13
junij 1987
GLASILO DRUŠTVA ZA VAKUUMSKO TEHNIKO SLOVENIJE
VSEBINA
-	VisokovakuumskI sistem VVS 500
-	ZašCJtno naparevanje na napravi BAH-2000 v Saturnusu
-	In metnorlam: prof.dr. Evgen Kansky
-	Razvoj IR senzorje za termovlzllo s HgCdTe kristali na lEVT
-	Poročilo s 55. šefe I.O. lUVSTA
-	Leybold Heraeus - danes
-	Nadomestilo ze črpalko 2 rotirajočimi loputami
-	Kratke novice in obvestita
VISOKOVAKUUMSKI SISTEM VVS 500
Na lastnosti naperjene tanke plasti izlivata v veliki meri poOroSje vakuuma in sestave residuaine atmosfere med procesom. Za Izredno čiste nanose je potrebno izčrpati sistem ne področje 10"' rnöar, s čim manjäim deležem ogljikovodikov in oijnil-i par. Zahtevam po čistem vakuumu Ifi čim krejšem času črpanja ugodimo s primerno izbiro črpalk, ventilov In vmesnih povezav. Na domačem tržišču
vakuumskega sistema, ki bi ustrezal zahtevam naše tehnologije, ni moč kupiti, zato smo se odločili za lasten razvoj. Skrbno smo pretehtali, katere komponente moramo uvoziti In katere smo sposobni narediti sami. Nastal je visokovekuumskl črpalnl sistem z enoto za krmiljenje črpalk, ventilov, merilnikov in izvorov za naparevanje, ki smo ga imenovali VVS 500. Sistem je zaradi svoje prllago-
dljivosti namenjen laboratorijskim raziskavam in pilotni proizvodnji na področju nanašanja tankih plasti z napare-vanjem In katodnim napraševanjem.
OPIS NAPRAVE
Celoten sistem [slika I) je sestavljen iz:
-	komore
-	visokovakLumsklh prevodov
-	rotacijske črpalke
-	sorpcijske pasti z grelcem za regeneracijo
-	krio črpalke
-	dvižnega mehanizma
-	krmilnika naparevanja
-	krmilnega dela črpalnega sistema
-	šlirikontaktni tokovni prevodi (5A)
-	elektromagnetna zaslonka izvora
-	kvar^ni kristal mikrotehtnice, ki leli direktno na vrtlji-vi'iii tiosilru v?utri'v
-	kvar£na grelca za ogrevanje vzorcev na izbrano temperaturo
Dvižni mehanizem za dvigovanje in spuščanje zvona poganja elektromotor. Samo z a po most navoj ne ga vre te na obdrži ob izpadu električne napetosti zvon v trenutnem položaju. Za lažje čiščenje se dvignjeni zvon lahko zavrti za 90 stopinj.
Predvakuum zagotavlja dvostopenjska rotacijska črpalka s krolečimi loputami LEYBOLD-HERAEUS TRIVAC D iO B.
Slika 1.: a) Shema vakuumskega sistema WS 5QQ b) Izgled sistema v laboratoriju
Komora je sestavljena Iz zvona in krožnika. Zvon je ovit z bakreno spiralo, kar omogoča njegovo hlajenje ali ogrevanje. Okno na prednji strani zvona je znotraj zaščiteno s steklom, ki ga po nekajkratnem naparevanju zamenjamo. Na vrhu zvona }e standardna priključna odprtina s premerom 3i,5mm.
Krožnik je spodnji del komore. Priključek na Crpalni sistem je nameščen na strani, da celotno dro lahko izkoristimo za prevode. Devetnajst priključnih odprtin je razmeščenih tako, da omogočajo priključitev vseh prevodov s standardnimi priključnimi merami. Debelina dna krožnika Je 20 mm. Na steni krožnika so nameščene štiri KF prirobnice, za priključitev Plranl in Penning glav, masnega spektrometra in ventila za vpust dušika.
V komori so trenutne nameščeni:
-	visokotokovni vodno hlajeni prevodi za priključitev izvorov za naparevanje (200 A)
-	vrtljivi prevod z motorjem za vrtenje nosilca vzorcev
Njena črpalna hitrost za zrak je 40 m'/uro. Za zmanjšanje pretoka oljnih par med rotacijsko črpalko in komoro smo skonstruirali sorpcljsko past z zeolitom. V past smo vgradili grelec za občasno regeneracijo zeolita.
Visokovakjumska krio črpalka VARIAN VK-12 A z elektro-pnuvmatskim ploščatim ventilom ima črpalno hitrost za zrak 920 l/s, za vodne pare pa 3800 l/s. Deluje na principu kondenzacije plinov pri zelo nizkih temperaturah (!5 K), kar jo uvršča med zelo Ciste vakuumske črpalke.
V enoti za naparevanje sla napajalnik, ki ga Je možno prilagoditi za naparevanje iz ladjic (5 V, 200 A) ali Iz žice (20 V, 50 A) in krmilni del za pomik zaslonke, ogrevanje in vrtenje vzorcev.
Krmiljenje sistema je električno, ker so vsi vgrajeni ventili elektropnevmatski. Ob Izpadu vode aH električne energije se sistem usta/i, ventili pa zaprejo.
Vsi spoji na komori so tesnjeni z vi tonskimi tesnilkami. To nam omtgoča fiitro zamenjavo prevodov. Dno kotnore in
črpajo prav vodne pare. Hitrost črpanja vodnili par za črpalko VARIAN VK-12 A je 3800 i/s.
r
Hf
ho*
1
Siika 2.: Masni spekter plinov v komori, posnet pri tiaku 5x10 mbar. Občutljivost spektrometra je bila bd masnega kvocienta 33 naprej povečana za 10-krat, da je vidna sestava manj zastopanih plinov z večjim m/e.
X I
co .nj
m/e
X 10

prostor pod njim sta namenjena izključno namestitvi prevodov, kar omogoča njihovo enostavno in hitro montažo.
CasI črpanja so kratki:
-	10'^ mbar ..... 2-5 minjt
-	10"^ mbar ..... 5-B minut
-	10"^ mbar ..... 20-30 minut
Ob začetku črpanja komore sb v njej prisotni različni plini. 2e po nekaj minutah prevladuje vodna para, kar je razvidno iz masnega spektra plinov v komori (slika 2). Velika prednost krio črpalk je v tem, da najbolj intenzivno
SKLEP
S sistemom WS 500 dosežemo v razmeroma kratkem času vakuum v poročju 10"^ mbar. Sistem omogoča nanašanje tankih plasti v čistih pogojih, kar je primerno za študij in raziskave lastnosti tankih plasti in za zahtevnejšo pilotno proivzodnjo.
Marjan Drab, öipi.ing. lEVf, Ljubljana
zaščitno naparevanje v napravi bah-2000-ba1_zers
A Uvod
V zadnjih letih so se v avtomobilski industriji zelo povečale zahteve za korozijsko obstojnost celotnega vozila. Temu primerno ostrejši so postali tudi normativi za odpornost žarometa in posredno za naperjeno plast. V Saturnusu
smo se morali odločiti med dvema tehnologijama in sicer med zaščitnim lakiranjem naparjene plasti In pa zaščitnim naparevanjem. Po mnogih poizkusih smo ugotovili, da zaščitno naparevanje najbolje pokriva zahteve naših kupcev in odločili smo se za nakup naprave za zaščitno naparevanje Balzers-BAH-2000. Po Balzersovem postopku na napar-

Jeni AI nanašamo posebno organsko spojino imenovano Plasii, ki |o kot prozorno tekočino dobavila ista tovarna. Vrstni red nanašanja plasti na parabole žarometov in namen plasti je nasleOnjl:
-	lakiranje s potapljanjem in sušenjem za Izglajenje površine
-	nsparevanje Al-odbojne zrcalne plasti
-	nanos Plašila za obstoinost Al proti atmosferskim vplivom
-	naparevanje SiO plasti, k! ščiti oba predhodna nanosa proti melianskim vplivom.
Ker Je zaščita s Plasilom verjetno za vse nas nekal novega, naj postopek tvorbe te zaščitne plasti male podrobneje opišemo. Ko želimo pričeti nanašati Plašil na predmete v vakuumu, odpremo dostop njegovim param v recipient in "prižgemo" plazmo. Iz fizike vemo, da je plazma vzbujeno stanje razredčenega plina. V našem primeru je to zrak, ki ga močno električno polje ionizira. Zs vzpostavitev plazme Je naprava BAH opremljena z izvorom napetosti 40GO V, vgrajeno Ima - proti obdelovancem in masi izolirano - katoöo in pa krmiljeni dozirni ventil za vpušča-nje zraka ter avtomatsko vzdrževanje primernega tlaka plazme. Od žarilne katode potujejo elektroni proti substratu (t.J.: obdelovancem, ki so na potencialu anode). Na svoji poti trčijo v nevtralne molekule Plašila in z natrga-njem kemičnih vezi sprožijo poiimerizacijo le-teh. Obenem nastanejo tudi delčki, ki polimehzirajo sami ali povzročajo poiimerizacijo. Polimerizatl se usedajo na površino izdelkov. Tako naneseni Plasii je amorfna, organska zaščitna plast, ki je zelo obstojna proti kemičnim vplivom In Izkazuje temperaturno obstojnost še pri več kot 20ID°C. Zaradi majhne površinske trdote ni odporen na mehanske obremenitve.

B Vakuumäca shema naprave BAH-2000 _ji_
/

II

1.	Recipient
2.	Ploščati ventil
3.	Vodna past
b.	Difuzijska črpalka
8	Rotacijska črpalka
9	Vpustni ventl!
10	Odzračevalni ventil
5. Ventil za predvakuum 11 Merilnik visokega vakuuma
6.	By-pass ventil
7.	Roots črpalka
12	Merilnik srednjega vakuuma
13	Zaporni ventil
C Opis nekaterih sestavnih delov naprave
1. Osnovni del naprave je recipient v obliki valja (konstrukcijsko jeklo) s premerom 2DQ0 mm in dolžino 2500 mm. Ima dva priključka t 630 za obe difuzijski črpalki, 5 izoliranih električnih prevodov, pogonski mehanizem za vrtenje kletke s substrati, priključek za by-pass in še
več manjših priključkov (merilniki, Plašil, vpuščanie plina itd.).
2.	Vrata kotla se odpirajo s pomočjo pogonskega motorja z verünim pogonom na posebni konstrukciji pred reciplen-tom, tesnenje vrat proti kotlu pa |e Izvedeno z 0-tesnilom iz neoprenske gumbe in 2 dvema pnevmatskime cllinöroiris. Gibanje vrat je omejeno s končnimi stikali.
3.	Crpalni del
-	Dve predvakuumskl črpalki
To sta enostopenjski rotacijski črpalki 7 vodnim hlajenjem, tipalom temperature in krmilno napravo. Sesalna moč pri I mbar je 450 m'/h.
-	Roots črpalka s polno-preklopnim motorjem
Sesalna moč z dvema predvakuumskl m a črpalkama pri 0,1 mbar je 3700 m'/h.
-	Dve dlfuzijski črpalki za visoki vakuum
To sta večstopenjski vodno hlajeni oljni difuzljski črpalki.
--	-4
Vsaka ima črpalno hitrost za zrak pri 10 mbar brez
dušične pasti 20.000 1/sek, z dušično pastjo pa 10.500
l/sek.

-	Dve hladilni pasti Sta vodno hlajeni, prepustnost zraka pri 10 " mbar je 22.500 1/sek.
-	Dva ploščata ventila za visoki vakuum (premer 6J0 mm) Zapirata difuzljski črpalki proti recipientu.
-	Ventil za predvakuum
Elektropnevmatsko krmiljen kotni ventil vgrajen v predvakuumskl de! sistema se avtomatsko zapre, če zmanjka elektrike ali če pade pritisk zraka.
-	By-pass ventil
Elektropnevmatsko krmiljen kotni ventil vgrajen v By-pass napeljavo; se avtomatsko zapre, če zmanjka elektrike ali če pade pritisk zraka.
-	Vpustni ventil
Elektropnevmatsko krmiljen kotni ventil za vpust plinov v recipient; se avtomatsko zapre, če zmanjka elektrike aH če pade pritisk zraka.
4.	Vakuumski merilniki
Dve merilni cevi za merjenje vakuuma med 100 in 1.10 mbar sta montirani v predvakuumskem sistemu.
-B
Merilna cev za merjenje vakuuma med 5.10 in 5.10 mbar je nameščena v recipientu med ploščatim ventilom.
5.	Avtomatika je nameščena v samostoječi omari. Posebej odOvojeno je krmiljenje vakuumskega procesa. Možno je nastaviti popolnoma avtomatski ciklus, nastaviti različne parametre in pa ob popravilih vključiti le posamezne elemente. Merilna elektronika Je sposobna oddati signal ob določenem vnaprej nastavljivem tlaku v recipientu.
6.	Sistem vodnega hlajenja difuzijsklh črpalk, rotacijskih črpalk, električnih provobov In vodno hlajenih pasti vsebuje elektromagnetne ventile, ročne In protipovratne ventile In tipala za kontrolo pretoka.
7. Napeljava stisnjenega zraka je potrebna za gibe ventilov vrat itd. in vsebuje standardne pnevmatske elemente.
0. Sistem za ustvarjanje plazme sestavljajo:
-	visokonapetostni izvor (2000 W ali 3500 W)
-	krmilna naprava za tok, napetost in tlak
-	električni dozlrnl ventil za vpust zraka
-	visokonapetostni provod
-	membransko vakuumsko stikalo, ki vklopi napetost šele, ko je dosežen tlak 100 mbar
-	elektroda iz čistega Al z izolatorji in nosilci
9.	Sistem za uparjanje Al sestavljajo:
-	visokotokovni transformator za moči do 15 kVA
-	tirlstorsko krmiljeni usmernik za enake moči
-	vodno hlajeni provodi
-	dve bakreni elektrodi s skupno 34 držalci spiral
-	17 voltrsmskih spiral
-	aluminij za naparevanje je čistoče 99,99% (1,5 g žice $ 1,5 mm na eno spiralo)
10.	Sistem za uparjanje SiO je priključen na Isti visokotokovni izvor, kot pri uparjanju Al. Ostali pomembnejši deli so regulacijski ventil za vpuščanje kisika v kotel, bakrena elektroda, 20 držal za ladjice in 10 ladjic iz Mo.
11.	Sistem za uparjanje Plašila sestavljata dva rezervoar-čka, ročni dozirni ventil, elektromagnetni zaporni ventil, vstopna šoba za zrak, v by-pass vgrajene dižilke za zmanjšanje pretoka plina.
12.	Sistem za globoko hlajenje s tekočim dušikom (liquid nitrogen = LNj); sistem avtomatsko dozira LNj v pasti pri ploščatih ventilih, sestavlja pa ga dvigovalec dušika (s stisnjenim zrakom), tipala za nivo dušika, krmilne naprave, magnetni ventili za LNj In toplotno Izolirane cevi.
Mnogo je še naprav in pripomočkov, ki omogočajo produkcijsko naparevanje na BAH-2000, vendar so z vakuumskega gledišča manj zanimive in jih ne bomo naštevali.
D Nekateri tehnični podatki o BAH-20D0
-	volumen recipienta 10.000 1
-	tesnost naprave 5.10 ' mbar l/s
-	dosegljiv končni tlak v čisti in prazni napravi 2.10 mbar
-	črpalni časi za polno napravo kovinskih izdelkov pri popolni čistoči:
-6
1 mbar	3*15'
0,1 "	J'40'
1.10-'	4'20'
1.10-'	6'40'
1.10-5	12'
Pri substratih, ki se močno razplinjujejo, se lahko časi povečajo za 100 ali tudi več
-	poraba stisnjenega zraka ( 6 bar) na saržo: 13 1
-	pretok hladilne vode, če je v pogonu celotna naprava z dvema hlajenima provodoma električnega toka: 35 l/min
-	poraba tekočega dušika (pri treh saržah na urolt6 kg/h
-	poraba električne energije (če naparevamo Al, do 5 sarž na uro) —40 kWh
E Opis procesa naparevanja AlMasil/SlO
Ta kombinacija [e ralbolj pogosta pri proizvajalcih avtomobilskih žarometov. K opisu spada tudi diagram tlak/čas, ki daje najboljšo predstavo o celotnem postopku.
Tedaj se oba ploščata ventlis zapreta, by-pass ventil se odpre, dušilna kapa za Plašil se zapre (reducirani prefni presek), sistem za gllmanje se vklopi In vstopni plinski ventil za Plašil se odpre.
Pritisk naraste in se giblje pri nanašanju Plašila
aimaifef^
1. 2.
3.
i.
5.
Črpalni del Je pripravljen za obratovanje.
Iz kotla se Izirpa zrak in sicer iz tlaka atmosfere
-2 -2 na 6.10 mbar. Ko se doseže tlak 6.10 mtiar, se
odpreta oba ploščata ventila.
Med odpiranjem ploščatega ventila se istočasne vklopi časovnik 1, Sasovnik 2 se vključi takoj, ko je dosežen tlak 1.1 o"' mbar. Cas, ki Je potreben za dosego tlaka 1.10"' mbar, Je treba določiti empirično in ga nastaviti na časovniku 1.
Ko se vklopi časovnik 2, se začne vrteti kletka in v boben prične dotekati zrak, dokler tlak ne naraste na 2 + 4.10 mbar. Tedaj se vklopi visoka napetost za vzpostavitev plazme (glimanje, tlenje). Zeleni čas čiščenja s plazmo se lahko Izbere vnaprej na časovni-ku 2. Potrebni čas čiščenja Je odvisen od več faktorjev (npr. material Izdelka itd,). Ko časovnik 2 zapre dotok zraka, prične plazma ugašati In tlak padati. Izčrpavanje poteka naprej do takrat, ko je dosežen točno določen tlak za naparevanje Al. To Je k2.10"'' mbar (pri BAH-2000 nastavljivo). Tedaj se vklopi časowiik 3 in spirale za izparevanje Al. Moč na spiralah postopoma narašča {Rise Time) do polne moč!, katero doseže po 12*15 sek. Rise Time se mora določiti empirično.
Izparjevalnl Cas Al pri polni moči na spiralah je 50 sek. Na časovni ku 3 se nastavi oba časa skupaj (Rise Time + izparjevalni čas). Po preteku tega časa
se časovnik 3 izključi In s tem izparevanje Al. Vklopi se časovnik U In začne se nanašanje Plašila.
okrog 0,1 mbar. Zaželeni čas nanašanja Plašila se nastavi na časovniku 4. Po Izteku tega časa časovnik h Izklopi nanašanje Plašila.
8.	Ko se nanašanje Plašila konča, se odpreta ploščata ventila In spet se vzpostavi visoki vakuum. Ko Je dosežen tlak I i 2.10"'' mbar, se vključi časovnik 5. V času delovanja časovnika 5 se tlak stabilizira in nato se vklopi časovnik 6, ki sproži nanašanje SiO,
Kontrola tlaka, pri katerem se začne nanašanje SIO Je podobna kot pri Izparevanju v točki 3 (Set point 3) na krmilju črpalnega dela DPA 201.
Nanašanje Al in SiO poteka pri enakih vrednostih tlaka. Časovnik 6 vklopi samo izvore za Izparevanje SiO traja i' . Med Izparevanjem SiO se v kotel spusti prek ventila kisik. Po preteku tega časa Izklo-prl proces časovnik 6.
9.	Istočasno se vklopi časovnik 7, ki odreja interval (1 - 1,5 min) ohlajanja izvorov za nanašanje SiO. Na ta način se izognemu lokalnim pregretjem. Po preteku časa za hlajenje ladjic se v kotel avtomatsko spusti zrak, tako da .. v njem vzpostavi atmosferski tlak.
10.	Vstopanje zraka v kotel poteka cca 2 min. Po preteku tega časa se pokrov kotla rahlo odmakne in obenem sproži končno stikalo. To stikalo sproži optični in zvočni signal, ki pomenita konec procesa.
Matija Trček, dipl,ing.
Saturnus, Ljubljana
IN MEMORIAM: prof. dr. EVGEN KANSKY
Štiriindvajsetega marca je star Šestdeset let, umrl profesor doktor Evgen Kansky, ki je večino svojega življenja posvetil raziskovalnemu, razvojnemu, pedagoškemu in društvenemu delu na muitidisciplinarnem podrofju vakuumske tefinike in s tem veliko prispeval k razvoju le panoge pri nas in tudi v svetu.
Rodil se je v Ljubljani 3. julija 1926.
OrSavno realno gimnazijo je obiskoval v Ljubljani, kjer je maturiral leta 194A. Med vojno je v rodnem mestu deloval kot aktivist Osvobodilne fronte. Prva znanja iz kemije Je že v otroških letih dobil od staršev, po vojni pa se je jeseni leta 1945. vpisal na kemijski oddelek univerze v Ljubljani, že med študijem Je bil na tem oddelku pomožni asistent, leta 1948 pa Je prevzel še delno zaposlitev v kemijskem laboratoriju Inštituta za elektrczveze. Na povabilo dr. Lasiča je poleti I9SQ prišel na Inštitut za šibki tok Elektrotehnične fakultete, iz katerega se je razvil Inštitut za elektroniko in avtomatiko, predhodnik današnjega inštituta za elektroniko in vakuumsko tehniko (lEVT). Diplomiral je z odličnim uspehom leta 1951. Kot mlad inženir je sodeloval pri organizaciji in postavitvi pri nas prvega visokovakuumskega laboratorija, ukvarjal se je z izdelavo elektronk s tehnologijo oksidnih katod s termično emisijo elektronov. V letih 1952-1955 se je posveti! zahtevni problematiki fotocelic in fotokatod. Skupaj s sodelavci je do stopnje tovarniške izdelave razvil več vrst vakuumskih in plinskih fotoceiic s fotokatodami Sb-Cs in Ag-O-Cs. Pri tem delu je spoznal, da je bilo takrat znanje o fotoemisiji visokoobčutljivih fotokatod tako pri nas kot v svetu še zelo pomanjkljivo. Zato se je odločil za raziskave, ki so zahtevale znanje elektronike, fizike in kemije in Je leta 1955 prijavil doktorsko nalogo v okviru katere je obdelal nekatere fizikalno kemijske lastnosti valenčnih spojin AI-B5 in fotokatod vrste CSjSb Disertacijo je uspešno branil na Fakulteti za naravoslovje in tehnologijo v LJubljani, leta 1961.
Kasneje Je skupaj s svojimi sodelavci raziskoval zvezo med fotoelektronsko emisijo, tipom kemijske vezi in kristalografsko strukturo spojin Al-85. Razvili so nove merske analizne metode, ki so omogočale meritve in ugotavljanje lastnosti fotokatod. Izkušnje, ki si jih je pridobil, je s svojo skupino izrabil tudi pri razvoju ll-sto-penjske fotopomnoževalke za scintllacijske števce.
Nekako ob koncu šestdesetih let je bila razmeroma velika skupina profesorja Kanskega, zaradi diskontinuitete del na op to-elektronskem projektu, prlmorana prevzeti delovne obveze na sorodnem področju. Razvoj in postopna maloserijska proizvodnja novih tankoplastnih elementov za elektroniko je kmalu postala osrednji programski in finančni steber njegovega oddelka za tehnologijo tankih plasti in vakuumskih materialov, v katerem je danes zaposlenih preko 80 ljudi. Dolgoletno raziskovalno in razvojno delo profesorja Kanskega in njegovih sodelavcev je omogočilo proizvodnjo cele vrste tanKopiastnih izdelkov in sodelovanje z elektronsko industrijo v Sloveniji in drugih republikah. Bil je med pobudniki za ustanovitev zamejske slovenske tovarne Mipot v Krminu pri Gorici, kamor Je v letih 1974 do 1977 skupaj s sodelavci prenesel tehnologijo za proizvodnjo miniaturnih p o lene i om etrov ter pomagal pri strokovnih nasvetih in izobraževanju kadrov za to tovarno. Vseskozi je bil nosilec vrste raziskovalnih nalog obenem pa je opravljal tudi samoupravne funkcije.
Profesor Kansky je že zgodaj spoznal, da je za celovito pridobitev znanja nujno potrebno sodelovanje s tujimi laboratoriji in Institucijami. 2e leta 1954 je kot Praktikant delal sedem mesecev v ZRN, v tovarnah vakuumske in elektrovakuumske opreme. Leta I960 je KOt štipendist Mednarodne atomske agencije in francoske vlade tri in pol mesece delal v nuklearnem centru v Saclay-u. Leta 1963 je kot štipendist Humboldovega sklada delal v raziskovalnem laboratoriju tvrdtke Helmann v Wiesbadnu, kjer Je raziskoval kinetiko sinteznin reakcij fotoemisijskih plasti. S tujimi strokovnjaki je v tem obdobju vspostavii strokovne stike, ki jih je vzdrževal tudi kasneje. Dolg bi bil seznam tujih institucij, s katerimi je imel profesor Kansky vse do letošnjega leta stalne ali občasne slike v Evropi, pa tudi izven nje. Izjemno hitro je znal vspostavlti stik s sogovornikom, kar mu je omogočalo tudi njegovo dobro znanje večine najpomembnejših živih evropskih jezikov.
Delo na področju tankih plasti je zahtevala natančno poznavanje njihove sestave in fizikalnih lastnosti. Profesor Kansky je bil pobudnik za ustanovitev laboratorija za analizo površin na !EVT, ki danes uspešno sodeluje s sorodnima laboratorij ima na Max-Planck Institut für Werk-stoffwissenschaften v Stutgartu in z Raziskovalnim inštitutom za tehnično fiziko pri madžarski akademiji v Budimpešti.
Nekako po letu 1961 Je svoje bogato znanje, ki si ga je pridobil razen s trdim raziskovalnim delom tudi s stalnim spremljanjem tujih strokovnih revij in knjig ter z aktivno udeležbo na domačih in tujih strokovnih srečanjih, že pričel prenašati na mlajše kolege. Intenzivno se Je vključil v vzgojno-izobraževaino dejavnost Leta 1965 je bil na FNT, Univerze v Ljubljani habilitiran za docenta za predmet "Fizikalna kemija tankih plasti". Na isti fakulteti je bil leta I9B4 imenovan za rednega profesorja za kemijo in analizo tankih plasti. Bil je mentor mnogim diplomantom.
magistrantom in doktorantom: na tern področju je bil aktiven üo zadnjih dni svojega življenja. Izjemen pomen je pripisovaJ podiplomskemu študiju "Elektronske vakuumi-stike", katerega iniciator je Dil, Izvaja pa se pod okriljem mariborske univerze.
Profesor Kansky je aktivno sodeloval tudi v strokovnih društvih. Bil je med ustarxivitelji današnje Zveze društev za vakuumsko tehniko Jugoslavije (JUVAK) in Društva ?a vakuumsko tehniko Slovenije. Sodeloval je pri organizaciji skoraj Nseh jugoslovanskih vakuumskih kongresov in pomagal pri izdaji zbornikov predavanj. Bil je tudi dolgoletni predsednik obeh društev, leta 1966 pa je v zahvalo za dolgoletno strokovno in organizacijsko delo na področju vakuumske tehnike v Jugoslaviji izbran za častnega člana JUVAK. V času od leta 1962 do 1974 je bil štiri mandatne dobe predstavnik JUVAK v izvršnem odboru Mednarodne zveze za vakuumsko znanost, tehniko in uporabnost - lUVSTA, obenem pa tudi jugoslovanski zastopnik v večih sekcijah lUVSTA. Od leta I95i do 1976 je bil dopisni član Francoskega društva vakuumskih inženirjev in tehnikov in od leta I96S član Ameriškega vakuumskega druitva. V Lju' Oljanl Je sodeloval pri Strokovni sekciji za elektronske sestavne dele, mikroelektroniko in materiale, pri Slovencem kemijskem društvu pa je deloval v spektroskopski sekciji, že leta 1971 so ga izbrali za zaslužnega člana Zveze strojnih in elektro inženirjev In tehnikov Jugoslavije (SMEITJ).
Vso bogato In razvejeno dejavnost profesorja Kanskega ni mogoče v celoti opisati na tem mestu, prav tako pa ni mogoče navesti vsa družbena priznanja in nagrade, ki jih je prejel kot uspešen in ugleden znanstveno-raziskovalni delavec. Med najpomembnejše vsekakor sodi nagrada iz Sklada Borisa Kidriča, ki Jo je leta 1967 dobil za izdelavo nove elektrokemične metode za študij tankih plasti in še pet nagrad za izume In tehnične izboljšave iz Istega sklada, ki jih je skupaj s svojimi sodelavci dobil v letih 1967 do I9B2. Za svoja dela je prejel sam ali s sodelavci več
jugoslovanskih in tujih patentov. Že leta 1964 je na svetovni razstavi izumov v Bruslju skupaj s sodelavcem dobil zlato medaljo za posebno izvedbo fotopomnoževalke. Kot znak priznanja za dosežene uspehe v sodelovanju z vojaškimi enotami In ustanovami. Je leta 1979 prejel kot prva civilna oseba malo plaketo J NA.
Za organizacijo sodelovanja med inštitutoma lEVT in Ma«-Planck Institut für Werkstoffwissenschaften je dobil posebno plaketo Max Planck inštituta.
Dobro se še spominjamo, da je profesor Kansky lani prejel Kidričevo nagrado za žlvljensko delo za znanstveno In razvojno delo na področju tankoplastnih in vakuumskih materialov in tehnologij za elektroniko in optoeiektroniko, katerega rezultate je objavil sam ali s sodelavci v več kot 80 znanstvenih in strokovnih delih doma in v uglednih svetovnih strokovnih revijah in zbornikih mednarodnih kongresov. To nagrado je prejel že neozdravljivo bolan, pa vendar je tudi v zadnjem obdobju svojega življenja vso svojo energijo vlagal v snovanja in delovne načrte za vnaprej. Kadar st;5 mu Lolazen in njegovo /oravljenjf zadnji dve leti in pol le dopuščala, je spremljal strokovno literaturo, pripravljal nove članke in predavanja in imel živ stik s sodelavci, katerih dosežkov v zadnjem času se je iskreno veselil. Občutil je, da njegov trud in mnoga odpovedovanja niso bila zaman. Velik del svojega strokovnega znanja mu je uspelo prenesti na mlajše sodelavce.
Profesorja doktorja Evgena Kanskega se bomo vedno spominjali kot priljubljenega čioveka z bogatim strokovnim znanjem in široko razgledanostjo, ki je svoje življenje posvetil napredku in v mnogih primerih pionirskemu delu na področju vakuumske tehnike in tankoplastnih materialov in tehnologij. Najbolje se mu bomo oddolžili, če bodo strokovna področja, ki jih Je >^Bljal v slovenski in jugoslovanski prostor, ostala živa in se razvijala tudi vnaprej.
Anton Zalar
RAZVOJ IR SENZORJA ZA TERMOVIZUO S HgCtfTe KRISTALI NA lEVT
Monokrlstalne polprevodniške zlitine binarnih spojin HgTe in C d Te v različnem razmerju dajo zvezno spremenljive ozko pasovne polprevodnike, ki kot fotoprevodni ali foto-napetostni fotonski detektorji služIjo za senzorje IR termičnega sevanja izvorov na temperaturi 150 - 750 K, zlasti pa okoli 300 K z maks. 10 p m; zaradi hitrega odziva in nizkega šuma so se kot edini primerni senzorji uveljavili za uporabo v termovizijski snemalni kameri. Zato je omenjeni polprevodnik eden od materialov, ki so zadnja leta v središču zanimanja moderne elektronike.
Ne lEVT že štiri leta delamo na razvoju IR senzorja za področje 8-14 iim s HgCdTe kristali predvsem v okviru neposredne svohodnp menjave dela, v zadnjem letu pa tudi v okviru sofinanciranja iz skupnega programa PORS. Razvojno delo se je v glavnem odvijalo v štirih smereh:
• razvoj razstavljivega kovinskega detektorja za hlajenje s tekočim dušikom za enoeiementne senzorje
-	razvoj trajno zaprtega kovinskega detektorja na hlajenje z .\T. agregatom za 16-elementni senzor
-	razvoj izdelavnih postopkov enoelementnih senzorjev (procesiranje)
- razvoj sinteze mono kr 1st a lov s HgCöTe po postopku CRA, razvoj metod za karakterlzadjo materiala ter preiskave strukturnih In električnih lastnosti.
Kar zadeva dewar posode, smo razvili razstavljivo ohllje Iz aluminija s čelnim In stranskim oknom Iz germanija za enoeiementne senzorje. Dalja smo razvili trajno zaprto stekleno posodo s Čelnim oknom. Pri tem Je zelo važen čas uporabnosti razstavljivih Ai-dewar posod brez ponovnega črpanja. Doslej smo dosegli uporabnost v času 4 mesecev, tekoči dušik pa se Je obdržal 3 do 4 ure. Meritve uporabnosti so dolgotrajne In so še v teku. Trajno zaprta steklena dewar posoda drži tekoči dušik približno J ure, ponovno črpanje ni potrebno. Razvili smo tudi trajno zaprte kovinske dewar posode z J.T. hladilnikom za 16 elementnl senzor, ki ima kaliPrlrano cev za hlajenje ♦ 5,18 a)l 7,22 mm z v steklo vtaljenlmi provodi in germani-jevim oknom.
Pri procesiranju senzorja smo razvijali postopek za izdelavo fotoprevodnih enoelementnifi senzorjev za termovizijo z velikostjo aktivne površine od 65 x um do 300 x 700 ym, oziroma 750 x 750 iim iz uvoženega materiala. Pri tem smo dosegli vrednost R . največ do 22000 V/VV
*	,n pk
oziroma D^,^ okoli 2.10"'(cm Hz/W), pri električni upornosti okoli 10 Ohm in delovnim tokom okoli JO mA. Detektor smo testirali v komori za termovizijo s senzorjem z odzivnostjo 550 V/W, ki je dala zadovoljivo sliko. Temperaturna ločljivost je bila 0,6°C. Pričakujemo, da se bo ločljivost z vgraditvijo boljših detektorjev, ki bodo dobljeni z nadaljnjim razvojem, izboljšala za kako desetlnko stopinje.
Senzorji so montirani na pozlačena ohišja iz tanke Al^Oj keramike, ki smo Jih Izdelali na lEVT, velikosti 7x7 in 4x4 mm. V teku je intenzivno preučevanje paslvaclje z ZnS in anodno oksidacijo.. Razvili smo tudi postopek oblikovanja in bondiranja B odnosno i6-elementnega senzorja.
Hkrati z razvojem komponent poteka tudi razvoj sinteze monokristaiov Hgj_^Cdj^Te po postopku CRA (C-castin, R-recrystaliizatlon, A-annealing) z x = 0,2. Sinteza In pretaljevanje potekata v evakuiranih debeiostenskih kreme-novih ampulah z notranjim t 6 mm. Meritve polorevod-niških lastnosti so pokazale, da so pri materialu p-ti pa
prevodnosti gibljivost elektronov, koncentracija nosilcev naboja In vrednosti za specifično upornost v pričakovanem območju. Pri materialu n-tipa prevodnosti Je najnižja vrednost, za koncentracijo nosilcev, ki smo jo dosegli, 1,7 X io'^ cm"' pri 77 K. Z ozlrom na čistočo dostopnih Izhoc'nih materialov se ta rezultat približuje optimalni možni vrednosti, medtem ko gibljivosti niso v zadovoljivih mejah (10'). Raziskava mikrostrukture in homogenosti sestave je pokazala, da je material oovolj homogen za izdelavo senzorjev z omenjenimi dimenzijami. Ugotovili smo, da se material pri oblikovanju rezin obnaša podobno kot uvoženi, kakor tudi pri oblikovanju eno In več elemen-tnih senzorjev. Meritve mikrotrdote na domačem in uvoženem materialu se ujemajo (56 - 40 HV).
Poleg intenzivnega študija optimizacije in definiranja vakuumskih postopkov na modelni seriji z ozirom na dolgotrajno uporabnost senzorjev smo morali opremiti laboratorije za meritve Integralne odzivnosti in spektralne občutljivosti senzorjev. Za strukturno karakterizacijo smo Imeli na razpolago metaiografske metode, elektronski mikroskop z ED mikroanalizatorjem, površino smo analizirali s spektroskopijo Augerjevih eleKtronov. Sestavo In njeno homogenost smo analizirali z ED mikroanalizatorjem in atomsko absorpcijo.
Pričakujemo, da bo razvoj senzorskih sestavnih elementov koristen in pomemben za termovizijo, za op to elektronsko merilno tehniko ter kot detektor v robotiki. Poleg tega razvoj domačih materialov vsaj delno izpopolnjuje velikansko vrzel, ki je nastala v domačih tehnologijah vakuumskih materialov za polprevodniško področje.
Iz prikaza dejavnosti je razvidno, da Je bilo v opisani obširni program razvoja vloženega veliko dela, študija in znanja. Nadaljnji razvoj pa je na žalost negotov ali pa vsaj močno okrnjen, zaradi negotovih ali premajhnih virov sofinanciranja in zaradi preusmeritve sredstev na druge programe uporabnika. NaSa želja je, da bi Intenzivno nadaljevali z razvojem, kar bi bilo smiselno in koristno glede na že viožens sredstva in pridobljeno znanje.
Smiljan Jerič
Eva Perma n
lEVT, Ljubljana
POROČILO S 55. SEJE lO lUVSTA
Od 14. do 16. marca 1987 je bila v Strasbourgu 55. seja izvršnega odbora Mednarodne unije za vakuumsko znanost, tehniko in aplikacije (lUVSTA), na kateri je bilo sprejetih več pomembnih sklepov.
Na tej seji je bilo v lUVSTA-o sogalsno sprejeta Portugalska zveza za vakuumsko tehniko (SOPORVAC). Pripravlja
se tudi vse potrebno za ponoven sprejem Poljske vakuumske zveze, ki zaradi svoje neaktivnosti že skoraj 10 let ne deluje v iUVSTA-i.
10 lUVSTA je predlagal Komiteju za Izobraževanje, naj nadaljuje priprave za mednarodno poletno šolo Is področja tankih plasti. Ena teh šol naj bi bila v Evropi in druga v
eni oä držav v razvoju. Pričakujejo tubi pomoč od UN'ESCO.
UNESCO je razpisal nagrado Javed Husain, za znanstvenike stare do 35 let, ki delajo na področju osnovnih in uporabnih raziskav. Podeljevala se bo vsaki 2 leti, začenši z leloinjim letom 1967. Raziskave, ki pospešujejo razvoj vojaškega orožja ne pridejo v poitev za to nagrado. Za kandidate, ki so jiii prijavili preko lUVSTA, Je bilo do 30. aprila I9B7 potrebno prsdiožiti bibliografijo, opis njihovega dela in izpolnjene formularje.
Na seji smo potrdili termine in sprejeli poročila o pripravah za naslednje pomembne strokovne prireditve:
-	Od 16. - 19. aprila 1988 bo v Salfordu v Angliji prva evropska vakuumska konferenca.
-	Termin za Mednarodno vakuumsko konferenco v Koinu je predviden za jesen leta 1989.
-	Mednarodna vakuumska konferenca, ki bo v Rio de Janeiru pa je predvidena za september leta 1992.
Na seji smo spreieli in potrdili blagajniško poročila, poročilo znanstveno tehničnega direktorlja ter poročila predsednikov sekcij in komitejev IUV5TA, ki so imeli pred tem ločene seje.
Izbrali smo tudi termine in kraje za naslednje seje 10 lUVSTA. Prva naslednja, to je 56. seja bo od 4. do 6. decembra 1987 v New Delhiju, 57. seja bo v Salfordu v Angliji, Od 16. do 19. aprila 1968. Za 58. sejo so kandidirali predstavniki Italije, Portugalske in Jugoslavije. S tajnim glasovanjem je dobila večino glasov Jugoslavija. Tako 00 56. seja 10 lUVSTA po dolgem času v našem Portorožu, od 24. do 26. septembra 1968, po zaključku 'i. Združene vakuumske konference Jugoslavije, Avstrije In Madžarske, ki je predvidena za čas od 21. do 23. septembra 1988.
Priprava in izvedba mednarodne vakuumske konference In seje 10 lUVSTA v Portorožu zahteva takojšen najresnejši organizacijski pristop posameznikov in Institucij ter Je tudi priložnost, da združimo naše razdrobljene vakuumske moči.
A. Zaiar
LEYBOLD HERAEUS DANES (nadaljevanje prispevka iz 1Q številke: Od majhne steklopihalnice in lekarne v svetovni vrti)
Po združitvi Leybolda in Heraeusa lahko štejemo podjetje Lh kot eno izmed vodilnih v svetu na področju vakuumske tehnike. K temu so pripomogla velika vlaganja v razvoj in raziskave pa tudi visoka izobrazbena struktura zaposlenih. Naj to pojasnimo s številkami: v Jetu 1965, ko je nemška industrija dajala 2d razvojno rdzlskovdlno d@lo v povprsčju 4% brutto realizacije, je ta odstotek pri LH bil 7%; in še izobrazba: od vseh kvalificiranih sodelavcev jih ima skoraj 30% opravljeno vsaj visoko šolo ali univerzo.
Osrednji tehnološki področji, ki ju firaia danes goji, sla vakuumska metalurgija in pa tanke plasti. Aktualen spekter tankoplastnib tehnologij se razteza od tankih piasti za elektroniko, informatiko, zaščito pred korozijo in obrabo, pa vse do optičnih stekel in dekorativnih plasti. V metalurgiji so na prvem mestu naprave in postopki za taljenje, degaza-cijo (razplinjevanje), pretaljevanje, vlivanje specialnih jekel, barvnih kovin in njihovih zlitin ter pridobivanje tako Imenovanih super-legur; prav tako Izdelujejo naprave za varjenje z elektronskim curkom in laserskim žarkom.
V boju za tržišče sprejemajo in si nalagajo kot proizvajalci izredno visoke zahteve. Posledica tega so vedno sposobnejši vakuumski elementi in naprave, pa tudi vse širša avtomatizacija oz. vodenje vakuumskih procesov,
Firma je razvila medtem Se merilne in analitske sisteme za pline, trdne snovi, površine In mejne ploskve kot samostojno področje.
Proizvodi LH, ki bi jih danes lahko razvrstili v spekter cca 3P0 različnih uporab, so pomembno prisotni na 62 različnih področjih človekovega udejstvovanja. Naj naštejemo nekaj najpomembnejših:
-	elektronika in obdelava podatkov
-	biotehnologija in medicina
-	kemija
-	energetika
-	ekologija...
Ceinten obsec] prisoinosti na teh področjih spoznamo šele, ko si ogiPdanio posamezne primere.
LH je danes vključen v evropskem, ameriškem, japonskem vesoljskem programu prav tako, kakor pri programih mikroelektronskih chipov. Postopki (tehnologije) in naprave za proizvodnjo CO-plošč (compact disc), kl z laserjem omogočajo najkvalitetnejšo reprodukcijo zvoka, predstavljajo naslednja področja delovanja. Ploščati ekrani In kompa-tibilne video kasete bi bile brez teh prizadevanj neuresnič-Ijive.
Poleg obsežnih tehnoloških projektov za uporabo v industriji in raziskovalnih programov spada semkaj tudi program s področja naravoslovno-znanstveno-tehničnih učil za fiziko, kemijo, biologijo in splošne strokovne šole (začetek 1967 v Kčiinu).
Sem sodijo tudi sistemi za vaje na elektrotehničnih visokih šolah, v elektroniki ter strojnih visokih šolah.
Ka) danes obsega I .e>ybold-l-leraeLs?
Leybold-Heraeus ima danes več kot 20 podružnic v Evropi, Aziji, Ameriki in Avstraliji, katere imajo lasten delni raz-voi ter proizvodnjo. Lani [e bilo v vseh skupaj več kot $000 zaposlenih.
LH oskrbuje več kot 75 Oržsv po vsem svetu direktno.
Pron-iei v letu I9fl5 Je bil skoraj 1 milijardo DM In je lani presegel to številko (točnih podatkov še nimamo na voljo).
Leybold Heraeus Je danes mednarodno podjetje, ki 80% prodaje ustvari zunaj ZRN.
Rajko Kalan lEVT Ljubljana
NADOMESTILO ZA ČRPALKO Z ROTIRAX)ClMI LOPUTAMI
V firmi American Genevac Inc. so izdelali črpalko, ki z vrtečim obročem tekočine spominja na poznane vakuumske črpalke z vodnim obročem; vendar deluje na drugem principu. Tu ni ekscentriCne gredi in med lopaticami ni prekatov, ki 01 se večali In zmanjševali, pač pa mirujoča sonda s špranjo v plasti vrteče tekočine ustvarja podtlak v zoženem delu pretoka (Bernoullijeva enačba, Venturijev princip). Zato pride do toka plina in par iz reciplenta oz. vakuumskega sistema skozi špranjo sonde v tekočino in iz nje na atmosferski pritisk, kot prikazuje slika. Črpalka lahko deluje pri temperaturah tudi do 150°c. Z njo lahko črpamo agresivne pline in pare, kar za črpalke Z vrtečimi loputami ni. priporočljivo zaradi korozije. 2 normalno serijsko izvedbo in poceni delovno tekočino (običajno mineralno olje) so pri 120-I5G''c dosegli vakuum pod 10 mbar. Z dražjimi olji, ki Imajo nižji parni tlak so prišli na 0,5 mbar (pri V 100°c in V = 50 l/mln), na posebni preskusni izvedbi pa celo pod 0,1 mbar (V: 170 i/min). Upajo, da bodo z opisano črpalko lahko dosegli tudi 0,01 mbar.
(Po R&D-jan. 07 pripravil A.P.)
špranja
sonda
tokot^inski ob reč
vs top (črpanje)
Izpuh
plinski mehurčki
KRATKE NOVICE IN OBVESTILA
Članarina
Leti^j) tečaji Iz osnov V^uumske tehnike
S plačano članarino vsako leto posameznik Izkaže pripadnost Društvu za vakuumsko tehniko Slovenije. Za letos znaša 1.000 din. Prosimo vse, ki se čutijo vakuumiste in bi želeli prejemati naše glasilo, da poravnajo to svojo obveznost. Vplačate lahko osebno pri blagajniku društva, tov. Borutu Pračku, dipl.ing. na lEVT, Teslova JO, LJubljana ali pa po položnici na žiro račun DVTS: pri SDK Ljubljana, št: 50101-678-52240
10 DVTS
V odsotnosti dr. Kanskega in dr. Gasperiča, ki sta sodelovala pri vseh dosedanjih tečajih in s po več predavanji bila močna opora društvu oz. organizacijskemu odboru za Izvedbo tečajev, smo se morali letos mlajši tolika bolj potruditi, da je šlo vse, kot je treba.
Prijav le bilo toliko, da smo tečaj priredili kar trikrat in verjetno bosta še dva v jeseni. Vsebina tečaja je ves čas Ista (enako kot v knjigi Zbornik predavanj), vaje pa smo
še malo izpopolnili. Z izboljšavami bo treba raceljevati tudi pri predavanjin in hkrati pripravljati material za novo dopolnjeno izdajo zbornika. V društvu smo prve korake v to smer že naredili. Naslednja tabela prikazuje število udeležencev na letošnjih tečajih:
Datum	Število udeležencev
13. - 15. januar 1987	22
10. - 12. februar 1967	28
19. - 21. maj 1987	23
A.P.
Strokovna ekskurzija v tovarno avtomobilskih žarometov SatumuB (Ljubljana)
Obveščamo članstvo, da v sodelvoanju s tovarno Saturnus organizira DVTS ogled njenih obratov. Videli Bomo celoten potek njihove proizvodnje In moderno napravo za produkcijsko vakuumsko naparevanje "parabol". Strokovnjaki iz tovarne nam bodo orisali tehnologijo nanašanja In zašKite aluminija ter problematiko z zvez! z optiko žarometa, v programu pa Je tudi krajše splošno predavanje o napareva-nju.
Ogled tovarne bo v iorek 23. 6. 1987 dopoldne in sicer le v organizirani skupini, □ čemer smo ilane že obvestili. Ker je še nekaj prostih mest, prosimo vse zainteresirane, da se prijavijo organizacijskemu odboru (Jenko, Banovec, Pregelj - telefon 26J-461), ki jih bo Informiral o uri in morebitnem skupnem prevozu do tovarne.
Organizacijski odbor
Nova vakuumska dejavnost v Metalni
Vakuumska tehnika se pričenja tudi pri nas uveljavljati v veliki industriji. V Metalni sedaj poleg obrata za Izdelavo dvoplašCnih kontejnerjev za vtekočlnjene pline že drugič uvajajo to tehniko. Ocfdelek za metalurško tehnologijo Je po načrtih znane firme Leyöold Heraeus izdelal vakuumsko peč za Mariborsko livarno. Delo sa opravili zelo kvalitetno, zato so dobili še novo, mnogo večje naročilo za Japonsko. Tudi tja je 2e odšla 5-tonska vakuumska peč. V načrtih so novi skupni projekti LH in Metalne za Železarni Sisak in Ravne ter Tovarno dušika Ruše. Ce bo prišlo do realizacije, bo glavni Izvajalec (po načrtih LH) skoraj gotovo Metalna, ki si je tudi v očeh tujih partnerjev pridobila ugled na področju hermetlčnega varjenja debelostenskih pločevin In posod kompliciranih oblik.
F.V.
Priprave na 4. srečanje vakuumistov Jugoslavije, Avstrije in Madžarske
Po dveh strokovnih konferencah avstrijskih In madžarskih vakuumistov smo se jim oktcbra 1985 na srečanju v Debre-cenu na Madžarskem priključili tudi jugoslovanski. Prihodnje leto v času 21. do 23. septembra (sreda, četrtek, petek) Jugoslovani nastopamo kot gostitelji; sosede bomo povabili v Portorož. Društvo za vakuumsko tehniko Slovenije, ki je lokalni organizator, je v ta namen že napravilo prve korake: pridobivanje članov, ki bi sodelovali pri organizaciji, ogled nastanitvenih in kongresnih možnosti v Portorožu, pripravljajo se osnutki finančnih predračunov In prvega obvestila itd. Poleg tega so imenovani člani mednarodnega organizacijskega odbora s strani JUVAK, v pripravi je razgovor i. lUVSTA z namenom, da bi le-ta prevzela sponzorstvo. Hkrati Je že znano, da bodo na konferenci imeli uvodna predavanja nekateri svetovno priznani vakuumski strokovnjaki - funkcionarji mednarodne zveze, ki bo v dneh po srečanju (tj. 2i. - 26. septembra I9B8) imela v Portorožu tudi svojo redno sejo I.O. in zasedanja svojih komisij. Z željo, da bi naš bližnji vakuumski vrh čim bolje usppl, že sedaj obveščamo vso strokovno Javnost in posameznike, da pomislijo o tematiki za predstavitev in da vse tako organizirajo, da bo tudi referat pravočasno oddan.
10 DVTS
Strokovna ekskurzija v Edwards (VB)
Skupno z zastopstvom tovarne vakuumskih elementov In naprav Eriv^ards pripravlja DVTS ogled te znane tovarne oziroma njenih podružnic v Veliki Britaniji. Kot vse kaže, bo število obiskovalcev omejeno na manjšo skupino (20 -3C ljudi), termin pa bo najverjetneje sredina letošnjega septembra. Ne ve se še, kaj bo možno videti In kolikšna bo cena na osebo.
Interesenti naj se javijo na DVTS (mag. Monika Jenko, Andrej Pregelj), Teslova 3Ü, 61000 LJubljana, telefon (061) 263-461, kjer bodo dobili dodatne in nove informacije.
Rade Končar
Tovarna električnih naprav Rade Končar Iz Zagreba že nekaj let intenzivno dela ns razvoju vakuumskih stikal. V začetku še popoln^" neuki v vakuumu. Imajo njihovi sodelavci sedaj že kar nekaj pokazati.
S pomočjo Instituta R. Boškovič in lEVT so že izdelali veliko vzorcev in jih tudi že električno preizkušajo. Vakuumske tehnologije jim postajajo vse bolj domače in prav sedaj se Itoevajo še razvoja manjših vakuumskih peči za trdo spajkanje podsklopov njihovega stikala.
A.P.
IJ
Nagrada dr. Kanskega
Evropska vakuumska konferenca
Na svoji se[i 2. i. 1987 Je 10 DVTS sprejel sklep, da se osnuje nagrada - imenovana po našem letos preminulem Sastnem članu prof. dr. E. Kanskem, ki Je skoraj vse svoje življenje In delo posvetil razvoju vakuumske tehnike v Sloveniji In Jugosisvijl. Namen nagrade je vzpodbuditi predvsem mlajše vakuumiste, da se lotijo raziskovalnega in Inovacijskega dela še z veCjim zagonom kot doslej. Pobuda je bila z odobravanjem sprejeta tudi na seji 10 JUVAK 8. 4. 1987 v LjiAiljani. Dogovorjeno je bilo, da naj bi bila to jugoslovanska nagrada in bi se podeljevala vsaka tri leta na vakuumskih kongresih. Predlog pravilnika o podeljevanju in pridobivanju finančnih sredstev bo pripravil poseben odbor.
Nagrada Sklada Borisa KidriCa
Med letošnjimi nagrajenci Sklada Borisa Kidriča je tudi dolgoletni sodelavec DVTS In sedanji predsednik :UVAK - mag. Anton Zalar. Nagrado Je prejel za raziskave na področju analize globinskih profilov tankih plasti s spektroskopijo Augerjevih elektronov. Podajamo utemeljitev komisi-je:
toton Zalar je v zadnjih dveh letih sam in sodelavci objavil rezultate sistematičnih raziskav vplivov različnih eksperimentalnih parametrov na globinsko ločljivost profilne analize pri spektroskopiji Auger-Jevih elektronov. Pri tem je uporabil kot modelni sistem izmenično, desetslojno periodično tankoplastno strukturo Ni in Cr na podlagah z različnimi anplituda-ml hrapavosti. Raziskal je globinsko ločljivost vzorcev v odvisnosti od energije in vpadnega kota ionov, od razpršitvenega koeficienta, pojavljanja senčenja In redepozieije.
Na podlagi meritev je za izboljšanje globinske ločljivosti pri profilnl analizi prvi uvedel rotacijo vzorca med razprševanjem in dokazal, da je globinska ločljivost pri rotirajočih vzorcih z gladko površino neodvisna od globine jedkanja in da se izboljša za dva do štirikrat. Tudi pri hrapavih vzorcih je zaradi zmanjšanja z ioni induciranIh topografskih sprememb pri večjih globinah jedkanja nožno do dvakratno izboljšanje globinske ločljivosti.
Raziskave so pomembne za interpretacijo rezultatov profilne analize s spektroskopijo Augerjevih elektronov, ki omogoča širšo uporabo te metode za različne namene. Baziskave so zbudile zanünanje za avtorjeve metode dela tudi v tujini.
Mag. Zalar je iz omenjenega podorčja prav pred kratkim uspešno zagovarjal tudi doktorsko disertacijo. K obema dosežkoma Iskrene čestitamo.
Uredništvo
Skupno srečanje vakuumskih društev Evrope bo II. - 15. aprila l9flB na univerzi Sal ford v Manchestru v Angliji. Namen konference je predstaviti, kaj je novega v vakuumski znanosti, tehniki in praksi. Tematika bo naslednja:
1	- Meritve vakuuma in kallbracija
2	- Osnovni pojavi in reakcije v plazmi
3	- Računalniško načrtovanje in kontrola vakuumskih sis-
temov
4	- Vakuumske tehnologije za elektronske In optoelek-
tronske naprave
6	- Veliki vakuumski sistemi
7	- Pospieševalnlkl in naprave za fuzljo 6 - Primeri vakuumskih tehnologij
9 - Suho jedkanje.
Pričakuje se, da bo največ prispevkov o temah 2, 4 in 5. Strokovno znanstveni del (predavanja In postri) se bo pričel v ponedeljek 11. aprila, nato pa bo 13. aprila odprta še razstava. V dneh 13. - 14. aprila ho več izobraževalnih tečajev iz vakuumske tehnike.
Za informacije je treba pisati na naslov: The Meeting Officer, Institute of Physics, 47 Beigrave Square, London SWIX 8QX,
Mednarodna konferenca o obdelavi povi^in s plašno
Konferenca pod tem naslovom bo 19. - 23. sept. 1987 v Garmisch-Partenkirctinu (ZRN). Tematika bo naslednja:
-	Elementarni procesi v plazmi
-	Karkaterizaclja in preiskave tankih plasti In prekriti]
-	Nastajanje in optimlranje tankih plasti In prekriti j
-	Primeri uporabe.
Kdor želi sodelovati z referatom aH postrom, naj se obrne na tajništvo konference (Conference Secretariat): Deutsche Gesellschaft für Metall Kunde e.V.; Adenauerallee 21; D-6370 Otierursel, BRD.
Novo vodstvo lEVT
Za dobro delovanje DVTS In JUVAK, ki imata oba sedež na Inštitutu za elektroniko In vakuumsko tehniko, je ze-io pomembno, da Inštitut nalo dejavnost upošteva, da jo potrebuje, da JI j= naklonjen. V preteklem več kot desetletnem obdobju, ko je bil direktor dr. Avgust Belič, smo to lahko pogosto opazili. Sedaj Je odšel v pokoj in novi mož ob krilu Je že od januarja letos dr. Jože Fegeš. Naše delovanje ga je zelo zanimalo in zagotovil Je, da bo že vpeljane dobre odnose poskušal samo še Izboljšati. Želimo, da bi se v novem okolju dobro počutil, in pa da bi pri delu imel obilo uspehov.
Uredništvo
u
ICMC - 07
XXXI. jugoslovanska konferenca ETAN
Mednarodna konferenca o metalurških prekritjih, ki ]e
biia 23. do 27. marca 1987 v San Diegu (Kalifornija,
ZOA), je vsebinsko grupirala prispele referate v naslednja
tematska področja:
A - Prekritja za uporabo pri visokih temperaturah (korozijsko odporna prekritja in razvoj materialov, kontrola rege In visok o temperaturne obrabe, prekritja za zašSito pred toplotnim sevanjem)
B - Trda prekritja (procesi trdega prekrivanja, uporabe, karakterizacije trdih prekrltij, trda tribološka prekritja in spremembe na površinah)
C - Lastnosti tankih plast! v m ikro elektroni ki (tanke	ba-rlerne plasti, metalizacija za VL.SI, tanke plasti v industriji pakiranja, novi materiali in tehnologije,	po-strl študentov o mikroelektronikl)
D - Metode opisovanja prekrltij in sprememb na površinah (anallzne tehnike, tehnike opisovanja mikrostrukture, mehanske lastnosti tankih plasti, neporušne preiskovalne tehnike, opisovanje trdih prekriti])
E - Tribološka prekritja - spremembe na površinah (zmanjšanje trenja s prekritji in spremembami na površini, vpliv na erozijsko - korozijsko odpornost, zaščitna prekritja za različne okoliščine, teorija adhezije (vezave) in meritve prekritlj, trda tribološka prekritja In modificirane površine)
F - Industrijska oprema in uporaba (materiali za nanos in uporabne tehnologije: produkcijska oprema za nanos plasti, pomožna in osnovna oprema)
G - Posebrxjsti (tanke plasti za magnetno In optično shranjevanje podatkov, spremembe na površlnpn z direktnimi lon^imi curki).
Srezoljna predčrpaika
Firma Normetex America Inc. Iz ZDA obvešča v reviji Research & Development, da izdeluje novo črpalko ?a grobi vakuum: mode! PV-12, ki doseže cca I.IO'' mbar In to brez tekočega dušika al! pregrevanja sistema. Patentirana oblika polžastih spiral teče povsem brez olja. Črpa vse pline vključno vodik, helij in neon. Je kompaktna, tiha in povzroča manj tresenja kot običajna mehariska črpalka. Idealna Je za postopke, kjer ne želimo oljnih par oziroma ogljikovodikov v preostalih plinih (jedkanje z molekularnih curkom, analize površin, bazične raziskave v fiziki, naprševanje...).
V dneh od 1. do 5. junija Je na Bledu potekala XXXI. Jugoslovanska konferenca ETAN. Konferenco so orrianizirali Jugoslovanska zveza za ETAN, Elektrotehniška zveza Slovenije, Inštitut Jožef Stefan in Fakulteta za elektrotehniko Univerze E. Kardelja v Ljubljani.
Pokrovitelji konference so bili Izvršni svet skupščine SR Slovenije in Gospodarska zbornica Slovenije ob podpori številnih delovnih ornanizacij iz Slovenije.
Delo konference Je bilo zelo obsežno, saj Je potekalo v dvanajstih strokovnih komisijah, poleg pa Je bilo organiziranih še šest plenarnih zasedanj, večje število okroglih miz na zanimive teme ter eno posvetovanje na temo jedrski gorivni ciklus.
Zanimanje vakuumistov Je pritegnila vsebina dela predvsem v komisijah za fizikalno kemijo materialov, v komisiji za elektronske sestavne dele in materiale v elektroniki ter Jedrski tehniki in tehnolooljl.
Na konferenci Je bilo predstavljeno veliko število znanstvenih referatov, približno petsto, ki podajajo prerez znanstveno raziskovalnega dela na področju dela konference v obdobju enega leta.
Delo konference predstavlja pomemben prispevek k razvoju in afirmaciji znanosti v Jugoslaviji In v svetu.
A.B.
Naprave za mehanske pomike v vakuumu
Vedno več proizvajalcev vrhunske vakuumske opreme ponuja male pomožne enote, ki lahko opravljajo pomike v vakuumu samem. Koračni motorji in naprave za pretvorbo rotacije v Iranslacljo (pomične in tudi koordinatne mizice) so učinkovito nadomestilo za mehanske prenosnike gibanja v vakuumu od zunaj skozi steno. Za primer navajamo zmogljivosti takih napravic iz prospekta "Princeton Research Instrument":
-	delovanje motorja v vakuumu pri 5.10"'^ mbar
-	najvišja pregrevalna temperatura I5D°C
-	življenjska doba motorja: več milijonov obratov
-	motor se lahko namesti kjerkoli: možnost kombiniranih gibanj
-	motorje in pomične enote Je možno enostavno premontl-ratl, če to zahtevajo poizkusi
-	hitrost! In pozicijo mize lahko nastavljamo elektronsko na stikalni plošči
-	sistem Je Idealen vodenje z računalnikom.
VAKUUMIST - Glasilo Društva za vakuumsko tehniko Slovenije, Teslova 30, 6111 Ljubljana, Telefon 263-i61. Ureja Uredniški odbor: Andrej Pregelj, Monika Jenko, Peter Pavli, Borut Praček, Barbara Strnad, Vinko Nemanlč, Zalar Anton, Eva Perm an