katodna luminiscenca, CL cavity ring-down spectroscopy = spektroskopija izzvenenja optičnega resonatorja, CRDS CCP ^ kapacitivno sklopljena plazma celokupni tlak ^ celotni tlak celotni tlak, totalni tlak, celokupni tlak = total pressure celotno puščanje, integralno puščanje = total leakage rate, integral leakage rate 5 VAKUUMIST 38 (2018) 2 Vakuumski slovarček *cementacija ^ cementiranje cementiranje, *cementacija = carburizing centering ring = centrirni obroč (za tesnilo), centrirni obroček centrirni obroč (za tesnilo), centrirni obroček = centering ring centrirni obroček ^ centrirni obroč (za tesnilo) ceramic-to-metal connection ^ ceramic-to-metal seal ceramic-to-metal seal = spoj keramika-kovina cermet ^ kermet cermet = kermet cevni spojnik = hose connector CF flange = CF-prirobnica Cl-llansa ^ CF-prirobnica CF-prirobnica, Cl -l lansa = CF flange chamber = posoda, komora, recipient characterisation = ugotavljanje značilnosti, določanje značilnosti, določanje lastnosti, karakterizacija chemical composition = kemijska sestava chemical vapor deposition = kemijsko nanašanje iz parne faze, CVD CL ^ katodna luminiscenca clamping collar = kolutna objemka clamping flange = prirobnica za spone clamping ring = objemka, spojka claw pump = kavljasta črpalka clean up time = čas čiščenja cluster ^ agregate coalescence = zlitje, zlivanje coating = prevleka, prekritje cold cathode = hladna katoda cold cathode ionisation gauge = ionizacijski merilnik s hladno katodo, Penningov merilnik collar flange = prirobnica z vijaki COM ^ konfokalna optična mikroskopija compound layer = spojinska plast compression ratio = kompresijsko razmerje concentration = koncentracija condensate = kondenzat condensate separator = izločevalnik kondenzata condensate trap = past za kondenzat condensation = kondenzacija condense = kondenzirati se (snov se kondenzira) condensor = kondenzor conditions = razmere, okoliščine, stanje conductance = prevodnost conductance leak = prevodnostna netesnost confocal optical microscopy = konfokalna optična mikroskopija, COM contamination = onesnaženje, onesnažitvena plast, plast nečistoč corona discharge = koronska razelektritev correlation = medsebojna odvisnost, soodvisnost counterflow leak detector = protitočni detektor netesnosti CRDS ^ spektroskopija izzvenenja optičnega resonatorja criterium = merilo (za neko vrednost) critical backing pressure = kritični predtlak cryopump = kriočrpalka CVD ^ kemijsko nanašanje iz parne faze CVD coating = CVD-prevleka CVD-prevleka = CVD coating čas čiščenja, *čas izginevanja = clean up time čas črpanja ^ črpalni čas *čas izginevanja ^ čas čiščenja čas preleta = time-of-flight, TOF čistoča ^ čistota (kovine) čistost ^ čistota (kovine) čistota (kovine), čistost, čistoča = purity ; čistota je delež npr. želene kovine; nasprotno od čistoče pa je nečistoča ali umazanija čiščenje s plazmo ^ plazemsko čiščenje črpalka, pumpa = pump črpalka z vodnim obročem = liquid ring pump črpalka z zapiralno loputo = Kinney pump črpalka za grobo črpanje = roughing pump črpalna hitrost = pumping speed črpalni čas, čas črpanja = pump-down time črpalni sistem = pumping system črpanje = pumping dark space = temni prostor DBD ^ razelektritev z dielektrično zaporo dead volume = mrtvi volumen, mrtva prostornina decorative coating = dekorativna prevleka defect = napaka *defekt ^ napaka dekorativna prevleka = decorative coating delati ^ ravnati (s čim) delni tlak, parcialni tlak = partial pressure delovne razmere, delovni pogoji = operating conditions delovni plin = working gas delovni pogoji ^ delovne razmere deposit = nanos deposited (film) = nanesena (plast) deposition = nanašanje deposition rate = hitrost nanašanja depozicija ^ nanašanje depozit ^ nanos desorbcija ^ desorpcija desorpcija, desorbcija = desorption desorption = desorpcija destilacija = destillation destillation = destilacija detachable connection = razstavljiv spoj detectable = zaznaven detection = odkrivanje, zaznavanje detection limit of leakage rate = mejna občutljivost meritve puščanja detector = detektor 6 VAKUUMIST 38 (2018) 2 Vakuumski slovarček detector tube = detektorska merilna glava detekcija ^ odkrivanje detektor = detector detektor ionskega toka = ion current detector detektor netesnosti, detektor puščanja = leak detector detektor netesnosti pri direktnem vtoku = direct flow leak detector detektor puščanja ^ detektor netesnosti detektorska merilna glava = detector tube diamantu podoben ogljik = diamond-like carbon, DLC diamond-like carbon = diamantu podoben ogljik, DLC diaphragm pump = membranska ~rpalka diaphragm vacuum gauge = membranski vakuummeter, kapacitivni membranski vakuummeter dielectric barrier discharge = razelektritev z dielektri~no zaporo, DBD diffusion = difuzija difuzija = diffusion dihtanje ^ tesnjenje dihtunga ^ tesnilka dinami~na jakost pu{~anja = dynamic leakage rate dioda = diode diode = dioda diode discharge = diodna razelektritev diodna razelektritev = diode discharge direct flow leak detector = detektor netesnosti pri direktnem vtoku dirt trap = past za ne~isto~e discharge = razelektritev discharge tube leak detector = razelektritveni detektor netesnosti distance = razmik, razdalja DLC ^ diamantu podoben ogljik dobit ^ izkoristek dodajanje plina = gas ballast določanje lastnosti ^ ugotavljanje zna~ilnosti določanje značilnosti ^ ugotavljanje zna~ilnosti dopustna netesnost = permissible leak rate dopustna temperatura okolice = admissible ambient temperature dopustni parni tlak vode = water vapor tolerance doravnavanje (uporov), trimanje = trimming dosing valve = dozirni ventil dozirni ventil = dosing valve, variable leak valve dozirni ventil z zaporo = variable leak valve with isolation valve drift = zmik, zdrs *dupleks postopek ^ dupleksni postopek dupleksni postopek, *dupleks postopek, duplex postopek = duplex process duplex postopek ^ dupleksni postopek duplex process = dupleksni postopek dvofotonska absorpcijska lasersko inducirana fluorescenca = two-photon absorption laser induced fluorescence, TALIF dynamic detection limit = meja dinami~nega pu{~anja dynamic leakage rate = dinami~na jakost pu{~anja EDS ^ energijskodisperzijska spektroskopija EDX ^ energijskodisperzijska spektroskopija EDXS ^ energijskodisperzijska spektroskopija EELS ^ spektroskopija energijske izgube elektronov *eksperiment ^ preizkus ekstremni visoki vakuum, *ekstremno visoki vakuum = extremely high vacuum *ekstremno visoki vakuum ^ ekstremni visoki vakuum ekvivalentni tlak du{ika = equivalent nitrogen pressure elastic collision = elastični trk elasti~ni trk = elastic collision elbow = koleno (priključna komponenta) electromagnetic valve = elektromagnetni ventil electromagnetically operated valve ^ electromagnetic valve electron beam = elektronski curek electron beam evaporation = naparevanje z elektronskim curkom electron energy loss spectroscopy = spektroskopija energijske izgube elektronov, EELS electron gun = elektronska puška, elektronski top electron microprobe = elektronska mikrosonda, EMP electron paramagnetic resonance = elektronska paramagnetna resonanca, EPR electron stimulated desorption = elektronsko pospešena desorpcija, ESD electropneumatically actuated valve ^ electropneumatically operated valve electropneumatically operated valve = elektropnevmatski ventil electro-spark deposition = mikroobločno navarjanje, ESD elektromagnetni ventil = electromagnetic valve, electromagnetically operated valve elektronska mikrosonda = electron microprobe, EMP elektronska paramagnetna resonanca = electron paramagnetic resonance, EPR elektronska puška, elektronski top = electron gun elektronski curek, elektronski snop, elektronski žarek = electron beam elektronski snop ^ elektronski curek elektronski top ^ elektronska puška elektronski žarek ^ elektronski curek elektronsko pospešena desorpcija = electron stimulated desorption, ESD elektropnevmatski ventil = electropneumatically operated valve, electropneumatically actuated valve elipsometrija = ellipsometry ellipsometry = elipsometrija EMP ^ elektronska mikrosonda enclosure ^ chamber energetic = energetski; energijski energetski = energetic; nanašajoč se na energetiko energijski = energetic; nanašajoč se na energijo energijskodisperzijska rentgenska spektroskopija ^ energijskodisperzijska spektroskopija 7 VAKUUMIST 38 (2018) 2 Vakuumski slovarček energijskodisperzijska spektroskopija, energijskodisperzijska rentgenska spektroskopija = energy dispersive X-ray spectroscopy, EDS, EDX, EDXS energy dispersive X-ray spectroscopy = energijskodisperzijska spektroskopija, energijskodisperzijska rentgenska spektroskopija, EDS, EDX, EDXS enoatomska plast, *monoatomska plast = monolayer (atomic), ML enojna plast, *enoslojna plast = single layer coating enomolekulska plast = monolayer (molecular), ML *enoslojna plast — enojna plast epitaksija z molekulskimi curki = molecular beam epitaxy, MBE EPR — elektronska paramagnetna resonanca equivalent nitrogen pressure = ekvivalentni tlak dušika ESD — elektronsko pospešena desorpcija; mikroobločno navarjanje etalon puščanja = calibration leak evaporation = naparevanje evaporation system = naparevalnik ex situ = zunaj mesta rabe, zunaj mesta vgradnje example = zgled exhaust port = izpustni priključek exhaust valve = izpustni ventil experiment — test external tracer gas drift = zunanja zakasnitev zaznavanja slednega plina extremely high vacuum = ekstremni visoki vakuum fazna premena — fazna sprememba fazna sprememba, fazna premena = phase change feedthrough = prevodnica, prevodnik FIB — fokusiran ionski curek field emission = poljska emisija field ion mass spectroscopy = poljska ionska masna spektroskopija, FIM film — plast film = plast film density = gostota plasti FIM — poljska ionska masna spektroskopija fizikalno nanašanje iz parne faze = physical vapor deposition, PVD flange = prirobnica flans;.! — prirobnica flash evaporation = bliskovno naparevanje fles naparevanje — bliskovno naparevanje floating potential = plavajoči potencial flow = pretok flow rate = velikost pretoka flowing afterglow = pretočna porazelektritev flowmeter = merilnik pretoka fluorescenčen = fluorescent; ki temelji na fluorescenci: razsvetljava, svetilka fluorescent = fluorescenčen; fluorescentni fluorescentni = fluorescent; ki fluorescira: snov, barva focused ion beam = fokusiran ionski curek, FIB fokusiran ionski curek = focused ion beam, FIB fore line — backing line fotoakustična spektroskopija = photoacoustic spectroscopy, PAS fotonsko pospešena desorpcija = photon stimulated desorption, PSD free path = prosta pot freeze-drying = liofilizacija, sušenje v zmrznjenem stanju freeze-drying system = liofilizacijski sistem gas = plin gas-absorbing pump = absorpcijska črpalka gas ballast = dodajanje plina gas ballast device = naprava za dodajanje plina gas friction gauge — spinning rotor gauge gas load = plinska obremenitev gas throughput = plinski pretok, pretok plina gas-tight - tight gas-transfer pump = pretočna črpalka gate valve = ploščni ventil na odmik, vratni ventil gauge = merilnik gauge pressure = manometrski tlak GDMS — razelektritvena masna spektroskopija GDOES — razelektritvena optična emisijska spektroskopija general gas constant = splošna plinska konstanta, plinska konstanta general gas equation = splošna plinska enačba geter = getter getranje, absorpcijsko črpanje = gettering getter = geter gettering = getranje, absorpcijsko črpanje gibljiva cev — gibljiva kovinska cev gibljiva kovinska cev, gibljiva cev, *meh = bellows glass-to-metal connection — glass-to-metal seal glass-to-metal seal = spoj kovina-steklo gleaming — plasma cleaning glimanje — plazemsko čiščenje glow discharge = tlivna razelektritev glow discharge cleaning — plasma cleaning glow discharge mass spectroscopy = razelektritvena masna spektroskopija, GDMS glow discharge optical emission spectroscopy = razelektritvena optična emisijska spektroskopija, GDOES gola trioda = nude gauge gostota plasti = film density *grelec — grelnik grelnik, *grelec = heater, boiler *grobi vakuum — nizki vakuum gruča — skupek halogen leak detector = halogenski detektor netesnosti 8 VAKUUMIST 38 (2018) 2 Vakuumski slovarček halogenski detektor netesnosti = halogen leak detector handle (with) = ravnati (s čim), delati heater = grelnik HEED ^ visokoenergijski elektronski uklon helijev detektor netesnosti = helium leak detector helium leak detector = helijev detektor netesnosti hermetical sealing = hermetično tesnjenje hermetična komora ^ hermetična posoda hermetična posoda, hermetična komora = tight chamber hermetično tesnjenje = hermetical sealing high energy electron diffraction = visokoenergijski elektronski uklon, HEED high-power impulse magnetron sputtering ^ high-power pulsed magnetron sputtering high-power pulsed magnetron sputtering = pulzno naprševanje pri visoki vršni moči, HiPIMS, HPPMS high-pressure = visokotlačni high resolution electron energy loss spectroscopy = visokoločljivostna spektroskopija energijskih izgub elektronov, HREELS high resolution transmission electron microscopy = presevna elektronska mikroskopija z visoko ločljivostjo, HRTEM high vacuum = visoki vakuum, HV high-vacuum (system) = visokovakuumski (sistem) HiPIMS ^ pulzno naprševanje pri visoki vršni moči hitra objemka = quick clamping ring hitrost nanašanja = deposition rate hitrost puščanja, stopnja puščanja, jakost puščanja = leakage rate hladna katoda = cold cathode hollow cathode = votla katoda hood test = preizkus z ogrinjanjem hose connector = cevni spojnik hot cathode ionisation gauge ^ Bayard-Alpert gauge HPPMS ^ pulzno naprševanje pri visoki vršni moči HREELS ^ visokoločljivostna spektroskopija energijskih izgub elektronov HRTEM ^ presevna elektronska mikroskopija z visoko ločljivostjo HV ^ visoki vakuum ICP ^ induktivno sklopljena plazma ideal gas = idealni plin idealni plin = ideal gas igelni ventil = needle valve IMMA ^ masni analizator z ionsko mikrosondo in situ = na mestu rabe, na mestu vgradnje inaudible ^ silent inductively coupled discharge = induktivno sklopljena plazma, ICP inductively coupled plasma ^ inductively coupled discharge induktivno sklopljena plazma = inductively coupled discharge, inductively coupled plasma, ICP inelastic collision = neelastični trk infrardeča spektroskopija = infrared spectroscopy infrared spectroscopy = infrardeča spektroskopija inlet line = vstopni vod, priključni vod inlet pressure = vstopni tlak inlet valve = vhodni ventil, vstopni ventil instrument drift = zmik odčitka instrumenta, lezenje odčitka instrumenta intake pressure ^ inlet pressure integral leakage rate ^ total leakage rate integralno puščanje ^ celotno puščanje interaction = medsebojno vplivanje, medsebojno delovanje *interakcija ^ medsebojno vplivanje interlayer = vmesna plast *inženiring površin ^ inženirstvo površin inženirstvo površin, *inženiring površin = surface engineering ion, j-on = ion ion = ion ion beam = ionski curek ion bombardment = ionsko obstreljevanje ion current detector = detektor ionskega toka ion getter pump = ionsko-getrska črpalka ion microprobe mass analyzer = masni analizator z ionsko mikrosondo, IMMA ion milling = ionsko jedkanje ion plating = ionsko prekrivanje ion scattering spectroscopy = spektroskopija sipanih ionov, ISS ion source = ionski izvir ion trap = ionska past ionisation potential = ionizacijski potencial ionizacijski merilnik s hladno katodo, Penningov merilnik = cold cathode ionisation gauge, Penning gauge ionizacijski merilnik z vročo katodo ^ Bayard-Alpertov merilnik ionizacijski potencial = ionisation potential ionska past = ion trap ionski curek, ionski žarek, ionski snop = ion beam ionski izvir, ionski izvor = ion source ionski izvor ^ ionski izvir ionski snop ^ ionski curek ionski žarek ^ ionski curek *ionsko bombardiranje ^ ionsko obstreljevanje ionsko-geterska črpalka ^ ionsko-getrska črpalka ionskogetrska črpalka ^ ionsko-getrska črpalka ionsko-getrska črpalka, ionsko getrska črpalka, ionskogetrska črpalka, ionsko-geterska črpalka = ion getter pump ionsko getrska črpalka ^ ionsko-getrska črpalka ionsko jedkanje = ion milling ionsko obstreljevanje, *ionsko bombardiranje = ion bombardment ionsko prekrivanje, platiranje, platiniranje = ion plating; platiniranje je drug (nevakuumski) postopek ISS ^ spektroskopija sipanih ionov 9 VAKUUMIST 38 (2018) 2 Vakuumski slovarček izhodni ventil, izstopni ventil = outlet valve izkoristek, izplen, dobit = yield izločevalnik kondenzata = condensate separator izločljivost vodnih par = water vapor capacity izplen ^ izkoristek izpostavitev nadtlaku ^ nadtlačna obremenitev izpustni čep za olje = oil drain tap izpustni priključek, izpušni priključek = exhaust port izpustni ventil, izpušni ventil = exhaust valve izpušni priključek ^ izpustni priključek izpušni ventil ^ izpustni ventil izstopna stran = outlet port izstopni ventil ^ izhodni ventil izvir (ionski, elektronski, naparevanja), vir, izvor = source izvor ^ izvir (ionski, elektronski, naparevanja) J jakost puščanja ^ hitrost puščanja jedrska magnetna resonanca = nuclear magnetic resonance, NMR jon ^ ion kapacitivni membranski vakuummeter ^ membranski vakuummeter kapacitivni merilnik = capacitance gauge kapacitivno sklopljena plazma = capacitively coupled discharge, capacitively coupled plasma, CCP kapilarna netesnost = capillary leak karakterizacija ^ ugotavljanje značilnosti karbonitriranje = carbonitriding katodna luminiscenca = cathodoluminescence, CL katodni lok = cathodic arc kavljasta crpalka = claw pump kemična sestava ^ kemijska sestava kemijska sestava, kemična sestava = chemical composition kemijsko nanašanje iz parne faze = chemical vapor deposition, CVD kermet, cermet = cermet KF flange = KF-prirobnica KF-flanša ^ KF-prirobnica KF-prirobnica, KF-flanša = KF flange kinetic pump = kineticna crpalka kineticna crpalka = kinetic pump Kinney pump = črpalka z zapiralno loputo klaster ^ skupek Knudsen flow = Knudsenov pretok Knudsenov pretok = Knudsen flow *koalescenca ^ zlitje koleno (priključna komponenta) = elbow kolutna objemka = clamping collar komora ^ posoda kompresijsko razmerje = compression ratio koncentracija = concentration končni tlak = ultimate pressure kondenzacija = condensation kondenzat = condensate kondenzirati (snov kondenzira) ^ kondenzirati se (snov se kondenzira) kondenzirati se (snov se kondenzira), kondenzirati (snov kondenzira) = condense kondenzor = condensor konfokalna optična mikroskopija = confocal optical microscopy, COM *kontaminacija ^ onesnaženje *korelacija ^ medsebojna odvisnost koronska razelektritev = corona discharge kosovni material ^ masivni material (kovina) kotel ^ posoda kotna pipa = angle tap kotni ventil = angle valve kovinsko tesnilo = metallic seal, metal seal kremenova tehtnica ^ tehtnica na kremenov kristal kriočrpalka = cryopump *kriterij ^ merilo (za neko vrednost) kritični predtlak = critical backing pressure krmilnik masnega pretoka = mass flow controller, MFC krogelni ventil = ball valve kvadrupolni masni spektrometer = quadrupole mass spectrometer, QMS kvarčna tehtnica ^ tehtnica na kremenov kristal kvarčna vaga ^ tehtnica na kremenov kristal laminar flow = laminarni pretok laminarni pretok = laminar flow Langmuir probe = Langmuirjeva sonda Langmuirjeva sonda = Langmuir probe laser scanning microscopy = laserska vrstična mikroskopija, LSM laserska vrstična mikroskopija = laser scanning microscopy, LSM leak = netesnost, netesno mesto, puščanje leak detector = detektor netesnosti, detektor puščanja leak isolation valve = netesnostni ločilni ventil leak test = preizkus netesnosti, preizkus na tesnost leakage = puščanje, uhajanje leakage rate = hitrost puščanja, stopnja puščanja, jakost puščanja leakage test ^ leak test leaktight = tesen, tesnost LEED ^ nizkoenergijski elektronski uklon lezenje ^ zmik lezenje odčitka instrumenta ^ zmik odčitka instrumenta lifetime = obstojnost, trajnost, uporabnost light microscopy ^ optical microscopy linear feedthrough = linearno gibljiva prevodnica linearno gibljiva prevodnica = linear feedthrough liofilizacija, sušenje v zmrznjenem stanju = freeze-drying liofilizacijski sistem = freeze-drying system liquid ring pump = črpalka z vodnim obročem LM ^ svetlobna mikroskopija 10 VAKUUMIST 38 (2018) 2 Vakuumski slovarček ločevalni sistem = separation system lotani spoj ^ spajkani spoj lovilnik (par) = baffle low energy electron diffraction = nizkoenergijski elektronski uklon, LEED low-pressure = nizkotlačni low vacuum = nizki vakuum LSM ^ laserska vrstična mikroskopija M magnetron = magnetron magnetron = magnetron magnetron sputtering = magnetronsko naprševanje magnetronsko naprševanje = magnetron sputtering mala prirobnica = small flange manometrski tlak = gauge pressure masivna snov ^ masivni material (kovina) masivni material (kovina), masivna snov, kosovni material = bulk material (metal) masking = pokritje, zastiranje, prikritje *maskiranje ^ pokritje masna spektroskopija sekundarnih ionov = secondary ion mass spectroscopy, SIMS masna spektroskopija sekundarnih nevtralnih delcev = secondary neutral mass spectroscopy, SNMS masni analizator z ionsko mikrosondo = ion microprobe mass analyzer, IMMA masni delež, utežni procent, wt.% = mass fraction masni spektrometer = mass spectrometer masni spektrometer na čas preleta, masni spektrometer z merjenjem časa preleta = time-of-flight mass spectrometer, TOF-MS masni spektrometer z merjenjem časa preleta ^ masni spektrometer na čas preleta masnospektroskopsko odkrivanje netesnosti = mass spectrometer leak detection, MSLD mass flow controller = krmilnik masnega pretoka, MFC mass fraction = masni delež mass spectrometer = masni spektrometer mass spectrometer leak detection = masnospektroskopsko odkrivanje netesnosti, MSLD matching network = uskladitveni člen MBE ^ epitaksija z molekulskimi curki medium energy ion scattering = sipanje srednjeenergijskih ionov, MEIS medium vacuum = srednji vakuum medsebojna odvisnost, soodvisnost, *korelacija = correlation medsebojno delovanje ^ medsebojno vplivanje medsebojno vplivanje, medsebojno delovanje, *interakcija = interaction *meh ^ gibljiva kovinska cev MEIS ^ sipanje srednjeenergijskih ionov meja dinamičnega puščanja = dynamic detection limit mejna občutljivost meritve puščanja = detection limit of leakage rate mejna plast = sheath membranska črpalka = diaphragm pump membranski vakuummeter, kapacitivni membranski vakuummeter = diaphragm vacuum gauge, capacitive diaphragm vacuum gauge merilec ^ merilnik merilnik, merilec = gauge; merilec je človek, ki meri merilnik adhezije ^ merilnik oprijemljivosti *merilnik na termično prevodnost ^ merilnik na toplotno prevodnost merilnik na toplotno prevodnost, Piranjev merilnik, Piranijev vakuummeter, *merilnik na termično prevodnost, Pirani vakuummeter = thermal conductivity gauge, Pirani gauge merilnik na vrtečo se kroglico ^ merilnik z lebdečo kroglico merilnik oprijemljivosti, merilnik adhezije = adhesion tester merilnik pretoka = flowmeter merilnik z lebdečo kroglico, merilnik na vrtečo se kroglico, viskoznostni vakuummeter = spinning rotor gauge, gas friction gauge merilo (za neko vrednost), *kriterij = criterium meritev tlaka = pressure measurement metal seal ^ metallic seal metallic seal = kovinsko tesnilo metuljasti ventil = butterfly valve MF ^ srednjefrekvenčni MFC ^ krmilnik masnega pretoka microprobe = mikrosonda microstructure = mikrostruktura mid-frequency = srednjefrekvenčni, MF *migracija ^ selitev migration = selitev mikroobločno navarjanje = electro-spark deposition, ESD mikroskopija na atomsko silo = atomic force microscopy, AFM mikrosonda = microprobe mikrostruktura = microstructure minimum detectable leakage rate = najmanjša zaznavna hitrost puščanja ML ^ enoatomska plast; enomolekulska plast množinski delež ^ molski delež močnoionizirana plazma, močno ionizirana plazma = strongly ionized plasma močno ionizirana plazma ^ močnoionizirana plazma molar fraction ^ amount-of-substance fraction molar mass = molska masa molecular = molekulski molecular beam epitaxy = epitaksija z molekulskimi curki, MBE molecular drag pump = molekularna črpalka molecular flow range = molekularno področje, področje molekularnega toka molecular leak = molekulska netesnost molekularna črpalka = molecular drag pump *molekularna masa ^ molska masa 11 VAKUUMIST 38 (2018) 2 Vakuumski slovarček *molekularni ^ molekulski molekularno področje, področje molekularnega toka = molecular flow range molekulska netesnost = molecular leak molekulski, *molekularni = molecular molska masa, *molekularna masa = molar mass molski delež, številski delež, množinski delež, *atomski delež, molski procent, atomski procent, at.% = amount-of-substance fraction, molar fraction molski procent ^ molski delež *monoatomska plast ^ enoatomska plast monolayer (atomic) = enoatomska plast, ML monolayer (molecular) = enomolekulska plast, ML mrtva prostornina ^ mrtvi volumen *mrtvi prostor ^ mrtvi volumen mrtvi volumen, mrtva prostornina, *mrtvi prostor = dead volume MSLD ^ masnospektroskopsko odkrivanje netesnosti multilayer structure = večplastna struktura na mestu rabe, na mestu vgradnje = in situ na mestu vgradnje ^ na mestu rabe NAA ^ nevtronska aktivacijska analiza nadtlačna obremenitev, izpostavitev nadtlaku = bombing nadtlačni izpustni ventil = over-pressure relief valve nadtlačnoobremenitveni preizkus = bombing test nadtlačno-vakuumski preizkus = pressurizing evacuation test, back pressurizing test nagnjenje ^ težnja najmanjša zaznavna hitrost puščanja = minimum detectable leakage rate namera ^ težnja nanašanje, depozicija, nanos = deposition; nananšanje je proces, nanos pa rezultat tega procesa nanašanje atomske plasti = atomic layer deposition, ALD nanesena (plast), nanešena = deposited (film) nanešena ^ nanesena (plast) nanocomposite coating = nanokompozitna prevleka nanokompozitna prevleka = nanocomposite coating nanolayer coating = nanoplastna prevleka nanoplastna prevleka = nanolayer coating nanos, depozit = deposit; rezultat nanašanja nanos ^ nanašanje; proces nanašanja nanostructure coating = nanostrukturna prevleka nanostrukturna prevleka = nanostructure coating napaka, *defekt = defect naparevalnik, naparjevalnik = evaporation system naparevanje = evaporation naparevanje s katodnim lokom = cathodic arc evaporation naparevanje z elektronskim curkom = electron beam evaporation naparjevalnik ^ naparevalnik napetost na podlago ^ prednapetost napraševalnik ^ naprševalnik napraševanje ^ naprševanje naprava za dodajanje plina = gas ballast device naprševalnik, napraševalnik = sputtering system naprševanje, napraševanje, sputranje = sputtering; napraševanje je nanašanje prahov navidezna netesnost, *virtualna netesnost = virtual leak needle valve = igelni ventil neelastični trk = inelastic collision nepovratni ventil = backflow prevention valve nepredušen ^ neprepusten (za zrak) neprepusten (za zrak), nepredušen, zrakotesen, neprodušen, nepropusten = tight, gas-tight neprodušen ^ neprepusten (za zrak) nepropusten ^ neprepusten (za zrak) nerazstavljiv spoj = non-detachable connection neslišen, brezslišen = silent, inaudible netesno mesto ^ netesnost netesnost, netesno mesto, puščanje = leak netesnost odprtine, puščanje skozi zaslonko = aperture leak netesnostni ločilni ventil = leak isolation valve neutron activation analysis = nevtronska aktivacijska analiza, NAA nevtronska aktivacijska analiza = neutron activation analysis, NAA nitracija ^ nitriranje nitriding = nitriranje *nitridiranje ^ nitriranje nitriranje, *nitridiranje, nitracija = nitriding; nitriranje je vnos dušika, nitracija pa vnos nitratne skupine (NO-) nitrocarburizing = nitrocementiranje *nitrocementacija ^ nitrocementiranje nitrocementiranje, *nitrocementacija = nitrocarburizing nivo hrupa = noise level nizki vakuum, *grobi vakuum = low vacuum nizkoenergijski elektronski uklon = low energy electron diffraction, LEED nizkotlačni, nizko tlačni, nizko-tlačni = low-pressure nizko-tlačni ^ nizkotlačni nizko tlačni ^ nizkotlačni NMR ^ jedrska magnetna resonanca noise level = nivo hrupa non-detachable connection = nerazstavljiv spoj normalized leakage rate = normalizirana hitrost puščanja normalizirana hitrost puščanja = normalized leakage rate nuclear magnetic resonance = jedrska magnetna resonanca, NMR nucleation = nukleacija nude gauge = gola trioda nukleacija = nucleation obdobje, stopnja = stadium, stage object = preizkušanec, preiskovanec objekt ^ preizkušanec 12 VAKUUMIST 38 (2018) 2 Vakuumski slovarček objemka, spojka = clamping ring obstojnost, trajnost, uporabnost, življenjska doba = lifetime obtočni ventil ^ obvodni ventil obtok ^ obvod obvod, obtok = by-pass obvodni ventil, obtočni ventil = by-pass valve odbojni visokoenergijski uklon elektronov = reflective high energy electron diffraction, RHEED odkrivanje, zaznavanje, detekcija = detection odporen na ^ odporen proti (koroziji, topilom) odporen proti (koroziji, topilom), odporen na = resistant against (corrosion, solvents) odprtina, zaslonka, *apertura = aperture odstotek, procent = percent odvijati se ^ potekati (proces, reakcija) odzivni čas ^ odzivni faktor odzivni faktor, odzivni čas = response factor, response time OES ^ optična emisijska spektroskopija oil backstreaming = povratni tok oljnih par oil drain tap = izpustni čep za olje oil filling = polnjenje z oljem okoliščine ^ razmere oksidacija = oxidation OM ^ svetlobna mikroskopija onesnaženje, onesnažitvena plast, plast nečistoč, *kontaminacija = contamination onesnažitvena plast ^ onesnaženje opazovalno okno = viewport operating conditions = delovne razmere opihovalna sonda = spray gun oprijemljivost, adhezija = adhesion optical emission spectroscopy = optična emisijska spektroskopija, OEs optical microscopy = svetlobna mikroskopija, optična mikroskopija, OM, LM optična emisijska spektroskopija = optical emission spectroscopy, OES optična mikroskopija ^ svetlobna mikroskopija *orientacija ^ usmerjenost orientation = usmerjenost oring ^ O-tesnilo O-ring ^ tesnilka, O-tesnilo O-ring = O-tesnilo O-ring ^ seal O-ring groove = utor (za O-tesnilo) O-tesnilo, oring, O-ring = O-ring outlet port = izstopna stran outlet valve = izhodni ventil, izstopni ventil overcurrent circuit breaker = pretokovno prekinjalo over-pressure relief valve = nadtlačni izpustni ventil oxidation = oksidacija ozadje slednega plina = tracer gas background packing = zlog, zlaganje PACVD ^ plazemsko podprto kemijsko nanašanje iz parne faze pakiranje ^ zlog para = vapour parcialni tlak ^ delni tlak parna sterilizacija = steam sterilisation parni tlak = vapour pressure partial pressure = delni tlak, parcialni tlak PAS ^ fotoakustična spektroskopija pascal ^ paskal (enota, Pa) Pascal ^ paskal (enota, Pa) Pascal = paskal (enota, Pa) paskal (enota, Pa), pascal, Pascal = Pascal past = trap past za kondenzat = condensate trap past za nečistoče = dirt trap peak = vrh PECVD ^ plazemsko podprto kemijsko nanašanje iz parne faze Penning gauge ^ cold cathode ionisation gauge Penningov merilnik ^ ionizacijski merilnik s hladno katodo PEO ^ plazemska elektrolitska oksidacija percent = odstotek peristaltic pump = peristaltična črpalka peristaltična črpalka = peristaltic pump permeability = permeabilnost permeabilnost = permeability permeable = prepusten permeacija = permeation permeacijska netesnost = permeation leak permeation = permeacija permeation leak = permeacijska netesnost permissible leak rate = dopustna netesnost phase change = fazna sprememba, fazna premena photoacoustic spectroscopy = fotoakustična spektroskopija, PAS photon stimulated desorption = fotonsko pospešena desorpcija, PSD physical vapor deposition = fizikalno nanašanje iz parne faze, PVD piezo-resistive gauge = piezouporovni merilnik tlaka piezouporovni merilnik tlaka = piezo-resistive gauge pipa = tap Pirani gauge ^ thermal conductivity gauge Pirani vakuummeter ^ merilnik na toplotno prevodnost Piranijev vakuummeter ^ merilnik na toplotno prevodnost Pirani-Penning gauge = Pirani-Penningov merilnik, Pirani-Penningov vakuummeter Pirani-Penning vakuummeter ^ Pirani-Penningov merilnik Pirani-Penningov merilnik, Pirani-Penningov vakuummeter, Pirani-Penning vakuummeter = Pirani-Penning gauge Pirani-Penningov vakuummeter ^ Pirani-Penningov merilnik 13 VAKUUMIST 38 (2018) 2 Vakuumski slovarček Piranjev merilnik ^ merilnik na toplotno prevodnost piston pump = batna črpalka plasma [adjective] = plazemski plasma [noun] = plazma plasma activation = plazemska aktivacija plasma assisted chemical vapor deposition = plazemsko podprto kemijsko nanašanje iz parne faze, PACVD, pecvd plasma cleaning = plazemsko čiščenje, čiščenje s plazmo, plazemsko jedkanje plasma electrolitic oxidation = plazemska elektrolitska oksidacija, PEO plasma enhanced chemical vapor deposition ^ plasma assisted chemical vapor deposition plasma polimerisation = plazemska polimerizacija plasma spray deposition = plazemski pršilni postopki plasma surface engineering = plazemsko inženirstvo površin plast, film, sloj = film plast nečistoč ^ onesnaženje platiniranje ^ ionsko prekrivanje platiranje ^ ionsko prekrivanje plavajoči potencial = floating potential plazemska aktivacija = plasma activation plazemska elektrolitska oksidacija = plasma electrolitic oxidation, PEO plazemska polimerizacija = plasma polimerisation plazemski, plazmski = plasma [adjective] *plazemski inženiring površin ^ plazemsko inženirstvo površin plazemski pršilni postopki, *plazemski sprej postopki = plasma spray deposition *plazemski sprej postopki ^ plazemski pršilni postopki plazemsko čiščenje, čiščenje s plazmo, plazemsko jedkanje, glimanje = plasma cleaning, glow discharge cleaning, gleaming plazemsko inženirstvo površin, *plazemski inženiring površin = plasma surface engineering plazemsko jedkanje ^ plazemsko čiščenje plazemsko podprto kemijsko nanašanje iz parne faze = plasma assisted chemical vapor deposition, plasma enhanced chemical vapor deposition, PACVD, PECVD plazma = plasma [noun] plazmski ^ plazemski PLD ^ pulzno lasersko nanašanje plin = gas plinska konstanta ^ splošna plinska konstanta plinska obremenitev = gas load plinski pretok, pretok plina = gas throughput ploščinska gostota (g/cm2) = surface density ploščni ventil na odmik, vratni ventil = gate valve podlaga, *substrat = substrate podporna črpalka ^ vmesna črpalka področje molekularnega toka ^ molekularno področje pogoji ^ razmere pokritje, zastiranje, prikritje, *maskiranje = masking poljska emisija = field emission poljska ionska masna spektroskopija = field ion mass spectroscopy, FIM polnjenje z oljem = oil filling pomožna črpalka ^ vmesna črpalka porazelektritev = afterglow, post glow posoda, komora, recipient, *stekleni zvon, *poveznik, kotel = chamber, enclosure, recipient post glow ^ afterglow potekati (proces, reakcija), teči, razvijati se, odvijati se = process *poveznik ^ posoda povratni tok oljnih par = oil backstreaming površina = surface predčrpalka, predpumpa = backing pump predčrpalni volumen = backing space prednapetost, napetost na podlago, bias = bias predpumpa ^ predčrpalka predtlak = backing pressure predvakuumski priključek = backing line port predvakuumski vod = backing line, fore line predvakuumski volumen = backing volume preiskovanec ^ preizkušanec preizkovanec ^ preizkušanec preizkus, preskus, *eksperiment, test = test, experiment preizkus na tesnost ^ preizkus netesnosti preizkus netesnosti, preizkus na tesnost = leak test, leakage test preizkus netesnosti z radioizotopi = radionuclide leakage test preizkus s spremembo tlaka = pressure change test preizkus z mehurčki = bubble test preizkus z ogrinjanjem = hood test preizkusna tesnitev ^ preizkusno tesnjenje preizkusni plin/tekočina ^ sledilni plin/tekočina preizkusno tesnjenje, preizkusna tesnitev = test seal preizkušanec, preiskovanec, objekt, preizkovanec = object, test object preizkušanje na tesnost = testing for leak tightness prekritje ^ prevleka preostala atmosfera = residual atmosphere preostali plin (zrak) = residual gas (air) prepihati ^ prezračiti prepusten, produšen, propusten = permeable presevna elektronska mikroskopija, *transmisijska elektronska mikroskopija = transmission electron microscopy, TEM presevna elektronska mikroskopija z visoko ločljivostjo, *transmisijska elektronska mikroskopija z visoko ločljivostjo = high resolution transmission electron microscopy, HRTEM preskus ^ preizkus presojna plast ^ prosojna plast pressure = tlak pressure change test = preizkus s spremembo tlaka pressure dye test = tlačni barvni preizkus pressure measurement = meritev tlaka pressure range = tlačno območje, tlačno področje 14 VAKUUMIST 38 (2018) 2 Vakuumski slovarček pressure test = tlačni preizkus pressurizing evacuation test = nadtlačno-vakuumski preizkus pretočna črpalka = gas-transfer pump pretočna porazelektritev = flowing afterglow pretok = flow, troughput pretok plina ^ plinski pretok pretokovno prekinjalo = overcurrent circuit breaker prevleka, prekritje = coating prevod ^ prevodnica prevodnica, prevodnik, prevod, provod, provodnik = feedthrough prevodnik ^ prevodnica prevodnost = conductance prevodnostna netesnost = conductance leak prezračiti, prepihati = vent priključek z malo prirobnico = small flange connection priključni vod ^ vstopni vod prikritje ^ pokritje primer = case; gre za posebno situacijo, glej zgled *primer ^ zgled prirobnica, flanša = flange prirobnica z vijaki = collar flange prirobnica za spone = clamping flange pritisk ^ tlak procent ^ odstotek process = potekati (proces, reakcija), teči, razvijati se produsen ^ prepusten propusten ^ prepusten prosojna plast, *transparentna plast, presojna plast = transparent film prosta pot = free path prostorninski delež, volumenski delež, volumski delež, volumski procent, vol.% = volume fraction protitočni detektor netesnosti = counterflow leak detector protitočni ventil = anti-suckback valve provod ^ prevodnica provodnik ^ prevodnica PSD ^ fotonsko pospešena desorpcija pulsed laser deposition = pulzno lasersko nanašanje, PLD pulzno lasersko nanašanje = pulsed laser deposition, PLD pulzno naprševanje pri visoki vršni moči = high-power pulsed magnetron sputtering, high-power impulse magnetron sputtering, HiPIMS, HPPMS pump = črpalka pumpa ^ črpalka pump-down time = črpalni čas, čas črpanja pumping = črpanje pumping speed = črpalna hitrost pumping system = črpalni sistem purity = čistota (kovine), čistost puščanje, uhajanje = leakage puščanje ^ netesnost puščanje skozi zaslonko ^ netesnost odprtine PVD ^ fizikalno nanašanje iz parne faze PVD coating = PVD-prevleka PVD-prevleka = PVD coating pV-pretok = pV-throughput pV-throughput = pV-pretok Q QMS ^ kvadrupolni masni spektrometer quadrupole mass spectrometer = kvadrupolni masni spektrometer, QMS quartz balance = tehtnica na kremenov kristal quick clamping ring = hitra objemka radial shaft seal = radialno testnilo, radialno gredno tesnilo radialno gredno tesnilo ^ radialno testnilo radialno testnilo, radialno gredno tesnilo, semering, simmerring = radial shaft seal radio frequency = radiofrekvenčni, RF radiofrekvenčni = radio frequency, RF radionuclide leakage test = preizkus netesnosti z radioizotopi Raman spectroscopy = ramanska spektroskopija Ramanova spektroskopija ^ ramanska spektroskopija ramanska spektroskopija, Ramanova spektroskopija = Raman spectroscopy; čeprav izraz izvira iz priimka, je uveljavljen pridevnik "ramanska" ravnati (s čim), delati, rokovati = handle (with) razdalja ^ razmik razelektritev = discharge razelektritev z dielektrično zaporo = dielectric barrier discharge, DBD razelektritvena masna spektroskopija = glow discharge mass spectroscopy, GDMS razelektritvena optična emisijska spektroskopija = glow discharge optical emission spectroscopy, GDOES razelektritveni detektor netesnosti = discharge tube leak detector razmak ^ razmik razmere, okoliščine, stanje, pogoji = conditions razmik, razdalja, razmak = distance razprševanje = sputtering razpršitveni koeficient = sputtering coefficient razstavljiv spoj = detachable connection razvijati se ^ potekati (proces, reakcija) RBS ^ Rutherfordovo povratno sipanje reactive deposition = reaktivno nanašanje reactive gas = reaktivni plin reaktivni plin = reactive gas reaktivno nanašanje = reactive deposition recipient ^ posoda, vakuumska posoda recipient ^ chamber, vacuum chamber reflective high energy electron diffraction = odbojni visokoenergijski uklon elektronov, RHEED *relaksacija ^ sproščanje relaxation = sproščanje, sprostitev 15 VAKUUMIST 38 (2018) 2 Vakuumski slovarček rentgenska difrakcija ^ rentgenski uklon rentgenska fluorescenca = X-ray fluorescence, XRF rentgenska fotoelektronska spektroskopija = X-ray photoelectron spectroscopy, XPS rentgenska mikrosonda = X-ray microprobe rentgenski uklon, rentgenska difrakcija, uklon rentgenskih žarkov = X-ray diffraction, XRD residual atmosphere = preostala atmosfera residual gas (air) = preostali plin (zrak) residual pressure = tlak preostalih plinov *residualni tlak ^ tlak preostalih plinov resistance = upornost (električna) resistance to flow = upornost za pretok resistant against (corrosion, solvents) = odporen proti (koroziji, topilom) resistivity = specifična upornost response factor = odzivni faktor, odzivni čas response time ^ response factor retaining ring = zadrževalni obroč rezidualni tlak ^ tlak preostalih plinov reziduelni tlak ^ tlak preostalih plinov RF ^ radiofrekvenčni RHEED ^ odbojni visokoenergijski uklon elektronov rokovati ^ ravnati (s čim) Roots črpalka ^ Rootsova črpalka Roots pump = Rootsova črpalka Rootsova črpalka, Roots črpalka = Roots pump rotacijska črpalka = rotary vane pump rotacijska prevodnica = rotary feedtrough rotary feedtrough = rotacijska prevodnica rotary vane pump = rotacijska črpalka roughing pump = črpalka za grobo črpanje Rutherford backscattering = Rutherfordovo povratno sipanje, RBS Rutherfordovo povratno sipanje = Rutherford backscattering, RBs safety valve = varnostni ventil SAM ^ vrstična spektroskopija Augerjevih elektronov sampling probe = sonda za vonjanje scanning Auger microprobe = vrstična spektroskopija Augerjevih elektronov, vrstična Augerjeva mikrosonda, SAM scanning electron microscopy = vrstična elektronska mikroskopija, SEM scanning transmission electron microscopy = vrstična presevna elektronska mikroskopija, STEM scanning tunneling microscopy = vrstična tunelska mikroskopija, STM scattering = sipanje screw pump = vijačna črpalka scroll pump = spiralna rotacijska črpalka, spiralna črpalka seal = tesnilka, tesnilo sealing ^ tightness secondary electron = sekundarni elektron secondary ion mass spectroscopy = masna spektroskopija sekundarnih ionov, SIMS secondary neutral mass spectroscopy = masna spektroskopija sekundarnih nevtralnih delcev, SNMS sekundarni elektron = secondary electron selitev, *migracija = migration SEM ^ vrstična elektronska mikroskopija semering ^ radialno testnilo separation system = ločevalni sistem sheath = mejna plast silent = neslišen silicon grease = silikonska mast silikonska mast = silicon grease simmerring ^ radialno testnilo SIMS ^ masna spektroskopija sekundarnih ionov single layer coating = enojna plast sipanje = scattering sipanje srednjeenergijskih ionov = medium energy ion scattering, MEIS skupek, gruča, zrastek, klaster, agregat = agregate, cluster slabljenje = throttling sledilni plin/tekočina, preizkusni plin/tekočina, *sledni plin/tekočina = tracer gas/fluid *sledni plin/tekočina ^ sledilni plin/tekočina slepa prirobnica = blank flange slej ^ plast small flange = mala prirobnica small flange connection = priključek z malo prirobnico sniffer probe ^ sampling probe SNMS ^ masna spektroskopija sekundarnih nevtralnih delcev *sonda za vohanje ^ sonda za vonjanje sonda za vonjanje, *sonda za vohanje = sampling probe, sniffer probe soodvisnost ^ medsebojna odvisnost source = izvir (ionski, elektronski, naparevanja), vir spajkani spoj, lotani spoj = brazed connection spark coil leak tester = Teslov preizkuševalnik specifična upornost = resistivity spectrometry = spektrometrija spectroscopy = spektroskopija spektrometrija = spectrometry; meritev spektra sevanja spektroskopija = spectroscopy; študij interakcije sevanja s snovjo spektroskopija Augerjevih elektronov, *Augerjeva elektronska spektroskopija = Auger electron spectroscopy, AES spektroskopija energijske izgube elektronov = electron energy loss spectroscopy, EELS spektroskopija izstopnega dela = work function spectroscopy spektroskopija izzvenenja optičnega resonatorja = cavity ring-down spectroscopy, CRDS spektroskopija s termično desorpcijo = thermal desorption spectroscopy, TDS 16 VAKUUMIST 38 (2018) 2 Vakuumski slovarček spektroskopija sipanih ionov = ion scattering spectroscopy, ISS spinning rotor gauge = merilnik z lebdečo kroglico, merilnik na vrtečo se kroglico, viskoznostni vakuummeter spiralna črpalka — spiralna rotacijska črpalka spiralna rotacijska črpalka, spiralna črpalka = scroll pump splošna plinska enačba = general gas equation splošna plinska konstanta, plinska konstanta = general gas constant spoj keramika-kovina = ceramic-to-metal seal, ceramic-to-metal connection spoj kovina-steklo = glass-to-metal seal, glass-to-metal connection spojinska plast = compound layer spojka — objemka spray gun = opihovalna sonda sprostitev — sproščanje sproščanje, sprostitev, *relaksacija = relaxation sputranje — naprševanje sputtering = naprševanje; razprševanje sputtering coefficient = razpršitveni koeficient sputtering system = naprševalnik srednjefrekvenčni = mid-frequency, MF srednji vakuum = medium vacuum stadium = obdobje, stopnja stage — stadium standard leak = standardni etalon netesnosti standardni etalon netesnosti = standard leak, calibrated leak stanje — razmere steam sterilisation = parna sterilizacija *stekleni zvon — posoda STEM — vrstična presevna elektronska mikroskopija STM — vrstična tunelska mikroskopija stopcock = zaporni ventil, zapora stopnja — obdobje stopnja puščanja — hitrost puščanja stresalnik, vibrator = vibrator strongly ionized plasma = močnoionizirana plazma sublimacija = sublimation sublimation = sublimacija *substrat — podlaga substrate = podlaga superconductivity = superprevodnost superprevodnost, supraprevodnost = superconductivity supraprevodnost — superprevodnost surface = površina surface density = ploščinska gostota (g/cm2) surface engineering = inženirstvo površin surface topography = topografija površine sušenje v zmrznjenem stanju — liofilizacija svetlobna mikroskopija, optična mikroskopija = optical microscopy, light microscopy, OM, LM šibkoionizirana plazma, šibko ionizirana plazma = weakly ionized plasma šibko ionizirana plazma — šibkoionizirana plazma številski delež — molski delež TALIF — dvofotonska absorpcijska lasersko inducirana fluorescenca tanek film — tanka plast tanka plast, tenka plast, tanek film = thin film tap = pipa TCR — temperaturni koeficient upornosti TDS — spektroskopija s termično desorpcijo technical = tehnični; tehniški teči — potekati (proces, reakcija) tehnični = technical; ki je povezan s spretnostjo, dejavnostjo, izdelkom, načinom dela tehniški = technical; ki je povezan s tehniko kot vedo tehtnica na kremenov kristal, kremenova tehtnica, kvarčna tehtnica, kvarčna vaga = quartz balance tekstura = texture TEM — presevna elektronska mikroskopija temni prostor = dark space temperature coefficient of resistivity = temperaturni koeficient upornosti, TCR temperaturna stabilizacija — toplotna stabilizacija temperaturni koeficient upornosti = temperature coefficient of resistivity, TCR tendency = težnja, namera, nagnjenje, usmerjenost tenka plast — tanka plast termodinamična temperatura = thermodynamic temperature tesen = leaktight Teslov preizkuševalnik = spark coil leak tester tesnenje — tesnjenje tesnilka, tesnilo, dihtunga, O-ring = seal, O-ring tesnilo — tesnilka tesnitev — tesnjenje tesnjenje, tesnitev, tesnenje, dihtanje = tightness, sealing test — preizkus test = preizkus, preskus test object — object test seal = preizkusno tesnjenje, preizkusna tesnitev testing for leak tightness = preizkušanje na tesnost texture = tekstura težnja, namera, nagnjenje, usmerjenost = tendency thermal conductivity gauge = merilnik na toplotno prevodnost, Piranjev merilnik, Piranijev vakuummeter thermal desorption spectroscopy = spektroskopija s termično desorpcijo, TDS thermal stabilisation = toplotna stabilizacija thermodynamic temperature = termodinamična temperatura thin film = tanka plast three-way tap = tripotna pipa throttling = slabljenje 17 VAKUUMIST 38 (2018) 2 Vakuumski slovarček tight = neprepusten (za zrak), nepredušen tight chamber = hermetična posoda, hermetična komora tightness = tesnjenje, tesnitev time-of-flight = čas preleta, TOF time-of-flight mass spectrometer = masni spektrometer na cas preleta, masni spektrometer z merjenjem časa preleta, TOF-MS tlačni barvni preizkus = pressure dye test tlačni preizkus = pressure test tlačno območje, tlačno področje = pressure range tlačno področje ^ tlačno območje tlak, pritisk = pressure tlak preostalih plinov, *residualni tlak, rezidualni tlak, reziduelni tlak = residual pressure *tleča razelektritev ^ tlivna razelektritev tlivna razelektritev, *tleča razelektritev = glow discharge TMP ^ turbomolekularna črpalka TOF ^ čas preleta TOF-MS ^ masni spektrometer z merjenjem časa preleta toplotna stabilizacija, temperaturna stabilizacija = thermal stabilisation topografija površine = surface topography total leakage rate = celotno puščanje, integralno puščanje total pressure = celotni tlak, totalni tlak totalni tlak ^ celotni tlak tracer gas background = ozadje slednega plina tracer gas/fluid = sledilni plin/tekočina, preizkusni plin/tekočina trajnost ^ obstojnost *transmisijska elektronska mikroskopija ^ presevna elektronska mikroskopija *transmisijska elektronska mikroskopija z visoko ločljivostjo ^ presevna elektronska mikroskopija z visoko ločljivostjo transmission electron microscopy = presevna elektronska mikroskopija, TEM transparent film = prosojna plast *transparentna plast ^ prosojna plast trap = past trapezoid seal = trapezoidni utor trapezoidni utor = trapezoid seal trapping = ujetje trimanje ^ doravnavanje (uporov) trimming = doravnavanje (uporov) trioda = triode triode = trioda tripotna pipa = three-way tap troughput ^ flow turbo črpalka ^ turbomolekularna črpalka turbomolecular pump = turbomolekularna črpalka, TMP turbomolekularna črpalka, turbo črpalka = turbomolecular pump, TMP turbulent flow = turbulentni pretok turbulentni pretok = turbulent flow two-photon absorption laser induced fluorescence = dvofotonska absorpcijska lasersko inducirana fluorescenca, TALiF ugotavljanje značilnosti, določanje značilnosti, določanje lastnosti, karakterizacija = characterisation uhajanje ^ puščanje UHV ^ ultravisoki vakuum ujetje = trapping uklon rentgenskih žarkov ^ rentgenski uklon ultimate pressure = končni tlak ultrahigh vacuum = ultravisoki vakuum, UHV ultrasonic leak tester = ultrazvočni detektor netesnosti ultravijolična fotoelektronska spektroskopija = UV photoelectron spectroscopy, uPs ultravisoki vakuum, ultra visoki vakuum, ultra-visoki vakuum = ultrahigh vacuum, UHV ultra-visoki vakuum ^ ultravisoki vakuum ultra visoki vakuum ^ ultravisoki vakuum ultrazvočni detektor netesnosti = ultrasonic leak tester umerjanje = calibration uporabnost ^ obstojnost upornost (električna) = resistance upornost za pretok = resistance to flow UPS ^ ultravijolična fotoelektronska spektroskopija uskladitveni člen = matching network usmerjenost, *orientacija = orientation usmerjenost ^ težnja utežni procent ^ masni delež utor (za O-tesnilo) = O-ring groove UV photoelectron spectroscopy = ultravijolična fotoelektronska spektroskopija, UPS vacuum = vakuum vacuum chamber = vakuumska posoda, vakuumska komora, recipient vacuum destilation = vakuumska destilacija vacuum drying = vakuumsko sušenje vacuum enclosure ^ vacuum chamber vacuum filtration = vakuumska filtracija vacuum gauge = vakuumski merilnik, vakuummeter vacuum system = vakuumski sistem vakum ^ vakuum vakummeter ^ vakuumski merilnik vakuum, vakum = vacuum vakuumeter ^ vakuumski merilnik vakuummeter ^ vakuumski merilnik vakuumska destilacija = vacuum destilation vakuumska filtracija = vacuum filtration vakuumska komora ^ vakuumska posoda vakuumska posoda, vakuumska komora, recipient, *vakuumski zvon, *vakuumski poveznik, vakuumski kotel = vacuum chamber, vacuum enclosure, recipient vakuumski kotel ^ vakuumska posoda vakuumski merilec ^ vakuumski merilnik 18 VAKUUMIST 38 (2018) 2 Vakuumski slovarček vakuumski merilnik, vakuummeter, vakuumski merilec, vakummeter, vakuumeter = vacuum gauge; merilec je človek, ki meri *vakuumski poveznik ^ vakuumska posoda vakuumski sistem = vacuum system *vakuumski zvon ^ vakuumska posoda vakuumsko sušenje = vacuum drying valovnodisperzijska rentgenska spektroskopija ^ valovnodisperzijska spektroskopija valovnodisperzijska spektroskopija, valovnodisperzijska rentgenska spektroskopija = wavelength dispersive X-ray spectroscopy, WDS valve = ventil vapour= para vapour pressure = parni tlak variable leak valve ^ dosing valve variable leak valve with isolation valve = dozirni ventil z zaporo varjeni spoj = welded connection varnostni ventil = safety valve večplastna struktura, večslojna struktrura = multilayer structure večslojna struktrura ^ večplastna struktura velikost pretoka = flow rate vent = prezračiti, prepihati vent valve ^ venting valve ventil = valve venting = vpust zraka venting valve = vpustni ventil vhodni ventil, vstopni ventil = inlet valve vibrator ^ stresalnik vibrator = stresalnik viewport = opazovalno okno vijačna črpalka = screw pump vir ^ izvir (ionski, elektronski, naparevanja) virtual leak = navidezna netesnost *virtualna netesnost ^ navidezna netesnost viscosity coeficient = viskoznostni koeficient viscosity leak = viskoznostna netesnost viskoznostna netesnost = viscosity leak viskoznostni koeficient = viscosity coeficient viskoznostni vakuummeter ^ merilnik z lebdečo kroglico visoki vakuum = high vacuum, HV visokoenergijski elektronski uklon = high energy electron diffraction, HEED visokoločljivostna spektroskopija energijskih izgub elektronov = high resolution electron energy loss spectroscopy, HREELS visokotlačni, visoko tlačni, visoko-tlačni = high-pressure visoko-tlačni ^ visokotlačni visoko tlačni ^ visokotlačni visokovakuumski (sistem), visoko vakuumski, visoko-vakuumski = high-vacuum (system) visoko-vakuumski ^ visokovakuumski (sistem) visoko vakuumski ^ visokovakuumski (sistem) vmesna črpalka, pomožna črpalka, podporna črpalka = booster pump vmesna plast = interlayer vol.% ^ prostorninski delež volume flow rate = volumenski pretok volume fraction = prostorninski delež, volumenski delež volumenski delež ^ prostorninski delež volumenski pretok, volumski pretok = volume flow rate volumski delež ^ prostorninski delež volumski pretok ^ volumenski pretok volumski procent ^ prostorninski delež votla katoda = hollow cathode vpojnost, *absorptivnost = absorptivity vpust zraka = venting vpustni ventil = venting valve, vent valve vratni ventil ^ ploščni ventil na odmik vrh = peak vrstična Augerjeva mikrosonda ^ vrstična spektroskopija Augerjevih elektronov vrstična elektronska mikroskopija = scanning electron microscopy, SEM vrstična presevna elektronska mikroskopija, *vrstična transmisijska elektronska mikroskopija = scanning transmission electron microscopy, STEM vrstična spektroskopija Augerjevih elektronov, vrstična Augerjeva mikrosonda = scanning Auger microprobe, SAM *vrstična transmisijska elektronska mikroskopija ^ vrstična presevna elektronska mikroskopija vrstična tunelska mikroskopija = scanning tunneling microscopy, STM vstopni tlak = inlet pressure, intake pressure vstopni ventil ^ vhodni ventil vstopni vod, priključni vod = inlet line W water vapor capacity = izločljivost vodnih par water vapor tolerance = dopustni parni tlak vode wavelength dispersive X-ray spectroscopy = valovnodisperzijska spektroskopija, valovnodisperzijska rentgenska spektroskopija, WDS WDS ^ valovnodisperzijska spektroskopija weakly ionized plasma = šibkoionizirana plazma welded connection = varjeni spoj work function spectroscopy = spektroskopija izstopnega dela working gas = delovni plin wt.% ^ masni delež XPS ^ rentgenska fotoelektronska spektroskopija X-ray diffraction = rentgenski uklon, rentgenska difrakcija, uklon rentgenskih žarkov, XRD X-ray fluorescence = rentgenska fluorescenca, XRF X-ray microprobe = rentgenska mikrosonda X-ray photoelectron spectroscopy = rentgenska fotoelektronska spektroskopija, XPS 19 VAKUUMIST 38 (2018) 2 Vakuumski slovarček XRD ^ rentgenski uklon XRF ^ rentgenska fluorescenca yield = izkoristek začetni tlak = base pressure zadrževalni obroč = retaining ring zapora ^ zaporni ventil zaporni ventil, zapora = stopcock zaslonka ^ odprtina zastiranje ^ pokritje zaznavanje ^ odkrivanje zaznaven = detectable zdrs ^ zmik zgled, *primer = example; gre za posnemanja vredno situacijo, glej primer zlaganje ^ zlog zlitje, zlivanje, *koalescenca = coalescence zlivanje ^ zlitje zlog, zlaganje, pakiranje = packing zmik, lezenje, zdrs = drift zmik odčitka instrumenta, lezenje odčitka instrumenta = instrument drift zrakotesen ^ neprepusten (za zrak) zrastek ^ skupek zunaj mesta rabe, zunaj mesta vgradnje = ex situ zunaj mesta vgradnje ^ zunaj mesta rabe zunanja zakasnitev zaznavanja slednega plina = external tracer gas drift življenjska doba ^ obstojnost 20 VAKUUMIST 38 (2018) 2