2C0VT5XU5 XX •fy XV. VAKUUMIST ČASOPIS ZA VAKUUMSKO ZNANOST, T€HNIKO IN T€HNOlOGIJ€, VAKUUMSKO M6TALURGIJO, TANK6 PLASH, POVRSIN6 IN FIZIKO PIAZM€ UUßlJflNfl, OKTOßCR 99 L€TNIK 19, ST. 3, 1999 ISSN 0351-9716 UDK 533.5.62:539.2:669-982 PFEIFFER VACUUM SCAN d.o.o., zastopniško servisno podjetje Breg ob Kokri 7, 4205 Preddvor, Slovenija Tel. +386 64 458 020, Fax +386 64 458 0240 Our rotary vane pump for everyday industrial routine: fivefold safety all along the line. Pfeiffer Vacuum Austria GmbH Diefenbachgasse 35 A-1150 Wien Tel. +43-1-894-1704 Fax +43-1-894-1707 h tt p ://w w w. pf e i f f e r-va c u u m. d e office@pfeiffer-vacuum.at Our motto is: Better four times safe than one time sorry! Especially when it comes to the reliability of vacuum pumps in tough industrial routine. And that's precisely why we've implemented five, safety concepts in all our DUO 35/65 two-stage rotary vane models As a standard feature, of course! • Operating safety - with pressure oil lubrication of bearings and visual oil-level indicator • Process safety - through the integrated "high-speed" high vacuum safety valve • Integration safety - through maximum compatibility and a wide range of accessories • Service safety - by the use of high quality, hard-wearing components • Application safety - for all industrial applications in the rough and medium vacuum range to 10'^ mbar (special versions for corrosive gas and process technology on request) And to be completely on The safe side, we've added another advantage: the outstanding price/performance ratio of our rotary vane pumps. VSEBINA □ Zgodovina delovanja Društva za vakuumsko tehniko Slovenije - DVTS (J. Gasperič) □ DVTS - Društvo za vakuumsko tehniko Slovenije - 40 let (1959-1999) (A. Pregelj) □ Kratka zgodovina vakuumske tehnike (Razvoj raziskovanja vakuuma in vakuumskih društev) (S. Južnič) □ Vakuumska molekularna destilacija (B. Povh) □ O zgodovini vakuumske tehnike na Slovenskem (II. del) (S. Južnič) Obvestilo Naročnike Vakuumista prosimo, da čim prej poravnate naročnino za leto 1999. Cena štirih številk, kolikor jih bo izšlo v letu, je 2000,00 tolarjev SPONZORJI 40-LETNICE DVTS MEREL, d.o.o., Selnica ob Dravi TRM filtri, d.o.o., Ljubljana MDM, d.o.o. Ljubljana M&P BURJA, d.o.o., Krašnja ZVD, Zavod za varstvo pri delu, Ljubljana SPONZORJI VAKUUMISTA: Ministrstvo za znanost in tehnologijo Ministrstvo za šolstvo in šport PFEIFFER Vacuum Austria GmbH VAKUUMIST Izdaja Društvo za vakuumsko tehniko Slovenije Glavni in odgovorni urednik dr Peter Panjan Uredniški odbor mag Andre) Demšar, dr. Jože Gasperič (urednik za področje vakuumske tehnike in sistemov), dr Bojan Jenko, dr. Monika Jenko (urednica za področje vakuumske metalurgije), dr Stanislav Južnič. Janez Kovač. dipl. ing,, dr Ingrid Milošev dr Miran Mozetič, dr. Vinko Nemanič. Marjan Olenik. dr. Boris Orel. mag Andrej Pregelj, dr. Vasilij Prešern in dr Anton Zalar Lektor dr. Jože Gasperič Korektor Miha Čekada, dipl. mg. Naslov Uredništvo Vakuumista. Društvo za vakuumsko tehniko Slovenije. Teslova 30. 1000 Ljubljana, tel (061)177 66 00 Elektronska pošta: DVTS group@guest.arnes.si Domača stran DVTS http://www2 arnes.si/guesi/ljdvts/index.htm Številka žiro računa: Društvo za vakuumsko tehniko Slovenije. 50101-678-52240 Oblikovanje naslovne strani Ignac Kolol Grafična obdelava teksta: Jana Strušnik Tisk PLANPRINT. d.o.o.. Rožna dolina, c. IV/32-36. 1000 Ljubljana Naklada 400 izvodov ZGODOVINA DELOVANJA DRUŠTVA ZA VAKUUMSKO TEHNIKO SLOVENIJE - DVTS Jože Gasperič. Institut "Jožef Stefan", Jamova 39, 1000 Ljubljana The History of the Slovenian Society for Vacuum Technique (1959-1999) ABSTRACT In the paper the history of the Slovenian Society for Vacuum Technique and its previous organization, the Section for vacuum technique at the Electrotechnical society of Slovenia in the last 40 years is described Particular chapters are dedicated to its main activities education, publishing vacuum text books and the journal "Vakuumist (Vacuumist), organization of the professional meetings, excursions and visits to the well-known vacuum enterprises as well as organizing the participation of members in the International vacuum congresses, a collaboration with other vacuum societies and with the International Union for Vacuum Science, Technique and Applications-IUVSTA and some other more important activities POVZETEK V prispevku je opisana 40-letna zgodovina delovanja Društva za vakuumsko tehniko Slovenije-DVTS in njegove predhodnice. Sekcije za vakuumsko tehniko pri Elektrotehniškem društvu Slovenije. Posamezna poglavja so posvečena glavnim aktivnostim društva, kot so vzgoja in izobraževanje, izdajanje učbenikov in društvenega glasila, organizacija in izvedba strokovnih srečanj, ekskurzij in obiskov pri znanih vakuumskih podjetjih ter organizacija udeležbe na mednarodnih vakuumskih kongresih, sodelovanje s sorodnimi društvi m mednarodno organizacijo International Union for Vacuum Science. Technique and Applications - IUVSTA ter druge pomembnejše aktivnosti. Kongres je tako navdušil vse prisotne, da je predsednik ameriškega vakuumskega društva dr. Medard W. Welch na sestanku ob koncu kongresa (13. junija 1958) predložil ustanovitev mednarodnega komiteja, ki bi prirejal take kongrese v različnih državah. To je pripeljalo do nastanka mednarodne organizacije, imenovane International organization for vacuum science and technology (IOVST). Tedaj so imele le tri ali štiri države svoja lastna vakuumska društva (Francija od I. 1945. ZDA 1953 in Japonska 1958) oz. sekcije (Belgija,1954), zato so v to mednarodno organizacijo sprejemali tudi posameznike. Samo malo, da se spomnim., ahm !! lunin!!., v glavi ga imam....... Kaj je to vakuum? 1 UVOD Da bi laže razumeli vzgibe, ki so pripeljali pred 40 leti do ustanovitve Sekcije za vakuumsko tehniko pri Elektrotehniškem društvu Slovenije, se moramo v mislih vrniti v leto 1958 na 1. mednarodni kongres za vakuumsko tehnologijo, ki je bil od 10. do 13. junija v Namurju v Belgiji, v sklopu svetovne razstave v Bruslju. Glavni organizator te strokovne manifestacije je bil Belgijec, prof. Emile Thomas. Kongresa se je udeležilo nad 500 strokovnjakov iz 26 držav, med njimi so bili tudi trije mladi slovenski inženirji z Inštituta za elektroniko iz Ljubljane: E. Kansky, F. Lah in S. Jerič. 2 Ustanovitev sekcije za vakuumsko tehniko pri Elektrotehniškem društvu Slovenije Ob vrnitvi domov so omenjeni slovenski udeleženci 1 mednarodnega vakuumskega kongresa takoj zaceli pripravljati ustanovitev vakuumske organizacije v Sloveniji. Pod okriljem Elektrotehniškega društva Slovenije - EDS so že naslednje leto. 1959. ustanovili Sekcijo za vakuumsko tehniko . Njena prva naloga je bila povezati vse tedanje jugoslovanske vakuumiste v strokovno organizacijo. Na predlog slovenske sekcije je bil na VIII. plenumu Zveze strojnih in elektrotehniških inženirjev in tehnikov Jugoslavije - SMEITJ sprejet sklep, da se formira Jugoslovanski center za vakuumsko tehniko - JCVT, slovenski sekciji pa je bila zaupana organizacija 1. jugoslovanskega posvetovanja o vakuumski tehniki. To posvetovanje je bilo v Ljubljani od 20. do 22. oktobra 1960, ki se ga je udeležilo 120 strokovnjakov iz vse Jugoslavije, predstavljeno pa je 1 Niti v arhivu DVTS. JUVAK niti EDS m bilo mogoče najti datuma ustanovitve Sekcije za vakuumsko tehniko pri EDS. IOVST INTERNATIONAL ORGANIZATION FOR V \ci l M SCIENCE \M> TECHNOLOGY Slika 1: Profesor R. Tavzes in prof. dr. E. Kansky bilo 30 strokovnih del. 23. oktobra 1960 je bil na ustanovnem sestanku sprejet ustanovitveni akt in statut JCVT. Za prvega predsednika centra je bil izvoljen prof.dr. Dušan Lasič. Aktivnost JCVT in Sekcije je bila zelo velika, njuno delo pa se je tako prepletalo, da ga je danes težko ločiti, saj so bili pri tem gonilna sila isti ljudje. Uspelo jim je ne samo natisniti referate s posvetovanja v "Novi proizvodnji" (jan.1962), ampak so že začeli izdajati svoj BILTEN, ki je te referate v svoji 1. številki tudi objavil. Glavna naloga JCVT pa je bila ustanovitev vakuumskih sekcij v drugih republikah. Leta 1963 je uspela ustanovitev vakuumske sekcije v Srbiji, nato pa z več truda še na Hrvaškem (1966). V drugih jugoslovanskih republikah so se akcije vedno izjalovile. Mednarodna organizacija IOVST je na izredni generalni skupščini 8. decembra 1962 spremenila svoj statut, izločila individualno članstvo in tako postala mednarodna konfederacija nacionalnih vakuumskih organizacij in se preimenovala v International Union for Vacuum Science, Technique and Applications - lUVSTA s sedežem v Bruslju. Še istega dne je bila prva generalna skupščina, kjer je bilo zastopanih deset držav oz. njihovih nacionalnih vakuumskih organizacij, ki so tako postale ustanovne članice, med njimi tudi Jugoslavija, ki sta jo zastopala Evgen Kansky in Beno Zupančič. Prvi predsednik lUVSTA je postal M.W. Welch (ZDA), dr. Kansky pa odbornik. Po tedanjih jugoslovanskih predpisih pa centri, torej tudi JCVT. formalno niso mogli biti člani mednarodnih organizacij. Zato je SMEITJ 26. januarja 1963 v Beogradu sprejel sklep, da se Center preimenuje v Jugoslovanski komite za vakuumsko tehniko - JUVAK, ki je imel pravico, da se na temelju novega statuta včlani v mednarodno zvezo lUVSTA. Dne 18. aprila 1963 je JUVAK sporočil IUVSTA-i, da so izpolnjeni pogoji za polnopravno članstvo. Od tedaj dalje je bil JUVAK redni član. plačeval je članarino, imel zastopnika v Izvršnem odboru lUVSTA (dr. E. Kansky, 1963-74, dr. F. Lah, 1974-80, dr. J. Gasperič,1980-86. dr. A. Zalar. 1986-92, po osamosvojitvi Slovenije in sprejetju DVTS v lUVSTA pa dr. M. Jenko, 1992-98 in mag. A. Pregelj 1998- sedaj) in delegacijo na skupščinah, ki so jo vedno sestavljali slovenski vakuu-misti. člani DVTS. Sekcija za vakuumsko tehniko pri EDS se je na ustanovnem sestanku 16. oktobra 1972 formirala v samostojno Republiško društvo za vakuumsko tehniko SR Slovenije (statut je potrdil Republiški sekretariat za notranje zadeve 5.1.1973), vendar je še vedno ostala v sklopu EDS oz. Elektrotehniške zveze Slovenije, kar je še danes. Naše društvo se je po novem zakonu o društvih na izredni skupščini 25. januarja 1977 preimenovalo v Društvo za vakuumsko tehniko Slovenije -DVTS. uradna registracija pa je bila opravljena šele 29. septembra 1978. To ime društva je ostalo do današnjih dni. Z JUVAK-om pa se je registracija strašansko zamotala. Nova uredba je zahtevala, da lahko zvezo društev ustanovijo najmanj tri republiška društva. Imeli pa smo le dva: slovensko in srbsko, Hrvaška je imela sekcijo. Takrat je vzel zadevo v roke DVTS. Ukinjen je bil Jugoslovanski komite za vakuumsko tehniko, z veliko truda je bilo ustanovljeno Društvo za vakuumsko tehniko Hrvatske, tik pred blejskim 8. jugoslovanskim vakuumskim kongresom, tako da je bilo mogoče v skladu z zakonom 27. oktobra 1979 na Bledu ustanoviti Zvezo društev za vakuumsko tehniko Jugoslavije - JUVAK. Svoje soglasje na ustanovitev zveze pa ni dala Socialistična zveza delovnega ljudstva Jugoslavije. JUVAK je bil tako nepriznana zveza in sploh ni mogel delovati. Končno je uspelo predsedniku te zveze (dr. J. Gasperič) pridobiti odločujoče mnenje in priporočilo predsednika Znanstvenega sveta pri oboroženih silah Jugoslavije. Očitno se je tega SZDLJ "zbala" in takoj izdala soglasje. Dne 3. junija 1981 je bila Zveza društev za vakuumsko tehniko Jugoslavije registrirana pri Republiškem sekretariatu za notranje zadeve SR Slovenije kot pravna oseba. V vmesnem času je DVTS skrbel za JUVAK-ovo imovino, vse aktivnosti pa so se razvijale po republiških društvih. Kakorkoli že, JUVAK je bil vedno skrb (tudi po finančni plati) slovenskih vakuumistov, ki so dokazovali svojo sposobnost vodenja in tako ohranili vodilno vlogo, saj so bili od ustanovitve do konca vsi predsedniki iz vrst slovenske sekcije oz. DVTS (prof. dr. D. Lasič, dr. E. Kansky. dr. A. Belič, dr. J. Gasperič, dr. A. Zalar, dr. M. Jenko) prav tako njihovi najožji sodelavci, člani izvršnega odbora (sekretarji, blagajniki itd.), sedež pa je bil vedno v Ljubljani. Po razglasitvi samostojne države Slovenije (25. junija 1991) je bilo jasno, da se bo moral DVTS samostojno Slika 2: Prof. dr. Dušan Lasič in Rudi Jančar vključiti v lUVSTA. vendar je bilo prej potrebno, da izstopi iz JUVAK-a. kar je bilo storjeno na skupščini DVTS 6. marca 1992. Na 66. seji IO lUVSTA od 8. do 10. maja 1992 v Juan les Pins-u v Franciji sta bili slovensko in hrvaško društvo sprejeti v lUVSTA, vendar le kot opazovalca. Na generalni skupščini v Haagu 13. oktobra 1992 pa je bila Slovenija (DVTS) soglasno sprejeta kot polnopravna članica. DVTS je bil 20. januarja 1998 vpisan v register društev pri Upravni enoti Ljubljana, Sektor za upravne notranje zadeve, pod št. 836 Društvo za vakuumsko tehniko Slovenije je v vsej svoji 40-letni zgodovini nemoteno delovalo. Število članov je bilo v obdobju 40 let nad sto, zadnja leta okoli 150. Sedež društva, katerega začetki segajo v I. 1959. je bil vedno v stavbi sedanjega Inštituta za elektroniko in vakuumsko tehniko (IEVT) v Ljubljani, v Teslovi ulici 30 (od I. 1960 do 92 skupaj z JUVAK-om). Tu imamo od leta 1985 dalje majhno sobo za sestanke, administracijo in arhiv. Sodelovanje z IEVT-jem je bilo vedno dokaj uspešno (vendar ne brez nergaštva nekaterih nečlanov). saj mu je aktivnost naših članov na jugoslovanskem področju in v svetu odpirala vrata pri poslovnih zadevah, omogočala navezavo stikov s tujimi poslovnimi partnerji in promovirala njegovo dejavnost. Od 1.12.1995. ko je bil v isti stavbi z odcepitvijo od IEVT-ja ustanovljen Inštitut za tehnologijo površin in optoelek-troniko - ITPO, pa je sodelovanje med vakuumisti z obeh ustanov ostalo tako kot prej: zgledno in složno. V zgodovini društva so se vrstila bolj ali manj plodna oz. uspešna leta, kar bo bolj natančno razvidno iz nadaljnjega opisa dejavnosti. Društvo za vakuumsko tehniko Slovenije deluje predvsem na naslednjih področjih: 1 .vzgojno in izobraževalno delo - prirejanje tečajev, seminarjev, predavanj... 2.izdajanje učbenikov iz vakuumske tehnike 3.izdajanje društvenega glasila "VAKUUMIST" in predhodnika BILTEN JUVAK, kjer so objavljeni referati z vakuumskih posvetovanj in kongresov do I. 1990 4.organizacija strokovnih srečanj, domačih in mednarodnih (konference, kongresi, posvetovanja...) 5.sodelovanje s sorodnimi društvi in mednarodno organizacijo lUVSTA 6.organizacija strokovnih ekskurzij itd. 3 Vzgoja in izobraževanje 3.1 Vakuumski tečaji in seminarji Kmalu po ustanovitvi je začela Sekcija za vakuumsko tehniko pri EDS prirejati tečaje iz vakuumske tehnike. Prvi tak tečaj se je začel 15. marca 1960 in je trajal do 29. aprila 1960. Obsegal je 62 ur predavanj in 60 ur vaj. Zanimivo je, da je bil zelo tehnološko naravnan. Udeležilo se ga je 38 ljudi, in sicer 25 iz petih podjetij in 13 s štirih inštitutov. Bolj intenzivno izvajanje tečajev se je začelo po 1.1980, ko so že bila pripravljena predavanja v pisni obliki, ki so bila temelj za izdajo prvega zbornika OSNOVE VAKUUMSKE TEHNIKE I. 1981, ki je doživel še drugo izdajo I. 1984. Nasploh je bilo desetletje med 1980 in 90 najbolj plodovito. saj je bilo v tem času kar 21 tečajev, največ seveda osnovnih, bili pa so tudi tečaji za vzdrževalce naprav in posebej prirejeni, specializirani tečaji za delavce in strokovnjake iz različnih podjetij. Menimo, da smo v 40 letih delovanja društva izobrazili nad 900 udeležencev tečajev in seminarjev iz Slovenije. V tabelah 1 in 2 so navedeni glavni podatki o tečajih Sekcije oz. DVTS. 3.2 Vzgoja tehniških kadrov v šolah Leta 1961 je Sekciji uspelo, da je bil na Tehniški srednji šoli v Oddelku za elektrotehniko v 4. letniku uveden predmet vakuumska tehnika po eno uro na teden. Pouk je trajal le bori dve leti in je bil prekinjen zaradi nerazumevanja tedanjega vodstva IEVT, ki ni imelo Slika 3: Dr. Vinko Nemanič s tečajniki na vajah Slika 4: Praktičen prikaz na tečaju v Gorenju, Velenje posluha za vzgojno in izobraževalno dejavnost. Trije učenci te šole so diplomirali s področja vakuumske tehnike, drugi (okoli 100) pa so dobili solidno znanje iz osnov. Predavatelji so bili dr. F. Lah, J. Gasperič in J. Višnar. Hja! Se pozna, da je njegova specialnost 'Л vakuuin... Na njegovih predavanjih je predavalnica vedno prazna... r\ Med letoma 1975 in 78. tj. do registracije DVTS, je strokovno delo v sekciji skoraj popolnoma zamrlo. Čeprav smo bili tedaj vsi prepričani, da lahko dvignemo tehnično kulturo v Sloveniji in Jugoslaviji le s stalnim izobraževanjem in vzgojo, predvsem mladih, pa očitno ni bilo niti prave volje niti družbenega posluha za to dejavnost. Dr. Kansky. ki je bil od vsega začetka pospeševalec vakuumistike, nezlomljivi borec za uresničenje svojih in naših vizij, je že I. 1980 razmišljal o tretjestopenjskem študiju vakuumistike na univerzi. Uspelo mu je. da je bil I. 1986 uveden te vrste študij na Tehniški visoki šoli, na oddelku za elektrotehniko, sedaj Univerzi v Mariboru, Fakulteti za elektrotehniko, računalništvo in informatiko. Tretjo stopnjo iz Elektronske vakuumistike je tedaj vpisalo 18 podiplomcev, skoraj polovica je ta študij končala, nekateri izmed njih pa so v naslednjih letih dosegli naslov doktorja znanosti. Danes sicer formalno še obstaja ta vrsta študija, vendar je podiplomcev malo, kajti druge tehnične specialnosti so v zadnjih letih postale bolj privlačne in obetavne za podiplomce. Tudi na Fakulteti za elektrotehniko Univerze v Ljubljani so bila uvedena predavanja iz vakuumistike na prvostopenjskem študiju v okviru sklopa predavanj iz mikro-elektronskih tehnologij (1989 -1996). 3.3 Društveni večeri z diapozitivi IUVSTA Tudi Mednarodna unija za vakuumsko znanost, tehniko in uporabo - IUVSTA se je že od vsega začetka svojega delovanja zavedala, da morajo predavatelji vakuumske tehnike med svojim izvajanjem uporabljati učinkovita vizualna sredstva. Ustanovljen je bil celo poseben komite za vzgojo, ki je pripravil tematske zbirke diapozitivov. Društvo je I. 1981 kupilo 287 diapozitivov, in sicer iz osnov vakuumske tehnike 40, iz merilnikov in meritev 35, vakuumskih črpalk 68, analizatorjev residualnih plinov 109 in vakuumskega na-parevanja 35. Že naslednje leto je organiziralo njihovo predvajanje. Tako so bili večeri z diapozitivi, posprem-Ijeni s komentarjem, in sicer o črpalkah 26.2. in 4.3. 1982 (J. Gasperič), 12.1.1983 iz osnov (B. Povh), 11.5.1983 o sorpcijskih črpalkah (B. Erjavec), analizatorji so bili v oktobru 1984 (R. Zavašnik) in merilniki 2.7.1985 (B. Povh). V splošnem so bili ti večeri slabo obiskani in s tem se društvo ne more pohvaliti. Pri izvajanju tečajev pa so predavatelji uporabljali to tehniko kot dopolnilo svojim predavanjem. V letu 1998 je društvo kupilo pri IUVSTA deset zvezkov obnovljenih tekstov in risb na presojnicah. Te nove pripomočke predavatelji že koristno uporabljajo na tečajih. 4 Izdajanje učbenikov iz vakuumske tehnike Do leta 1981 Slovenci nismo imeli nobenega učbenika za vakuumsko tehniko v materinem jeziku. Prirejanje tečajev pa je zahtevalo, da izrečena beseda na njih ostane tudi zapisana. Takrat smo si pomagali s tem. da so predavatelji razdelili poslušalcem ciklostirane zapiske svojih predavanj, kar je bil le izhod v sili, predvsem pa so bili ti zapiski nepraktični. V začetku je celo med nekaterimi predavatelji prevladovalo mnenje, da še ni prišel čas za izdajo zbornika predavanj, ker se vakuumska tehnika prehitro razvija in spreminja. Vendar je le prevladala struja. ki je menila, da brez učbenika ni mogoče izvajati kvalitetnega pouka, pa tudi slušateljem bo kasneje knjiga bolj koristila kot kup ciklostilnega papirja. Končno so bile konec aprila 1981 "na svitlu dane" OSNOVE VAKUUMSKE TEHNIKE - Zbornik predavanj s 176 stranmi in v nakladi 500 izvodov, in vsi smo bili veseli tega dogodka, tudi omenjeni skeptiki. V njem je s prispevki sodelovalo deset slovenskih vakuumskih strokovnjakov. Ker se je prav tedaj začelo intenzivno prirejanje tečajev in ker je bila ta knjiga prva tovrstna pri nas, je hitro pošla. Že tri leta kasneje (1984) smo pripravili novo izdajo, ki je izšla januarja 1985. Tudi ta je že pošla in sedaj pripravlja društvo že sedem (!) let (od I. 1992) novo knjigo VAKUUMSKA TEHNIKA, medtem ko smo junija 1993 v zelo kratkem času pripravili knjigo VAKUUMSKA TEHNIKA ZA SREDNJEŠOLSKE PREDAVATELJE. Naša želja je bila. da bi na posebnih tečajih navdušili srednješolske profesorje naravoslovnih predmetov, da bi med svoja predavanja in laboratorijske vaje uvrstili tudi vakuumsko tehniko. To bi zelo koristilo učencem, saj je tega znanja v splošnem premalo. Pri publicistični dejavnosti društva pa smo imeli tudi "nesrečno roko". Vsi rokopisi so že bili pripravljeni za izdajo zbornika predavanj VAKUUMSKE TANKE PLASTI, ki bi bil velika opora pri tečajih s tega področja, pa je manjkal le uvodni del o nastajanju in rasti vakuumskih tankih plasti. Čas je naredil svoje, teksti so zaradi hitro se razvijajoče tankoplastne tehnologije kmalu zastareli in bilo bi jih treba posodobiti, vendar je zmanjkalo ustvarjalnega navdušenja. Izšla je le drobna knjižica (61 strani) NASTAJANJE IN RAST VAKUUMSKIH TANKIH PLASTI (1990) avtorja, tedaj že pokojnega prof.dr. Evgena Kanskyja v priredbi dr. Petra Panjana. Končno sem v knjižnici našel zate učbenik s področja vakuuma!! Toda /al je \ nekem tujem jeziku.. Leta 1996 smo izdali VAKUUMSKO TEHNIKO ZA VZDRŽEVALCE NAPRAV. I. 1998 pa še zbornik predavanj NETESNOST SISTEMOV IN NAPRAV. Celoten spisek strokovnih publikacij DVTS je podan v tabeli 3. 5 Društveno glasilo "VAKUUMIST"-Časopis za vakuumsko znanost, tehniko in tehnologije, vakuumsko metalurgijo, tanke plasti, površine in fiziko plazme Prva številka VAKUUMISTA je izšla 29. septembra 1981 v 200 izvodih. Uredil jo je A. Pregelj, uvodnik pa je napisal dr. F. Lah, tedanji predsednik DVTS. v katerem je najprej razložil, po kakšnih zapletih in anketah so prišli do imena glasila. V nadaljevanju pa je obljubil, da bo glasilo prinašalo informacije o strokovnih dosežkih doma in na tujem, o tečajih in vzgoji kadrov, o strokovnih prireditvah, utrinkih in utripanju vakuumske tehnike po delovnih organizacijah, o delu DVTS in Zveze društev za vakuumsko tehniko Jugoslavije-JUVAK. strokovne članke in slikovne priloge. VAKUUMIST naj bi izhajal 2- do 4-krat letno. Vse, kar je bilo napovedano, se je tudi bolj ali manj uresničevalo, s tem da se je težišče premaknilo v objave strokovnih prispevkov. Do danes, tj. v 19 letih, je izšlo 56 zvezkov, od teh jih je uredil mag. A. Pregelj 21 (1981-90), dr. P. Panjan pa 35 (1991-zdaj). Sedaj je to glasilo že kar ugleden znanstveno-strokovni časopis, ki pa zahteva ogromno trdega dela, volje in upornosti, iznajdljivosti in potrpežljivosti glavnega urednika. Glava prve številke je prikazana na sliki 6, v tabeli 4 pa so zbrani podatki o izhajanju. VAKUUMIST je z leti dobival vse lepšo "obleko". Iz prve ciklostirane izvedbe je prešel s 16. številko v novo obliko, kasneje v še bolj novo, in Slika 5: Dr. F. Lah v svojem laboratoriju končno je v tem jubilejnem letu društva dobil barvni ovitek. Izdajanje VAKUUMISTA in pošiljanje na 300 naslovov pa tudi nekaj stane. Društvo ne bi zmoglo vseh stroškov, zato so priskočili na pomoč sponzorji, kot so Ministrstvo za znanost in tehnologijo, Ministrstvo za šolstvo in šport ter nekatera podjetja. Vsem smo iskreno hvaležni. Finančne zagate smo v prvih letih premagovali z dohodki od izobraževalnih tečajev, sedaj pa z objavljanjem reklamnih oglasov. Vloga VAKUUMISTA je vsestranska, ne samo znanstvena in strokovna, ampak tudi družbena in družabna. Z neko nevidno silo nas druži, spodbuja in povezuje. Moje osebno mnenje je. da bi se društvo razvodenelo in razšlo, če bi VAKUUMIST prenehal izhajati. 1] september 1981 GLASILO DRUŠTVA ZA VAKUUMSKO TEHNIKO SLOVENIJE Slika 6: Naslovnica prve številke VAKUUMISTA. ki /e izšel 29.9.1981 -агЗвГ" OČKA!! NAMESTO I» LAY BOY A SEM TI KUPIL VAKUUMISTAÜ MAMI PRAVI, DA SO V ffr.---v NJEM LEPŠE SLIKICE VRKUUHISr kar zajetni in nekako od leta 1971 dalje samo strokovni, v njih ni bilo "povezovalnih" elementov med društvi in njihovimi člani, saj so to vlogo prevzela društvena glasila, npr. VAKUUMIST v Sloveniji, VAKUUMSKA TEHNIKA v Srbiji. Z osamosvojitvijo Slovenije in razpadom JUVAK-a je ugasnil tudi BILTEN. V tabeli 5 lahko spremljamo njegov življenjski tek. Glasilo VAKUUMIST zamenjujemo z naslednjimi revijami: VZDRŽEVALEC, VARILNA TEHNIKA. STROJ NIŠKI VESTNIK, INFORMATIKA, VUOTO, VAKUUM und PRAXIS ter FIZIKA. Kmalu bomo nabraü dovolj denarja za organizacijo копГегепсе i* POMAGAJTE DRUŠTVI' SLEPIH VAKUUMISTOV VAUU!!! A VMK listo lepotico na levi??!! VAUUUUÜ 6 BILTEN JUVAK in slovenski vakuumisti Slovensko Sekcijo za vakuumsko tehniko, kasneje DVTS, in Jugoslovanski center za vakuumsko tehniko-JCVT (kasneje Jugoslovanski komite za vakuumsko tehniko in še kasneje Zvezo društev za vakuumsko tehniko Jugoslavije) so vodili praktično isti ljudje. Zato se je strokovno delo, predvsem v prvih letih, tako prepletalo, da ga je bilo težko ločiti. Nekatere akcije društva so imele bolj slovenski značaj, druge bolj jugoslovanski. Kmalu po ustanovitvi Jugoslovanskega centra za vakuumsko tehniko (23.10.1960) s sedežem v Ljubljani je vzniknila ideja, da bi referate iz prvega jugoslovanskega posvetovanja o vakuumski tehniki, ki je bilo od 21 .do 23. oktobra 1960 v Ljubljani, tudi natisnili. Res so bili natisnjeni v januarski številki "NOVE PROIZVODNJE" I. 1962, pa tudi v BILTENU Centra, ki nosi sicer letnico 1961, vendar se iz arhivskih dokumentov točnega datuma izida ne da ugotoviti. Pomembno je dejstvo, da se je začela publicistična dejavnost, ki naj bi povezovala slovenske in druge jugoslovanske vakuumiste. Prvih 14 številk je izšlo v Ljubljani od leta 1961 do 1973, nato paše 17. in zadnja, 24. številka leta 1990. BILTEN je nekaj začetnih let (najmanj pet) urejeval prof.dr. Branko Kozina. Poglavitna vsebina so bili referati z vakuumskih kongresov, zato so bili ti BILTEN-i 7 Vakuumska posvetovanja in kongresi Leto dni po ustanovitvi Sekcije za vakuumsko tehniko pri EDS je bilo organizirano v Ljubljani 1. jugoslovansko posvetovanje o vakuumski tehniki (20.-23. oktober 1960), združeno z ustanovitvijo Jugoslovanskega centra za vakuumsko tehniko (23.10.1960), kjer je bilo tudi sklenjeno, da bo njegov sedež v Ljubljani, prvi predsednik pa je postal prof. dr. Dušan Lasič. Od tedaj dalje pa do konca skupne države je ostal sedež te asociacije, ki je sicer dvakrat spremenila svoje ime, v Ljubljani, kar je dejansko vsesplošno priznanje za delo naših vakuu-mistov in za prepletenost aktivnosti med Sekcijo oz. DVTS in JUVAK-om. V naslednjih letih sta bili še dve posvetovanji (10,-11.3.1964) v Beogradu in (26.-27.9.1966) Zagrebu. Slovenski vakuumisti smo nato organizirali vrsto jugoslovanskih kongresov (Opomba. Kongresi so se imenovali zato, ker so bili združeni s skupščinami JUVAK.), in sicer 4. na Bledu (10.-11.10.1968), 5. v Portorožu (13.-15.5.1971), 6. v Postojni (16.-18.5.1973), 8. na Bledu (25.-27.10.1979) in zadnjega. 11., v Gozdu Martuljku (17.-20.4.1990). Po razpadu Jugoslavije in z njo tudi Zveze društev za vakuumsko tehniko Jugoslavije se je začelo novo obdobje Slovenskih vakuumskih posvetovanj, ki so se vrstila od 1.1992 dalje vsako leto jeseni v sklopu posvetovanj o metalurgiji in kovinskih gradivih, nazadnje imenovanih Konference o materialih in tehnologijah, ki so bile vedno v Portorožu. Letos je že 19. vakuumsko posvetovanje. V celotni zgodovini slovenske vakuumistike smo organizirali 14 vakuumskih posvetovanj oz. kongresov in eno o netesnosti sistemov in naprav 22.10.1997 v Ljubljani. Potek teh prireditev je razviden iz tabele 6. 7.1 Kanskyjeve nagrade Pobudnik organiziranega strokovnega gibanja in izobraževanja strokovnjakov ter vzgoje mladih s področja vakuumske tehnike in tehnologij ter ustanovitve Sekcije To |e njena TOP SECRET. Podobno kot letnica Izida Biltena št.l H mm?! Koliko jc stara lale Icpotica? za vakuumsko tehniko pri EDS, kasneje DVTS. ter JUVAK-a, prof. dr. Evgen Kansky je preminil 24. marca 1987. V spomin na njegovo izjemno pomembno delo je Izvršni odbor DVTS sprejel 2.4.1987 sklep o Nagradi prof.dr. E. Kanskyja. ki naj bi jo podeljevali vsake tri leta na jugoslovanskih vakuumskih kongresih avtorjem najboljših prispevkov. Izdelan je bil ustrezen pravilnik. Prvič je bila nagrada podeljena 20. aprila 1990 na 11. jugoslovanskem vakuumskem kongresu v Gozdu Martuljku. Prejela sta jo Peter Panjan z Instituta "Jožef Stefan" iz Ljubljane in Hrvoje Zore z Instituta Rudjer Boškovič iz Zagreba. Z razpadom JUVAK-a je tudi akcija zamrla, z novo organiziranostjo vakuumskih konferenc v okviru portoroških konferenc o materialih in tehnologijah ali drugje pa še ni oživela. 8 Združene vakuumske konference treh oz. štirih dežel V svojem sestavku Vtisi z 9. mednarodnega vakuumskega kongresa (Madrid, 26.9.-1.10.1983), objavljenem v VAKUUMISTU št. 5, nov. 1983, opisuje dr. Kansky srečanja z nekaterimi osebnostmi, med drugim tudi z novim predsednikom lUVSTA prof.dr. J. Antalom iz Budimpešte, in dobesedno navaja njegove besede: " Hvala za čestitke. Mimo zadolžitev v zvezi z lUVSTA si bom močno prizadeval, da dvostranske vakuumske simpozije Madžarske in Avstrije razširimo z vključitvijo Jugoslavije na tristranske v smislu naših zares dobrih sosedskih odnosov. Pomagajte mi. da bi steklo že v letu 1984!" V Budimpešti je bil 5.3.1984 podpisan sporazum o sodelovanju med DVTS in društvom za fiziko Madžarske Roland Eötvös. Z naše strani je sporazum podpisal predsednik DVTS. mag. A. Zalar, z madžarske pa je bilo podpisnikov več, med njimi tudi prof.dr. J. Antal. Takrat je bila ponovno obujena ideja, da bi k sodelovanju Madžarske in Avstrije pristopila tudi Zveza društev za vakuumsko tehniko Jugoslavije-JUVAK. kar se je kasneje tudi res zgodilo, in 7.-9. oktobra 1985 smo že imeli skupno konferenco zdaj že treh dežel v Debrecenu na Madžarskem. Leta 1995 pa smo že imeli konferenco štirih dežel, in sicer Madžarske. Avstrije, Slovenije in Hrvaške. Kako so si sledile te konference, je razvidno iz tabele 7. Naslednje leto bo organizator 8. združene vakuumske konference Hrvaško vakuumsko društvo in bo v Puli. "Zlobni" šaljivci so večkrat namigovali, da je to konferenca vakuumistov iz "Avstro-Ogrske monarhije". Res pa je, da je bilo v začetnih letih čutiti "pomanjkanje" vakuumskih konferenc v srednjeevropskem prostoru, saj so bile mednarodne konference oz. kongresi lUVSTA le vsake tri leta. Ker pa z našimi združenimi konferencami nismo mogli "nasititi" hitro se razvijajoče Evrope (pa čeprav so na teh konferencah lahko nastopali tudi udeleženci iz drugih držav), so se leta 1988 začele Evropske vakuumske konference (prva je bila 11.-15.4.1988 v Manchestru. Anglija). Naše združene konference so kljub temu ostale s številno udeležbo. Referate s teh konferenc natisnejo v angleški reviji VACUUM, kjer sodelujemo kot recenzenti in gostujoči uredniki. 9 Strokovna srečanja slovenskih in hrvaških strokovnjakov s področja vakuumske tehnike in tehnologij Tudi po osamosvojitvi Slovenije in po razpadu Zveze društev za vakuumsko tehniko Jugoslavije je naše društvo ohranilo zgledno strokovno sodelovanje s sosednjimi društvi, med katere spadajo Hrvaška. Avstrija in Madžarska, ter mednarodno zvezo lUVSTA Dokaz za to so redne združene konference vseh teh dežel od I. 1985 dalje in dodatno še srečanja naših in hrvaških strokovnjakov vsako leto, ki so se začela I. 1993 in so izmenoma v Sloveniji in na Hrvaškem ali pa neformalno na prizorišču združene konference, kot je bilo 1.1997 v Debrecenu na Madžarskem. V tabeli 8 so navedeni datumi in kraji teh srečanj. Tudi zunaj tega ohranjamo najboljše kolegialne odnose in sodelovanje, ki so lahko zgled politikom obeh strani. Razen strokovnega dela so srečanja povezana z obiski in ogledi vakuumskih tehnoloških laboratorijev, zraven tega pa imajo tudi družabni značaj. Referati s teh srečanj so objavljeni v revijah FIZIKA, STROJAR-STVO (Zagreb) ali KOVINE ZLITINE TEHNOLOGIJE (Ljubljana). 10 Sodelovanje z mednarodno organizacijo lUVSTA V prvih poglavjih smo kratko navedli, kako so potekali dogodki v zvezi z ustanovitvijo mednarodne vakuumske organizacije IOVST leta 1958 v Namurju v Belgiji, ki je botrovala ustanovitvi Sekcije za vakuumsko tehniko pri Elektrotehniškem društvu Slovenije 1.1959. IOVST se je leta 1962 preimenovala v Intenational Union for Vacuum Science. Technique and Applications - lUVSTA. Med desetimi ustanoviteljskimi nacionalnimi vakuumskimi organizacijami je bil tudi tedanji Jugoslovanski komite za vakuumsko tehniko, ki so ga vodili slovenski vakuumisti in ki so bili od vsega začetka v tej mednarodni organizaciji tudi člani izvršilnih odborov, komitejev m sekcij. Ni namen tega poglavja opisovati organiziranost in delovanje lUVSTA. omenimo naj le, da jo danes sestavlja 35 držav oz. njihovih nacionalnih društev, med katerimi je tudi DVTS. ki je delno nadomestilo in delno nasledstvo bivše Zveze društev za vakuumsko tehniko Jugoslavije. Sej Izvršnega odbora lUVSTA, njenih komitejev in sekcij, ki so navadno v različnih državah članicah (pogosto v povezavi z neko vakuumsko prireditvijo), se je lahko zaradi omejenih finančnih možnosti udeleževal le en naš zastopnik, ki je vzporedno deloval tudi na sejah komitejev in sekcij. Naši zastopniki v lUVSTA so npr. aktivno sodelovali v komitejih, kot so: za izobraževanje (dr. Gasperič, 1983-86: dr. M. Jenko. 1998-2001), za povezavo (liaison committee - dr. Gasperič, nam. preds., 1983-86; dr. Zalar. sekretar. 1986-92) ter za koordinacijo med lUVSTA in drugimi organizacijami, npr. z Mednarodno organizacijo za standardizacijo -ISO (dr. Zalar, predsednik od 1989 dalje), koordinacija dejavnosti lUVSTA v odboru za države v razvoju pa je bila zaupana dr. Moniki Jenko (predsednica 1995-1998), ki je sedaj tudi članica Komisije za Welcheve štipendije (1998-2002). Nekoliko bolje je bilo na mednarodnih kongresih, ki jih prireja lUVSTA vsake tri leta v drugi državi in kjer je Slika 8: Naša delegacija ob sprejemu DVTS v lUVSTA, Haag 1992 navadno tudi skupščina z volitvami novih odbornikov. Na teh skupščinah so vedno sodelovale naše tričlanske delegacije. V Sloveniji, prej pa tudi v Jugoslaviji, smo le trikrat gostili seje Izvršnega odbora lUVSTA (Zagreb 1966, Portorož 1988. Bled 1995). V obdobju od 1998 do 2001 so naši zastopniki pri lUVSTA: v Izvršnem odboru mag. A. Pregelj, namestnica je dr. M. Jenko, v sekcijah pa so naslednji naši zastopniki: dr. J. Gasperič (elektronski materiali), dr. P. Panjan (vakuumska metalurgija), dr. A. Zalar (znanost o uporabnih površinah), dr. M. Jenko (znanost o površinah), dr. V. Nemanič (vakuumska znanost), mag. A. Demšar (tanke plasti), dr. A. Prodan (nanometrija). dr. M. Mozetič (znanost in tehnologija plazme). 11 Strokovne ekskurzije Aktivnost slovenskega vakuumskega društva in JU-VAK-a, ki smo ju vodili v Ljubljani, se je kazala tudi pri drugih uspešnih organizacijah. Mednje spadajo strokovne ekskurzije in obiski ter organizirana udeležba na mednarodnih vakuumskih kongresih. Prva taka akcija našega društva in JUVAK-a je bila organizacija udeležbe na 3. mednarodnem vakuumskem kongresu v Stuttgartu I. 1965 s 16 udeleženci, predstavili pa smo tudi štiri referate. V naslednjih letih je DVTS organiziral podobno udeležbo na naslednjih kongresih: Cannes, Francija, 1980; Madrid, Španija, 1983; Baltimore. ZDA, 1986; Haag, Nizozemska. 1992. Še večje zanimanje pa je bilo za obiske pri znanih in uveljavljenih vakuumskih proizvajalcih v Evropi. Tako smo se podali v Hanau in Köln (Nemčija) k podjetju Leybold Heraeus,1984. k Balzersu v Liechtenstein, 1986 (skupaj s hrvaškimi kolegi, ki so bili organizatorji), pa še k Edwardsu v Anglijo. 1987, Varianu v Torino. 1995. SAES GETTERS-u v Milano 1996 in v sinhrotron ELETTRA v Bazovico pri Trstu. 1998 (Italija). Tudi domača podjetja so bila za člane društva dovolj zanimiva, da smo jih obiskali (SATURNUS. 1987,1991. 1998; IMT, 1992, Iskra-Center za elektrooptiko. 1992. zamejski MIPOT-Krmin. 1984). Podatki o tem so zbrani v tabeli 9. V tem pregledu ne nameravamo opisovati organizacijskih podrobnosti in težav, predvsem finančnih, ker bi se preveč oddaljili od zgodovinskega orisa. Ugotavljamo lahko le, da je bilo društvo dovolj sposobno, da je izpeljalo tudi take naloge, ki so bile v interesu njenih članov. Slika 7: Obiskali smo sinhrotron "Elettra" v Bazovici pri Trstu (16.6.1998); na levi sedanji predsednik DVTS mag. A. Pregelj 12 Druge pomembnejše aktivnosti DVTS Vseh aktivnosti društva v 40 letih ni mogoče zajeti na kratko, zato smo se osredotočili le na nekatere glavne, ki so navedene v tabeli 10. Poleg organizacije predavanj uglednih vakuumskih strokovnjakov naj omenimo še organizacijo sej Izvršnega odbora lUVSTA na našem ozemlju (Brdo pri Kranju, 1995) ter v povezavi z JUVAK-om v preteklih letih (Zagreb. 1966, Portorož 1988). Za člane DVTS. predvsem predavatelje na tečajih in seminarjih, je bil organiziran tečaj iz retorike (feb.1998) z namenom, da bi bila njihova predavanja iz vakuumske tehnike še bolj kvalitetna in zanimiva za poslušalce. Društvo je za svoja prizadevanja prejelo številne pohvale, dobilo pa je tudi priznanje matične občine Ljubljana Vič-Rudnik za izobraževalno dejavnost v preteklih letih (1985). Jeseni 1998 je društvo pridobilo status ustanove, ki deluje v javnem interesu na področju znanosti in tehnologij od Ministrstva za znanost in tehnologijo. Posamezniki iz društva so bili imenovani za častne člane Elektrotehniške zveze Slovenije (M. Jenko, A. Pregelj, J. Gasperič, A. Zalar) in Zveze društev za vakuumsko tehniko Jugoslavije (F. Lah. 1983; E. Kansky, 1986: J. Gasperič, 1990). V zadnjih letih je DVTS predstavljen tudi na internetu na domači strani (httpV/www2.arnes.si/guesVljdvts/index.htm) z zelo privlačno prvo stranjo in mnogimi zanimivimi podatki ter novicami v slovenščini in angleščini. Predstavitev je pripravil Marjan Drab, ki jo sedaj skrbno dopolnjuje z novimi in aktualnimi podatki in informacijami. ZAHVALA Iskreno se zahvaljujem sodelavcem, članom DVTS. ki so pregledali osnutek Zgodovine in predložili nekatere spremembe in dopolnitve, ki sem jih v celcti upošteval. Posebno zahvalo dolgujem prof. dr. Samu Kralju, ki je s svojimi karikaturami popestril to "resnobno" zgodovinsko besedilo. 13 Tabele Tabela 2: Število udeležencev na tečajih v posameznih letih od 1980 do 1998 Leto/ tečaj 0 D S V VH VTP Seminar LH 1980 40 1981 64 1982 16 1983 33 17 50 1984 31 1985 58 1986 55 18 1987 95 14 100 11988 68 11989 44 1990 11 1991 11 23 1992 7 8 1993 7 10 1994 10 10 9 1995 13 10 1996 34 1997 20 1998 9 14 1999 Skupaj 572 20 86 50 14 117 50 (skupaj 909) Tabela 4. Izhajanje glasila Društva za vakuumsko tehniko Slovenije "VAKUUMIST" Letnik Leto Število zvezkov Urednik 1 1981 1 A. Pregelj 2 1982 2 3 1983 2 4 1984 2 5 1985 2 6 1986 3 7 1987 2 8 1988 2 9 1989 3 10 1990 2 11 1991 4 P. Panian 12 1992 4 13 1993 4 14 1994 4 15 1995 4 16 1996 4 17 1997 4 18 1998 4 19 1999 (do sept.) 3 Tabela 1. VAKUUMSKI TEČAJI IN SEMINARJI Oznake tečajev: O Osnove vakuumske tehnike D Delavnica: Vakuumska tehnika za srednješolske predavatelje S Specializirani tečaj v podjetju V Vakuumska tehnika za vzdrževalce naprav VH Vakuumska higiena in čisti prostori VTP Vakuumske tanke plasti Čas tečaja oz. seminarja Vrsta Število udeležencev 15. marec-29. april 1960 0 38 8. julij-12. julij 1960 0 1. april-3. april 1970 0 (za Slovence) 15. april-17. april 1970 0 (za druge Jugoslovane) pomlad 1974 S Iskra-Žarnice jesen 1974 S Iskra-Žarnice, vzdrževalci 1975 O 19. maj-6. junij 1980 0 IEVT40 12. januar-14. januar 1981 0 38 19. oktober-21. oktober 1981 0 26 2. november-4. november 1982 0 16 19. april 1983 Seminar Leybold-H 50 20. junij -24 junij 1983 VTP IEVT 17 15. november-17. novemb 1983 O 33 8. maj -10. maj 1984 0 31 8 januar -10. januar 1985 0 27 5. november-7. november 1985 0 31 28. januar - 30. januar 1986 0 29 konec apnla-3dni 1986 S(V) Gorenje servis 18 27 maj -29. maj 1986 0 26 13 januar -15. januar 1987 0 22 10. februar-12. februar 1987 0 28 19 maj-21.mai 1987 0 23 1987 VH IEVT. 14 20 oktober-23. oktober 1987 0 22 1987 - seminar VTP Saturnus. 100 12 januar-14. januar 1988 0 21 7. junij - 9. junij 1988 0 21 18. oktober-20. oktober 1988 0 26 14. februar-16. februar 1989 O 23 6. junij - 8. junij 1989 O 11 14.november-16.novemb. 1989 0 11 22. oktober-25. oktober 1990 0 11 20. marec - 21 marec 1991 v 13 23. oktober-25. oktober 1991 0 11 13. november-14. novemb. 1991 v 10 19. maj-20. maj 1992 v 8 3. november-5. november 1992 0 7 15. junij -16 junij 1993 0 7 9 september-11. septem.1993 D 10 22. marec-24. marec 1994 0 10 15. september-17. sept. 1994 D 10 15. november-17. novem. 1994 V 9 10 november-12. novem. 1995 O 13 28 november-29. novem. 1995 V 10 22 november-23. novem. 1996 S Gorenje-Veienje. 34 20 november 1997 S Saturnus. dif črp. 20 26. marec - 27. marec 1998 S Danfoss. Trata 14 2. junij-4. junij 1998 0 9 Tabela 3. Strokovne publikacije Društva za vakuumsko tehniko Slovenije Publikacija mesec in leto izdaje urednik št. izv. str. 1. OSNOVE VAKUUMSKE TEHNIKE (Zbornik predavanj) april 1981 J. Gasperič 500 176 2. OSNOVE VAKUUMSKE TEHNIKE - 2. izd. (izšlo jan. 1995) 1984 J. Gasperic 500 175 3. NASTAJANJE IN RAST VAKUUMSKIH TANKIH PLASTI. E. Kansky 1990 P. Panjan 500 . 61 4. VAKUUMSKA TEHNIKA ZA SREONJEŠOLSKE PREOAVATEUE junij 1993 B Jenko -J. Gasperič 300 113 5. VAKUUMSKA TEHNIKA ZA VZORŽEVALCE NAPRAV 1996 V. Nemanič 300 111 6. NETESNOST SISTEMOV IN NAPRAV (izšlo aprila 1998) okt 1997 L. Irmancnik Belič 250 79 7. VAKUUMSKA TEHNIKA (v pripravi) V. Nemanič - - Tabela 5. BILTEN JUVAK, Zveza društev za vakuumsko tehniko Jugoslavije • JUVAK (prej: Jugoslovanski komite za vakuumsko tehniko), Ljubljana Bilten št., mesecJeto, kraj izida, vsebina 1 1961, Ljubljana. Ref. 1.jug.posvetovanja o vak.teh. 20.-22. okt.1960. Referati objavljeni tudi v "Novi proizvodnji" januarja 1962 2 april 1962, Ljubljana, Del. sestanek 20.4.62, Ljubljana 3 oktober 1965, Ljubljana. Načrt dela JUVAK za 1.1966 4 februar 1966. Ljubljana, Napoved posvetovanja v Zagrebu 5 junij 1966, Ljubljana. Napoved 3. jugosl. posvetovanja v Zagrebu 26.-27.sept. 1966 6 september 1966, Ljubljana, Objava 4. redne skupščine JUVAK 26.9.1966 v Zagrebu 7 oktober 1968, Ljubljana. Referati 4. jug. vak. kongresa Bled, 10.-11.10.1968 8 oktober 1968, Ljubljana, Sklepi in referati 4. jug. vak. kongresa, Bled, 10.-11.10.1968 9 (ni podatka) 10 (ni podatka) 11 april 1971, Ljubljana. Referati 5. jug. vak. kongresa.Portorož, 13.-15.5.1971 12 marec 1972, Ljubljana, Referati 5. jug. vak. kongresa.Portorož, 13.-15.5.1971 (nadalj.) Letopis 1972, Ljubljana. Dejavnost in cilji JUVAK, statut, statuti republiških društev 13 1973, Ljubljana, Referati 6. jug. vak. kongresa, Postojna, 16.-18.5.1973 14 1973, Ljubljana, Referati 6. jug. vak. kong., Postojna, 16.-18.5.1973 (nadalj.) 15 1974, Beoqrad, Referati simpozija Uporaba vakuumskih tankih plasti v industriji 16 1975, Beograd, Referati 7. jug. vak. kongresa. Beograd, 15.-16.5.1975 17 oktober 1979, Ljubljana. Referati 8. jug. vak. kongresa. Bled. 25.-27.10.1979 18 1981 Beograd, Referati s Posvetovanja o uporabi vakuuma v prehrambni, kemijski in farmacevtski industriji, 28.-29.4.1981 19 september 1984, Beograd, Referati s Posvetovanja o uporabi vakuuma v tehnologiji materialov, 28.-29.4.1983 20 oktober 1983, Zagreb, Referati 9. jug. vak. kongresa, Zagreb. 14.-15.10.1983 21 1985, Beograd, Referati s Posvetovanja o tankih plasteh in prevlekah, 17.-19.4.1985 22 1986. Beograd. Referati 10. jug. vak. kongresa, Beograd, 29.6.-2.7.1986 23 1989. Beograd, Referati s Posvetovanja o karakterizaciji materialov, Donji Milanovac. 9.-12.5.1989 24 1990, Ljubljana, Referati 11. jug. vak. kongresa. Gozd Martuljek, 17.-20.4.1990 Tabela 8. Slovensko - hrvaška strokovna srečanja 1. srečanje 2. srečanje 3. srečanje 4. srečanje 5. srečanje 6. srečanje 21.4.1993 26.5.1994 6.4.1995 18.4 1996 20.5.1998 17.6.1999 Zagreb Ljubljana Bled Zagreb Zagreb Ljubljana Tabela 10. Druge pomembnejše aktivnosti DVTS 1. Organizacija tečaja Leybold-Heraeus Merjenje visokega vakuuma in uporaba masnega spektrometra, 1988, 150 udel. iz Slovenije in Hrvaške 2. Obisk in predavanje prof.dr. Joseja L. De Segovie, 7. maj 1991, na IEVT 3. Organizacija 73. seje Izvršnega odbora IUVSTA, Brdo. 7.-9. april 1995 (DVTS in IMT) 4. Organizacija mednarodne učne delavnice STRUKTURA IN REAKTIVNOST POLIATOMSKIH MOLEKUL NA POVRŠINAH, Brdo. 0. 15. april 1995 (DVTS in IMT) 5 Obisk in predavanje prof.dr. J. Robinsa, predsednika IUVSTA, Avstralija, Ljubljana. 6. junija 1997 na IMT, Ljubljana 6. Tečaj govorništva za člane DVTS. Ljubljana. 4.-5. feb.1998, 17 udeležencev 7. DVTS na internetu (M. Drab). 1998_ Tabela 6. Vakuumska posvetovanja in kongresi - 1. jugoslovansko posvetovanje o vakuumski tehniki, Ljubljana, 20.- 22. okt.1960, 28 referatov, objavljenih v "Novi proizvodnji", januarja 1962 in v BILTENU 1 (JCVT); 23. okt.1960 ustanovitev Jugoslovanskega centra za vakuumsko tehniko (JCVT) - 2. jugoslovansko posvetovanje o vakuumski tehniki, Beograd, 10.-11. marec 1964, 35 referatov - 3. jugoslovansko posvetovanje o vakuumski tehniki, Zagreb. 26.-27. sept.1966. 40 referatov - 4. jugoslovanski vakuumski kongres, Bled. 10.-11. okt. 1968. 65 referatov - 5. jugoslovanski vakuumski kongres, Portorož, 13.-15. maj 1971 - 6. jugoslovanski vakuumski kongres, Postojna, 16.-18. maj 1973 - Posvetovanje o vakuumskih tankih plasteh v industriji, Beograd, 1974 - 7. jugoslovanski vakuumski kongres. Beograd, 15.-16. maj 1975 - 8 jugoslovanski vakuumski kongres, Bled, 25.-27. okt. 1979 Posvetovanje o uporabi vakuuma v prehrambni, kemijski in farmacevtski industriji, Beograd, 28.-29. april 1981 - Posvetovanje o uporabi vakuuma v tehnologiji materialov. Beograd, 28.-29. april 1983 9. jugoslovanski vakuumski kongres, Zagreb. - 14.-15. okt. 1983 - Posvetovanje o karakterizaciji materialov, Donji Milanovac, 19.- 21. maj 1989 - 10. jugoslovanski vakuumski kongres, Beograd, 29. junij - 2. julij 1986 - 11. ugoslovanski vakuumski kongres, Gozd Martuljek, 17.-20. april 1990 - (12.) sekcija vakuumska metalurgija in tanke plasti; 43. posvetovanje o metalurgiji in kovinskih gradivih, Portorož, 7.- 9. okt. 1992 - 13. slovensko vakuumsko posvetovanje; 1. posvetovanje o materialih, Portorož.6.-8. okt. 1993 14. slovensko vakuumsko posvetovanje; 2. posvetovanje o materialih, Portorož, 5.- 7. okt. 1994 - 15. slovensko vakuumsko posvetovanje; 3. slovenska konferenca o materialih in tehnologijah, Portorož. 4.-6. okt. 1995 - 16. slovensko vakuumsko posvetovanje; 4. konferenca o materialih in tehnologijah, Portorož, 2.-4. okt. 1996 - 17. slovensko vakuumsko posvetovanje; 5. konferenca o materialih in tehnologijah, 1.- 3. okt. 1997 - Posvetovanje o netesnosti sistemov in naprav, Ljubljana. 22. okt. 1997 (41 udeležencev) - 18. slovensko vakuumsko posvetovanje; 6. konferenca o materialih in tehnologijah. Portorož, 3.-5. nov. 1998 19. slovensko vakuumsko posvetovanje; 7. konferenca o materialih in tehnologijah. Portorož. 13.-15. okt. 1999 Tabela 7. Združene vakuumske konference 1. 1979. Györ, Madžarska-Avstrija 2. 1981, Brunn am Gebirge, Avstrija-Madžarska 3. 7.-9. okt. 1985, Debrecen, Madžarska-Avstrija-Jugoslavija 4. 20.-23. sept. 1988, Portorož, Jugoslavija-Madžarska-Avstrija 5. 23.-27.sept.1991, Dunaj. Avstrija-Madžarska-Jugoslavija 6. 4,- 7. apr. 1995. Bled, Slovenija-Madžarska-Hrvaška-Avstrija 7 26.-29. maj 1997, Debrecen, Madžarska-Avstrija-Hrvaška-Slovenija Tabela 9. Društvene strokovne ekskurzije in organizacija udeležbe na mednarodnih vakuumskih kongresih I.Org. udeležbe na 8. medn. vak. kong., Cannes. Francija, sept. 1980 (26 članov DVTS) 2.0rg. udeležbe na 9. medn. vak. kong., Madrid. Španija, sept.- okt. 1983 (28 članov DVTS) 3.Ekskurzija, Leybold-Heraeus, Hanau-Köln, maj 1984 (35 članov DVTS; skupaj 46 udel. iz 17 del. organizacij) 4.Ekskurzija. MIPOT, Krmin, Italija, 6. okt. 1984 5.Ekskurzija, BALZERS. Liechtenstein (organizator DVT Hrvatske), 1986 6.Org. udeležbe na 10. medn. vak. kong., Baltimore, ZDA. 27.-31. okt. 1986 7.Ekskurzija. SATURNUS, Ljubljana, 23.6 1987. 30 udel. 8.Ekskurzija, EDWARDS HV. Crawley, Anglija. 14- 15. sept. 1987 9.Ekskurzija, SATURNUS, Ljubljana. 7.3.1991, 24 udel. 10.Ekskurzija ISKRA, Center za elektrooptiko, Ljubljana, 21.5.1992 (40 udeležencev) 11 .Ekskurzija, INŠTITUT ZA KOVINSKE MATERIALE IN TEHNOLOGIJE, Ljubljana, 1992, ogled delovanja vakuumske peči) 12.Org. udeležbe na 12. medn. vak. kong., Haag. Nizozemska, 12.-16. okt. 1992 (20 članov DVTS) 13.Ekskurzija. VARIAN, Torino, Italija 28.10.1995 (32 članov DVTS) 14.Ekskurzija. SAES GETTERS. Milano. Italija. 14. junij 1996 (17 članov DVTS) 15.Ekskurzija, SINHROTRON ELETTRA. Trst. Italija. 16. junij 1998 (37 članov DVTS) 16.Ekskurzija, SATURNUS. AVTOOPREMA, Ljubljana, 17. dec. 1998 (V okviru JUVAK-a je bila organizirana udeležba na 3 medn vak. kongresu v Stuttgartu, 1965; 16 udel..4 referati) DVTS - Društvo za vakuumsko tehniko Slovenije - 40 let (1959 - 1999) Vakuumska tehnika je ena najlepših, v zadnjem času pa - predvsem pri visokih tehnologijah - tudi vedno bolj uporabljanih tehniških panog. Je izrazito interdisciplinarnega značaja, saj s svojimi znanji posega na najrazličnejša znanstvena in tehnološka področja. Prisotna je v elektrotehniki, elektroniki, fiziki, kemiji, strojništvu, biologiji, medicini, farmaciji, vesoljski in jedrski tehniki, metalurgiji itd. V uporabi je vse več za današnji čas nepogrešljivih materialov in predmetov, ki so izdelani po vakuumskih postopkih; vendar je vakuum za povprečnega človeka dokaj odmaknjeno in skrivnostno področje. Podpodročja vakuumske tehnike, ki so bila natančno opredeljena z mednarodnimi dogovori med tehniškimi panogami, so naslednja: - tanke plasti vakuumska znanost (ki obsega predvsem ustvarjanje in merjenje vakuuma) - nanotehnologije - vakuumska metalurgija - fizika plazme - znanost o površinah in njena uporaba - materiali za elektroniko in njih izdelava Ni čudno, da so se nekateri tehniški izobraženci - pridni, bistri in radoznali, kot Slovenci smo - že pred 40 leti združili v asociaciji, ki je v naštetih zanimivih področjih slutila pomembnost skupnega dela za napredek naroda. Polni energije so 4 desetletja zavzeto delovali z vizijo dvigniti tehnološki nivo v slovenskem in jugoslovanskem prostoru ter pripeljali Društvo za vakuumsko tehniko Slovenije (DVTS) do sedanjega jubilejnega trenutka. Zgodovina društva je bila že večkrat, in še posebej v zadnjih mesecih, precej podrobno opisana; želimo pa sedaj na kratko predstaviti sedanje stanje in nekaj misli za delovanje vnaprej. Cilj delovanja DVTS je pomagati mladi državi na poti med bolj razvite, in člani skušamo to opravljati z naslednjimi aktivnostmi: - organizacija nacionalnih in mednarodnih znanstve-no-strokovnih srečanj - vzgojno-izobraževalno delo (javna predavanja, priprava učnih programov na šolah in fakultetah, izobraževalni tečaji itd.) - izdajanje znanstveno-tehnične revije Vakuumist in strokovnih knjig - svetovalna in znanstveno-razvojno-projektantska dejavnost - sodelovanje s sorodnimi organizacijami doma in v tujini - dokumentacija, standardizacija in terminologija V zadnjem obdobju se število članov Društva za vakuumsko tehniko giblje med 130 in 150. Izvršni odbor ima pet do sedem sej na leto. Trudimo se, da je občni zbor društva izveden redno in če je le možno ga kombiniramo s predstavitvijo kake tehnične zanimivosti. Naša revija "Vakuumist" izide na tri mesece in je razposlana na blizu 400 naslovov, od tega nekaj tudi v tujino. Vsako jesen imamo slovensko vakuumsko posvetovanje, ki poteka v okviru Konference o materialih in tehnologijah v Portorožu, spomladi pa skupaj s hrvaškimi kolegi priredimo enodnevno strokovno srečanje. Nekateri naši člani uspešno delujejo na svojih raziskovalno razvojnih področjih in predstavljajo rezultate svojih raziskav tudi na mednarodnih strokovnih srečanjih. V lanskem letu smo z izjavo MZT pridobili status društva, ki deluje v javnem interesu na področju znanosti in tehnologije. Društvo je aktivni član mednarodne zveze za vakuumsko tehniko lUVSTA. zelo dobre povezave imamo z vakuumisti sosednjih dežel (Avstrije, Hrvaške, Italije in Madžarske), v domačem okolju pa smo vklopljeni v Elektrotehniško zvezo Slovenije-EZS in v Zvezo inženirjev in tehnikov Slovenije-ZITS. Letos DVTS praznuje 40-letnico svojega obstoja. Štiri desetletja so že kar lepo obdobje in vsak zdrav organizem. ki se tega zave. nehote ne ostane ravnodušen. Dohiteti tehnično razvitejše države za malo Slovenijo ni enostavno. Ali ji lahko na tej poti naše in sorodna društva tvorno pomagajo? Kakšna je vpetost strokovnih društev v slovensko gospodarstvo? Ali DVTS deluje v pravo smer? Ali sta domače znanje in tehnika potrebna za nacionalni obstoj? Kako pridobiti nova delovna mesta in posle s področij naših dejavnosti, kar je pomemben pogoj za ohranitev in za razvoj teh znanj. To so vprašanja, ki si jih ne postavljamo pogosto, je pa prav, da v sedanjem trenutku pomislimo tudi nanje. Kaj torej svetovati za uspešno in smiselno delovanje društva v bodoče? Menimo, da moramo - za doseganje prej naštetih ciljev - nadaljevati aktivnosti, ki so že trdno utečene, poleg tega pa vpeljati oz. ojačati še naslednje: - povečati zanimanje za naša specialna področja med mladimi, - naše strokovnjake vključiti kot predavatelje v programe rednega izobraževanja na sr. in visokih šolah - bolje seznanjati široko javnost z novostmi iz vakuumskega sveta, - jasneje pokazati naše delovanje društva v tehniških krogih (ZITS, EZS; delovne organizacije, MZT,..) - vpeljevati planiranje aktivnosti, navezovanje stikov, obveščanje članstva itd. preko interneta in elektronske pošte - formiranje banke podatkov s področja vakuumske tehnike - vzdrževati dobre odnose z inštitucijami. ki potrebujejo in podpirajo našo dejavnost. Njihovi strokovnjaki so veliko storili za napredek vakuumske tehnike v Sloveniji, objavili odmevna dela v domačih in mednarodnih revijah in tako pomebno prispevali k afirmaciji svojih delovnih organizacij. Vabimo vas, strokovnjake, da se priključite oziroma da nadaljujete aktivi iu delovanje v Diuštvu za vakuumsko tehniko Slovenije, hkrati pa vam vsem želimo nadaljnjih uspehov na vašem strokovnem področju - tako v bližnji bodočnosti kot tudi v novem tisočletju. mag. Andrej Pregelj predsednik DVTS KRATKA ZGODOVINA VAKUUMSKE TEHNIKE (Razvoj raziskovanja vakuuma in vakuumskih društev) Stanislav Južnič* A short history of vacuum technology (The development of vacuum research and vacuum societies) ABSTRACT The article enumerates the basic advancement of vacuum pumps and other elements of vacuum systems Parallel with the fundamental research we describe areas of vacuum technology application and manners with which they mutually stimulate each other. We also describe application and later research of vacuum technology in Slovenian territory. POVZETEK Razprava našteva temeljne izboljšave vakuumskih črpalk, merilnikov in drugih sestavnih delov vakuumskih sistemov. Vzporedno z njimi prikazuje področja uporabe vakuumske tehnike in išče vzvode, s katerimi se vakuumska tehnika in njena uporaba medsebojno spodbujata. Opisuje tudi poznavanje, uporabo in poznejše raziskovanje vakuumske tehnologije na Slovenskem 1 Uvod Graf najboljšega dosegljivega vakuuma v obdobju med letoma 1600 in 2000 prikazuje strme in konstantne dele. V ozadju se prepletajo gospodarske potrebe za uporabo vakuuma, ki spodbujajo temeljne izume in so same spodbujane od njih. Od zabavnega problema znanstvenikov sta se vakuum in nadtlak že v 18. stoletju z uporabo parnih strojev razvila v gibali industrijske družbe. Pa tudi znotraj same vakuumske tehnike so do srede našega stoletja izboljšave črpalk spodbujale izume natančnejših merilnikov nizkega tlaka. Ob tem razvoju so drobce zdaj pomembnejših, drugič pa spet bolj obrobnih raziskovanj prispevali tudi Slovenci. 2 Začetki raziskovanja vakuuma Bržkone je mladi Italjan Gasparo Berti leta 1640 ob svoji hiši v Rimu prvi postavil poskus, posvečen vakuumu. Svinčeno cev, dolgo čez 10 m. je napolnil z vodo in poveznil z odprtim koncem v rezervoar. Vendar mu ni uspelo prepričljivo pokazati, da vakuum ne prevaja zvonjenja iz cevi, kar bi imeli sodobniki za prepričljiv dokaz o obstoju vakuuma. O Bertijevem poskusu je leta 1664 poročal jezuit Kaspar Schott (1608-1666) v "Tech-nica Curiosa", ki jo je leta 1678 ponujal tudi ljubljanski knjigarnar Mayr /1/. Tako so naši predniki v današnjih slovenskih deželah izvedeli za tedanje poskuse z vakuumom zelo hitro po prvih izvedbah. Evangelista Torricelli je leta 1643 pod vplivom Bertija opisal podoben poskus v cevi z živim srebrom, ki je bil namenjen tudi merjenju zračnega tlaka. S tem je sledil obračanju antičnih vprašanj svojega učitelja Galileja. Namesto da bi raziskal, kako ''horror vacui" (strah pred praznino) vleče Hg stolpec navzgor, je raziskoval, kako * Dr. Stanislav Južnič je profesor fizike in računalništva na srednji šoli v Kočevju. Leta 1980 je diplomiral iz tehnične fizike na Fakulteti za naravoslovje in tehnologijo, magistriral leta 1984 iz zgodovine fizike na Filozofski fakulteti v Ljubljani, kjer je leta 1999 tudi doktoriral f f 10 10 10 10 10 ČRPALKE s trdnimi bali 1858 s kapljevinskimi tali MERILNIKI TLAKA Manometer na živo srebro '8/3 Mcleod UPORABA VAKUUMA rentgenske barometer parni stroj katodne elektronke Žarnice elektronke 1640-1644 1700- 185B- Knjige o vakuumu /aćetek pouka ti/ikc Boyle v Ljubljani v Ljubljani 1706. 1660 1678 poskus« 2 vakuumom Prva nagraoa na veliki razstavi v Londonu 1850 /a vakuumsko črpalko GeiSSler 1858 Crookes 1B76 O Edison 1679 Fleuss 189-5 □ Črpalke s trdnim batom □ Vakuum v deželah, poseljenih s Slovenci O Črpalko s kapl|evlnskirr batom Gimingham 1884 Kahlbaum 1894 1660 1680 1820 1B40 1860 1880 LETO Slika 1: Graf najboljšega dosegljivega vakuuma med letoma 1660 in 1900 po Redhead n.d., 1999, str. 142 z dodanimi dosežki na Slovenskem in uporabo vakuumske tehnike Slika 2: Bertijeva vakuumska naprava ga zračni tlak na nasprotni strani potiska navzgor. S spremembo vprašanja je sam "strah pred praznino" postopoma izgubil pomen, saj gaje nadomestil pojem znižanega (zračnega) tlaka. Torricellijev poskus je opravil drugi Galilejev učenec Vincenzo Viviani leta 1644. S tem je že dve tisočletji trajajoča razprava o obstoju vakuuma dobila trdno eksperimentalno podlago. Predvsem se je utrdila domneva o zračnem tlaku, odločilno potrjena po 15.11.1647, ko je Blaise Pascal (1623-1662) iz Parizav pismu naročil svojemu svaku, da je uporabil barometer z okoli 4 kg Hg za merjenje tlaka na 1465 m visokem hribu Puy-de-Döme v bližini okoli 1 km nižjega Pas-calovega rojstnega kraja Clermont-Ferrand v Auver-gne. Leta 1650 je Otto von Guericke izumil zračno črpalko in štiri leta pozneje opravil znameniti poskus z magden-burškima polkroglama pred cesarjem Ferdinandom III. Habsburžanom v Regensburgu. Boyle je leta 1660 objavil meritve v vakuumu z živosrebrnim manometrom v zvonu, izpraznjenim z batno črpalko, ki jo je sestavil Robert Hook. Namerila sta do 8 mbar/2/. Von Guericke je ocenil tlak pri Torricellijevem poskusu na 13 mbar. Svoj Hg manometer je razvil tudi Boyle, gotovo pred letom 1660. Tako se je začelo večstoletno plodno tekmovanje med črpalkami in manometri glede najnižjih tlakov, ki so jih še sposobni doseči oziroma meriti. iüOVI JUL* KQ t "i*--.; 't Slika 3: Von Guerickovi poskusi Boylova dela so bila na voljo tudi pri ljubljanskem knjigarnarju Mayru leta 1678. Med njimi je bil tudi Tractatus de Aere, bržkone latinski prevod 2. izdaje Doylovih New Experiments Physico-mechanical, Touching the Spring of the Air and its Effects iz leta 1662. Razprava je vsebovala tudi tabelo poskusov z redčenjem zraka do 42 mbar. V njej je Boyle zavrnil kritike Kircherjevega učenca, angleškega jezuita Fran-cisca Linusa (1595-1675), profesorja v Liegu v Belgiji. Linus je domneval, da Hg v barometru drži do 0.76 m visoko nevidna membrana "funiculus", katere niti naj bi otipali, ko s prstom zatesnimo izpraznjen prostor, Boyle ga je zavrnil s poskusom, v katerem je s sesanjem dvignil stolp Hg na odprtem koncu barometra za 2,2 m više kot na zaprtem /3/. Stopnjevanju zmogljivosti črpalk in manometrov so v naslednjih stoletjih botrovale tudi številne izboljšave na zaklopkah, konektorjih in pasteh v vakuumskih sistemih, ki so prispevali k nižanju tlaka. Te drobne izboljšave, predvsem pa natančno čiščenje površin, so se pokazale pomembne ob poskusih poznejšega člana Academie Royale de Paris (AR), Nizozemca Christiaana Huygensa. Leta 1660 in 1661 je opazil anomalno suspenzijo pri poskusih z "vakuumom v vakuumu". Očiščeno stekleno cev je napolnil z vodo. jo zaprl, obrnil in poveznil v zbiralnik z vodo. Voda v cevi je zaradi nastalega vakuuma stala višje od gladine zbiralnika. Vse skupaj je postavil pod zvonasto posodo, povezano s črpalko. Ko je izčrpal zrak. je pričakoval, da se bosta gladini vode v cevi in zbiralniku poravnali. Toda pogosto se gladina vode v cevi ni spustila, dokler ni naprave rahlo stresel. Boyle, ki se je onstran Rokavskega preliva ukvarjal s podobnimi problemi, sprva ni verjel Huygensovim domnevam in je rezultat poskusa pripisal nečistočam Po dveh letih natančnega čiščenja naprave pa sta tudi Boyle in Hooke dobila Huygensove rezultate z vodo in tudi z živim srebrom. Tako Huygens kot Newton sta pojav pripisovala adhe-ziji med dvema trdninama ali med trdnino in kapljevino. Medtem ko je Huygens menil, da adhezijo povzročajo delci etra, je Newton in po njem Nizozemec Muschen-broek vzrok pripisal negravitacijskim privlačnim silam med molekulami /4/. Poskusi z vakuumom so ostali do druge polovice 19. stoletja predvsem zanimivost; denimo prikaz dušenja živali v brezzračnem prostoru ali prevajanja zvoka, ЖС? Slika 4: Huygensova skica poskusa z "vakuumom v vakuumu" iz leta 1660 ali 1673 kot spoznanje o nujnosti natančnega čiščenja površin v vakuumski tehniki toplote in svetlobe skozi vakuum. Eksperimenti so bili pogosto nevarni, npr. ob eksploziji osemkotne vakuumske posode, ki jo je Huygens izčrpal pred AR 14.4.1668 /5/. Bolj kot izboljševanje vakuuma so zato raziskovalce zanimali izumi priročnejših črpalk. Nekdanji Boylov učenec Francis Hauksbee (1670-1713) je 15.12.1703 kot Hookov naslednik na položaju pripravljalca poskusov pri Royal Society of London (RS) predstavil izboljšano črpalko z dvema batoma, ki jo je bilo veliko laže uporabljati /6/. To je bila prva seja RS, ki jo je vodil njen novi predsednik Newton. V naslednjih letih se je v ljubljanskem Jezuitskem kolegiju začel pouk fizike. Pozneje so ljubljanskim študentom predstavljali vakuum s poskusi na napravah, kupljenih leta 1755. 3 18. stoletje in prva polovica 19. stoletja brez temeljnih izumov na področju vakuumske tehnike Vakuumsko tehnologijo so kmalu uporabili v industriji, predvsem pri parnih strojih. Že Huygensov raziskovalni program novo ustanovljene AR. ki ga je leta 1666 predložil mogočnemu ministru Jeanu Baptisti Colbertu (1619-1683), je skoraj v isti sapi v prvih točkah prepletal raziskovanje vakuumske črpalke in gibalne sile vodne pare 171. Huygensov in nato Boylov ter Hookov asistent Denis Papin (1647-1712) je bil najbolj znamenit med možmi, ki so razvijali tako vakuumske črpalke kot parne stroje. Izum kuhanja pod visokim tlakom mu je leta 1680 prinesel izvolitev v RS. Idejo je gotovo lahko dobil že med službovanjem pri Boylu, ki je že v šestdesetih letih vrel vodo pri navadni temperaturi in tlaku nižjem od 1 /30 bar. 14.12.1687 je Papin svojo vakuumsko napravo za kroženje vode z redčenjem zraka predstavil pred RS, takoj za izvolitvijo Kranjca Janeza Vajkarda Valvasorja (1641 -1693) v RS. Takrat so tudi prebrali prvi del Valvasorjevega pisma o pretoku vode skozi kraško podzemlje pod Cerkniškim jezerom na Kranjskem, ki je zlasti temeljilo na starejši teoriji jezuita Kircherja /8/. Po Pa-pinovi predstavitvi je Newtonov prijatelj Edmund Halley (1656-1742) demonstriral polnjenje in praznjenje Cerkniškega jezera po Valvasorjevem opisu s tremi povezanimi posodami, nameščenimi na različne višine /9/.Tako smo bili tudi Kranjci, vsaj posredno, udeleženi pri pionirskih poskusih v raziskovanju vakuuma. 18. stoletje in prva polovica 19. stoletja nista prinesla večjih izboljšav vakuumske tehnike, saj ni bilo povpraševanja po boljšem vakuumu. Toliko bolj pa so na podlagi izkušenj vakuumistov iz 17. stoletja razvili gospodarsko obetavne parne stroje. V povezavi z njimi so pozneje raziskovali tudi visoke tlake; sprva predvsem Dunajčan Johann August Natterer (1821-1901) po letu 1844. Zaradi dolgoletnega zastoja v prizadevanjih za doseganje čim boljšega vakuuma je Hauksbeejeva črpalka brez večjih sprememb prišla v prodajo še poldrugo stoletje po izumu. Leta 1850 je na Veliki razstavi v Londonu prvo nagrado dobila črpalka z dvojno cevjo, naoljeno svileno zaklopko in stožčastimi bati Watkinsa in Hilla. Dosegala je tlak 1,3 mbar, kar je bilo komaj šestkrat boljše od dve stoletji starejših Boylovih dosežkov. Sicer pa so tudi tedanji živosrebrni ma- nometri merili le do 0,6 mbar. Naslednje leto 1851 je na Veliki razstavi v Londonu v mednarodni konkurenci zmagala črpalka Angleža Newmana, ki je še vedno temeljila na von Guerickovem izumu /10/. Še naslednje leto je profesor kemije na Queen's College v Belfastu. Irec Thomas Andrews, morda nekoliko pretirano ugotavljal, da je Torricellijev vakuum nad stolpom Hg v barometru boijši od vakuuma, dosegljivega s črpalkami, saj je vseboval le Hg pare. Le redke tedanje črpalke so namreč dosegale 2.8 mbar. Vendar pa je bilo v Torricellijevem vakuumu mogoče opravljati le malo fizikalnih poskusov, denimo razširjanje zraka v zaprtem balonu, ki so ga v vakuum postavili pri Acca-demiji del Cimento. Zato so raziskovalci raje pridobivali vakuum s črpalkami, ki jih je sam Andrews leta 1852 izboljšal s kemično metodo črpanja. Dve leti pred tem je na Dunaju obiskal profesorja kemije, kristalografa Antona Schröterja von Kristellija (1802-1875), pa tudi Postojnsko jamo in Idrijski rudnik. V Idriji so tiste čase nakopali večino Hg za barometre, tako da je prav tam Andrews lahko dobil idejo za svoje raziskave nizkih tlakov/11/. Leta 1859 je pariški inženir Henri Giffard (1825-1882) uporabil princip dinamičnega tlaka v svoji brizgalki ali črpalki na curke vodne pare. Istočasno je Schimper sestavil črpalko na pihanje. "Blasepumpe", ki seje hitro uveljavila pod različnimi imeni, npr. kot "razpršilna" črpalka. 4 Skokovit napredek vakuumske tehnike po izumu katodne elektronke v drugi polovici 19. stoletja V drugi polovici 19. stoletja so izboljševali vakuum predvsem na tri načine: z izboljševanjem tesnjenja ob uporabi popolnoma steklenih sistemov, brez gumijastih in drugačnih delov, s toplotno obdelavo stekla za odstranjevanje adsorbiranih plinov in z izboljšanimi črpalkami s kapljevinskim batom. Številne izboljšave črpalk so sledile novim laboratorijskim potrebam raziskovalcev katodnih cevi. med njimi najprej poskusom Juliusa Plückerja (1801-1868) na univerzi v Bonnu. Ta je leta 1854 prosil prijatelja, lastnika steklopihaške trgovine in delavnice Heinricha Geisslerja, naj izboljša črpanje vakuuma. Namesto trdnega bata je Geissler uporabil kapljevinskega iz živega srebra v stekleni cevi in že leta 1855 dosegel 0,1 mbar. V prvih mesecih leta 1857 so cevi preizkušali v Plückerjevem fizikalnem kabinetu v Bonnu. Izum je Plücker julija 1857 predstavil renskemu Društvu naravoslovcev in zdravnikov, pozneje pa še na 33. srečanju nemških naravoslovcev in zdravnikov. V prvih dveh ceveh, ki jih je Geissler dostavil po naročilu, je vakuum vseboval predvsem pare Hg in atmosferski zrak, manj pa eteričnih olj, vodika in fosforja. Uporabljal je elektrodi iz platine. Plücker je leta 1857 prvi uporabil naziv "Geisslerjeva cev" /12/, napravo pa je prvi podrobneje opisal W.H.T. Mayer naslednje leto v Berlinu /13/. Geisslerjevo črpalko sta med drugimi izboljšala August Topler (1836-1912) na univerzi v Jeni leta 1862 in Johann Christian Poggendorff (1796-1877) na univerzi v Berlinu leta 1865. Vplivni Poggendorff, urednik vodilnega nemškega fizikalnega časopisa Ann. Phys., je opisal idejo črpalke na Hg kot "zelo staro, prav tako staro kot črpalka sama. Geisslerja moramo imeti za iznajditelja zato. ker je prvi sestavil praktično uporabno črpalko" /14/. Nič kaj pohvalna trditev je bila odsev dolgoletnega spora med fiziki iz Berlina in Bonna, zaradi katerih je bilo Plückerjevo delo bolj kot v domači Nemčiji priznano v Angliji, kjer so ga sproti prevajali. Tako niti ni bilo prave povezave med Plückerjevimi in Hittorfovimi raziskovanji svetlobe v katodnih elektronkah in sočasnimi raziskavami spektralne analize Gustava Roberta Kirchhoffa (1824-1887) in Roberta Wilhelma Bunsena (1811-1899) na univerzi v Heidel-bergu po letu 1858. Tam sta sprva raziskovala le spektre navadnih kovinskih par in nista opazila, da bi se spekter istega plina lahko spreminjal pri različnih pogojih žarenja /15/. Uporabljala sta gorilnik, ki ga je leto pred tem sestavil Bunsen. O svojih raziskovanjih je Kirchhoff prvič poročal 6.10.1859 in 27.10.1859 pred Berlinsko akademijo, seveda brez omembe Plückerja. Raziskovanji žarenja par s spektroskopom in v katodnih elektronkah sta se povezali šele sredi sedemdesetih let, ko je predvsem William Crookes zaporedoma dosegel uspehe na obeh področjih. Nemec Hermann Sprengel je leta 1865 v Londonu opisal črpalko, v kateri je vrsta živosrebrnih kapljic zajemala dele plina v stekleni cevi in jih odnašala proč. Leta 1869 je Bunsen po Sprenglovi metodi sestavil "Wasserluftpumpe", ki so jo kmalu razvili v številnih različicah. Podobno metodo je uporabil tudi goriški gimnazijski profesor, Slovenec, Anton Šantel (1845-1920) v svoji izboljšani živosrebrni črpalki leta 1883. Šantel je bil Boltzmanov svak in občasni sodelavec, Topler pa Boltzmanova poročna priča. Tako sta se gotovo poznala in sodelovala vsaj v času Tčplerjeve profesure na univerzi v Gradcu med letoma 1868 in 1876. Boljše črpalke so zahtevale boljše merilnike vakuuma, ki so se posrečili Angležu H.G.McLeodu 13.6.1874. Njegov merilnik je temeljil na stiskanju plina s stolpom t П 4 % Slika 5: McLeodov manometer živega srebra do merljivega višjega tlaka, iz katerega potem po Boylovem zakonu izračunamo prvotni tlak do milijoninke mbar. Crookes in njegov asistent Charles H.Gimingham sta 1873 sestavila črpalni sistem s Sprenglovo črpalko in dosegla 2.10 5mbar po poznejšem McLeodovem manometru. Vendar McLeod ni meril tlaka plinov, ki so, tako kot vodna para. kondenzirani pri navadnih tlakih. Zato morda njun vakuum vendarle ni bil tako dober. Cilj Crookesovih in Giminghamovih raziskav v šestdesetih letih je bil natančno merjenje atomskih mas v vakuumu, predvsem novo odkritega talija. Zato sta v sedemdesetih letih skušala doseči popoln vakuum, v katerem tokovi preostalih molekul ne bi motili tehtanja. Sprenglovo črpalko sta izboljšala še s kemičnimi metodami črpanja, ki jih je leta 1852 oddkril Irec Thomas Andrews (1813-1885). Do poletja 1873 sta že dosegla vakuum, ki je preprečeval tok iz Ruhmkorfovega induk-torja /16/. Junija 1874 je Crookes izboljšal svoj vakuumski sistem z zračnimi pastmi ter kemičnimi agenti za absorpcijo preostalih plinov in je, po Dewarjem nasvetu, uporabil oglje kot "geter". Program za doseganje popolnega vakuuma je dokončno opustil šele sredi osemdesetih let. 10 10' 10'° 10- s kap^evin&klmi bali , ČRPALKE 1916 frtuzlia 1950 tovl|cnjc lUffcO MERILNIKI TLAKA lonizaciia inoOe McLeod 1916 1950 Bayard-Alpert 1П66 zunanji zbiralci UPORABA VAKUUMA rac« 1897- televizija 1925- ' ustanovitev IOVSI 1958 1900 1920 19-10 1960 *UUU LETO Slika 6: Graf najboljšega dosegljivega vakuuma med letoma 1900 in 2000 po Redheadu, n.d., 1999. str. 144 z dodanimi dosežki na Slovenskem in uporabo vakuumske tehnike □ Dituzijske črpalke j Vakuum v deželah, posebnih s Siovnnci 0 Črpalke s kapJjevinskim batom D Črpalke z lovilci 5 Prodor vakuumske tehnike v industrijo konec 19. in v začetku 20. stoletja Edison je zelo hitro prevzel Crookesovo vakuumsko tehniko in jo uporabil v industriji. Številni drugi raziskovalci so podobno vakuumsko tehniko uporabljali v temeljnih raziskavah, med njimi Röntgen in J.J. Thomson, ki je uporabljal Töplerjevo črpalko. Leta 1897 je odklanjal elektrone z elektrostatičnim poljem, kar se njegovim predhodnikom v slabšem vakuumu ni posrečilo. Za potrebe industrije žarnic so močno izboljšali črpalke s trdnimi bati. Tako je Nemec Fleuss leta 1892 vložil in naslednje leto dobil nemški patent za batno črpalko, tesnjeno z oljem, ki je imela mehansko premakljive zaklopke. Naprave se je v čast von Guericka prijelo ime "Gerykova črpalka" in je dosegala 2.10 4 mbar. Kljub slabšemu vakuumu je imela prednost pred starejšimi črpalkami s kapljevinskim batom, ker jo je lahko poganjal motor. Uporabljali so jo v industriji žarnic, vse dokler ni 7.9.1905 Gaede, asistent na univerzi v Freiburgu, patentiral črpalko s krožnim delovanjem in živosrebrnim batom, ki jo je prav tako lahko poganjal motor. Z njo je dosegal 10"° mbar, zato je bila zelo uporabna v industriji žarnic in katodnih elektronk. Stekleno ohišje starejših črpalk je Gaede nadomestil s kovinskim, vrtljivi boben pa si je dal narediti iz porcelana. Max Paul Wolfgang Gaede (1878-1945) je bil rojen v družini pruskega topniškega oficirja in se je zato pogosto selil po Nemčiji. V Freiburgu je študiral najprej medicino in nato diplomiral iz fizike leta 1901 pri Franzu Himstedtu. ki se ie odlikoval s poskusi v elektrodinamiki. Kot Himstedtov asistent je 26.2.1904 prvič omenil svoje poskuse v vakuumu. Po vojni je Gaede leta 1919 dobil redno profesuro v bližnjem Karlsruheju. Njegovi izumi so bili nepogrešljivi v fizikalnih laboratorijih. Zato je bil. sicer neuspešno, predlagan za Nobelovo nagrado, tudi od strani poznejših nacistov, kot je bil fizik Johannes Stark (1874-1957). Vseeno so ga nacistične oblasti 30.6.1934 na zelo ponižujoč način spravile ob profesuro na univerzi. Da bi vendarle lahko nadaljeval delo, mu ie Leybold namestil laboratonj in trgovino v domači hiši. Vendar se je Gaede leta 1940 skupaj z laboratorijem raje preselil v München, kjer je kmalu po koncu vojne umrl. Slika 8: Wolfgang Gaede (1878-1945) Gaede je še svežo iznajdbo demonstriral na 77. srečanju Nemških naravoslovcev in zdravnikov v Me-ranu in požel veliko pozornosti in ponudb. Gaedovo poročilo s srečanja je pozneje prebral tudi 11 let starejši kemik Alfred Schmid, sin lastnika strojne trgovine E.Leybold 's Nachfolger. Prav tisti čas je bilo podjetje v težavah, ker je konkurenca dobila licenco za proizvodnjo "Gerykovih črpalk". Zato se je Schmidt februarja 1906 s prvim vlakom odpravil v Freiburg in 23.4.1906 podpisal pogodbo z Gaedejem. S tem se je začelo eno najbolj plodnih sodelovanj med znanstvenikom in industrijo, ki je trajalo 38 let. Že naslednje leto je Leybold opremil Gaedeju lasten laboratorij s strojno trgovino, ki je leta 1912 postal del univerze. Istega leta je Gaede izumil črpalko, ki jo je imenoval "molekularno". Prvih 60 črpalk nove vrste je Leybold prodal še istega leta. skupno 300 pa do leta 1923. "Molekularne" črpalke so razvijali naslednja tri desetletja in z njimi dosegali 10-7 mbar. Slika 7: Gaedova molekularna črpalka iz leta 1912 Slika 9: Langmuirjeva živosrebrna difuzijska črpalka iz leta 1916 Gaede (1915) in Američan Irving Langmuir (1881 -1957) z General Electrics (1916) sta neodvisno izumila difu-zijsko črpalko z živosrebrno paro, prvo vakuumsko črpalko brez premikajočih se delov. Oba uspešna izumitelja sta imela poseben samostojen položaj pri vodilnem industrijskem podjetju svoje države, kar jima je omogočalo izjemna odkritja. Leta 1928 je C.R.Burch iz Metropolitan-Vickers v Angliji izumil difuzijsko črpalko z oljem. Difuzijske črpalke s končnim tlakom do 10 8 mbar so bile najpogosteje uporabljane za visoki vakuum, dokler leta 1958 niso postale dosegljive črpalke na ionsko naprševanje. Slovenci brez domačega akademskega središča v prvi polovici 20. stoletja nismo sodelovali pri temeljnih raziskavah v vakuumski tehnologiji. Zato pa so naši rojaki Julij Nardin, Anton baron Codelli in Vladimir Šlebinger pomembno prispevali k uporabi vakuuma pri razvoju televizije. 6 Vakuumisti v "BIG SCIENCE" druge polovice 20. stoletja Merilniki nizkih tlakov so pred prvo svetovno vojno zaostajali za dosežki črpalk. Leta 1916 je O.E. Buckley poročal o ocenjevanju nizkih tlakov s pogostostjo ioni-zacij na vroči triodi. Njegov merilnik se je uporabljal do srede stoletja za meritve do 10'8 mbar. Pri nižjih tlakih nastajajo mehki rentgenski žarki zaradi obstreljevanja anode z elektroni, kar so vedeli proizvajalci katodnih elektronk, ne pa tudi njim sorodni raziskovalci vakuumske tehnologije pred letom 1947. Ko je bil problem končno jasno postavljen, ni bilo treba več dolgo čakati na rešitev, ki jo je Denis Alpert iz Westinghousovih raziskovalnih laboratorijev predstavil leta 1950 na MIT. Uporabil je ionski zbiralnik iz tankega vodnika v osi črpalke, ki je močno znižal pretok mehkih rentgenskih žarkov iz mrežice. Tako je omogočil meritve do 10"11 mbar. Obenem je predložil uporabo povsem kovinskih zaklopk za izolacijo sistema od črpalk, uporabljenih pri višjih tlakih, in uporabo ionizacijskega merilnika kot glavne črpalke pri nizkih tlakih. S tem je dotlej samostojen razvoj črpalk in merilnikov po treh stoletjih združil v enotno napravo. Alpertove ideje so pozneje razvijali v smeri črpalk s pastmi, ki niso več odstranjevale plina iz sistema, temveč so molekule plina raje lovile na površine znotraj sistema. Ideja je sprožila hitre izboljšave, ki so kmalu znižale mejo vakuuma od 10"8 na 10"11 mbar. Čeprav so prve monografije o vakuumski tehnologiji objavljali že raziskovalci prejšnje generacije med letoma 1906 in 1926, so šele ob teh uspehih vakuumisti začeli obravnavati svoje delo kot samostojno panogo znanosti. Morda je desetletjem zamude pri razvoju tega občutka botrovala zavezanost različnim panogam znanosti, ki tvorijo vakuumsko tehniko, prikrivajoč skupni imenovalec vakuumskih raziskav. Tako se je šele E. Holweck leta 1939 uspešno zavzemal za ustanovitev nacionalnih vakuumskih družb. Njegova pobuda je zaradi vojne morala počakati na neko sobotno popoldne v novembru 1944, ko so se francoski vakuumisti sestali v sloviti pariški gostilni blizu Saint Germaina. Razpravljali so, ali naj ustanovijo zvezo ali znanstveno družbo. Konec večera je prevladalo zadnje mnenje in 10.3.1945 je 19 članov ustanovilo družbo/17/. Osem let pozneje so ustanovili podobno organizacijo v ZDA. Dne 18.6.1953 se je v New Yorku sestalo 53 raziskovalcev in ugotovilo potrebo po ustanovi, ki bi razpravljala o problemih in uporabi tehnologije visokega vakuuma. Šest dni pozneje je bil organiziran prvi sestanek Committee on Vacuum Techniques. Do formalne ustanovitve je prišlo 19.10.1953 v Massa-chusettsu. Prvi nacionalni simpozij z 295 udeleženci in 35 razpravami je bil med 16. in 18.6.1954 v Asbury Parku, New Jersey. Leta 1957 so člani izglasovali spremembo imena v American Vacuum Society, Inc. (AVS). Od 2000 do 3000 članov AVS med letoma 1964 in 1980 je v začetku devetdesetih let članstvo naraslo na 6000. Septembra 1964 so pri AVS ustanovili Journal of Vacuum Science /18/. 5.5.1958 so vakuumsko družbo ustanovili tudi na Japonskem. Sredi petdesetih let je bilo že veliko stikov med vakuumskimi organizacijami Francije, ZDA, Zahodne Nemčije, Japonske. Švedske. Italije in Belgije. Že leta 1948 je član Francoskega vakuumskega društva Robert Champeix predložil načrt za Mednarodno vakuumsko konferenco leta 1949 ali 1950. vendar je predlog padel v vodo zaradi gmotnih težav. Pobudo je pozneje prevzela belgijska sekcija za vakuumsko tehniko, ustanovljena leta 1954, ki je leta 1956 resno predložila mednarodni vakuumski kongres. IOVST je bil ustanovljen 13.6.1958 na 1. mednarodnem kongresu o vakuumski tehnologiji; prvem velikem mednarodnem srečanju 522 vakuumistov iz 26 držav, povezanim s tedanjo svetovno razstavo v Bruslju. Le nekaj mesecev pozneje je bila leta 1959 ustanovljena predhodnica DVTS kot sekcija za vakuumsko tehniko pri Elektrotehniškem društvu Slovenije. IOVST je bil 8.12.1962 preimenovan v IUVSTA, ko je postal mednarodno združenje nacionalnih vakuumskih organizacij z 10 ustanovnimi člani s sedežem v Bruslju /19/. Sredi šestdesetih let so številne države že imele profesionalne vakuumske družbe ali nacionalne odbore posvečene vakuumu. 7 Sklep Organizacije vakuumistov so strokovne združbe, vendar pa pomagajo tudi pri premagovanju težav prestrukturiranja, ko stagnira klasična proizvodnja katodnih elektronk, odpirajo pa se nova področja uporabe. Seveda pa organizacija ne more vplivati na omejitve, ki jih postavlja narava sama. Tako je leta 1977 C. Ben-venuti v CERN-u dosegel 10 14 mbar, kar že nad dve desetletji ostaja najnižji tlak, dosegljiv pri sobni temperaturi. Neuspešnost pri doseganju vedno boljšega vakuuma je podobna tistemu med letoma 1920 in 1950 /20/. Zgodovinska raziskava le stežka lahko razkrije vzroke, ki zavirajo napredek k boljšemu vakuumu, še težje pa nakaže prijeme, ki bi utegnili peljati k preseganju sedanje stagnacije. Je pa zanimiva sama po sebi. Literatura /1/ Catalogus Ubrorum qui Nundinis Labacensibus Autumnali-bus in Officma Ubrana Joannis Baptistae Mayr. Venales proftant Anno 1678. Ponatis pri Mladinski knjigi. Ljubljana. 1966 !2i Paul Avelmg Redhead, The ultimate vacuum. Vacuum 53 (1999) str.137-138 /3/ Boyle. Defensio contra Franciscum Linum. Linus je bil posebno znan po polemiki z Newtonom glede teorije barv. ki jo je vodil tik pred smrtjo preko RS v Londonu Ne gre ga zamenjevati z drugim jezuitom podobnega imena Francescom Tertio de Lana (1631 -1687). avtoriem Magisterium Naturae et Artis, Opus Physico-Mathematicum. tiskane leta 1684 in 1686 v Bruslju, ki so jo v ljubljanskem jezuitskem kolegiju nabavili leta 1754. /4/ M J. Sparnaay. Adventures in vacuum, North-Holland. 1992. str 47-50: Newton. Opticks. 1717, Query 31 Raziskave elektromagnetnih vzrokov efekta, imenovanega po Nizozemcu Hendriku B G. Casimirju (r.1909), so leta 1948 pokazale, da je bil Newton bližje resnici. /5i Spaarnay. n.d., 1992, str 53 /6/ Hauksbee (tudi Hawksbee), An experiment to show the causes of the descent of the mercury in the barometer in a storm. Phil . Trans. 1704; Physico-mechanical Experiments on various subjects. London, 1709 171 Spaarnay. n.d.. 1992. str. 55 18/ Valvasor Phil.Trans London 1687. Nr. 191. str 411-426. Acta Eruditorum, Leipzig, 1689, str. 634 644; Athanasius Kircher, Misurgia universalis sive ars magica consoni et dissoni in X libros digesta. Romae. Cerbelletti, 1650. 9. knjiga. 2. del, 7 poglavje; Caspar Schott. Magia universalis naturae et artis sive recondita et artificialium rerum saentia, Bambergae. Schönwetter. 1677. 2. del. 4. knjiga; Schott, De magia phonurgica. zadnje poglavje, str. 214; Branko Reisp. Korespondenca Janeza Vajkarda Valvasorja z Royal Society S AZU. Ljubljana. 1987. str. 78 /9/ Reisp. n.d., 1987. str. 7.97-100 in 102-104. Morda je Valvasor srečal 6 let mlajšega Papina, ko je med letoma 1665 in 1672 potoval tudi po Franciji in Angliji /10/ Theodore E. Madey. Early applications of vacuum, from Aristotle to Langmuir. v Theodore E. Madey (ed.) History of vacuum science and technology. AIP. 1984. str. 11; Redhead, n.d.. 1999. str. 139 /11/ Thomas Andrews (1813-1885), On a method of obtaining a perfect vacuum in the receiver of an air-pump. Phil. Mag 1852. ponatis v The scientific papers of the late.... London 1889. str XXIV in 223-224. Od leta 1861 dalje Andrews ni već raziskoval nizkih temveč vrsoke tlake. Poizkušal je utekočiniti pline, ki so dotlej veljali za permanentne". S tem je začel dolgoletno tekmo za doseganje absolutne temperaturne nič*e in s svojo teorijo kritične točke vplival na več generacij raziskovalcev /12/ Über die Einwirkung des Magneten auf die elektrischen Entladungen in verdünnten Gasen, Ann. Phys 103 (1857) str. 88-89 /13/ Über das geschlechtete elektrische Licht. Berlin, 1858 Heinrich Geissler (1814-1879) iz Igelshieba v Thüringiji je bil tudi pomemben fizik. Leta 1868 je opisal svetlikanje v katodni cevi in v Torricellijevem Hg-vakuumu v cevi, ki jo je drgnil z mačjo dlako Svetlikanje je trajalo eno minuto, njegova barva pa ie bila odvisna od temperature in od narave plina v cevi. Predložil je uporabo pojava v Davyjevih svetilkah. Opazovanj še ni znal povezati z drugimi, tedaj znanimi luminescenčnimi pojavi (Neue Erfahrungen im Gebeite der elektrischen Lichterscheinungen, Ann. Phys. 135 (1868) str 333 in 335) /14/ Ann. Phys. 125 (1865). Lehrbuch der Experimentalphysik bearbeitet von Dr. Adolph Wüllner, 3. izdaja, Leipzig. 1870. str 365-366 /15/ Felix Klein. Vorlesungen über die Entwicklung der Mathematik im 19 Jahrhundert, Springer. Berlin. 1926. ruski prevod 1989. Nauka. Moskva, str 138 /16/ Robert K DeKosky. William Crookes and the Quest for Absolute Vacuum in the 1870s, v Madey, n.d 1984. str. 84 in dalje /17/ J M Lafferty. History of the International Union for Vacuum Science. Technique and Applications. International Union for Vacuum Science. Technique and Applications. 1986 2:1989 str. 43 /18/ Jack H. Singleton. The American Vacuum Society at 40 v zborniku Vacuum Science and Technology (ed. Redhead), AIP Press 1994, str. 1-2 in 6 /19/ Lafferty, n.d., 1989. str. 1-2 /20/ Redhead, n.d.. 1999. str 146 ITPO-^ INŠTITUT ZA TEHNOLOGIJO POVRŠIN IN OPTOELEKTRONIKO, zavod . ? ' : INSTITUTE OF SURFACE ENGINEERING AND OPTOELECTRONICS Teslova 30.1000 Ljubljana. Slovenija Tel.:(+386 61) 126 45 92. Fax (-^386 61) 126 45 93 Inštitut za tehnologijo površin in optoelektroniko je bil ustanovljen v jeseni leta 1995 z namenom, da se poveča aktivnost in kvaliteta dela na specializiranih raziskovalnih področjih. Opravlja temeljne aplikativne in razvojne raziskave na področju naravoslovja in tehnologij. Dobro sodelujemo z najpomembnejšimi slovenskimi inštituti, obema univerzama in z industrijo ter s priznanimi institucijami v tujini. Osnovne dejavnosti ITPO-ja so: tehnologija in preiskava površin, faznih mej, tankih plasti in kompozitnih materialov (AES, SAM, TFA. EM. EDX, WDX), vakuumska optoelektronika. miniaturne katodne cevi, elektrnluminiscentni materiali, tehnika visokega in ultravisokega vakuuma, obdelava površin s plazmo, svetovanje na področju vakuumske tehnike in merjenja vakuuma, vakuumska ploskovna izolacija in sodelovanje pri izgradnji žarkovnih linij na sinhrotronih ter steklopihaška dela. VAKUUMSKA MOLEKULARNA DESTILACIJA Bojan Povh1, Inštitut za elektroniko in vakuumsko tehniko, Teslova 30, 1000 Ljubljana Vacuum molecular distillation ABSTRACT In the paper the principle and design of laboratory and industrial plants for the distillation of high-boiling and heat-sensitive compounds in the fine and high vacuum range are explained. The distillation in the vacuum range requires not only appropriate vacuum pumps but also special apparatus and machines. Different distillation procedures are explained and various types of apparatus are described. The advantages of vacuum molecular distillation are also found and various fields of application are described. POVZETEK V prispevku smo opredelili glavne pojme pri vakuumski destilacip toplotno občutljivih spojin z visokim vreliščem. Pri vakuumski destilaciji potrebujemo ne le primerne vakuumske črpalke, ampak tudi posebne naprave. Pojasnili bomo različne destilacijske postopke in v zvezi z njimi opisali različne vrste naprav za destilacijo ter njihove posebnosti. Utemeljili bomo prednost molekularne destilacije in navedli konkretne prime*e in področja uporabe. 1 Uvod Destilacija je postopek, s katerim separiramo komponente zmesi (destilanda) na osnovi različno močnega (hitrega) izparevanja. Destiland moramo ogrevati, pare pa kondenzirati na hlajeni površini. Kondenzat imenujemo destilat in v njem je več bolj hlapnih komponent. V ostanku je, nasprotno, manj bolj hlapnih in več manj hlapnih komponent, kot jih je v prvotni zmesi. Postopek lahko ponavljamo (v splošnem z drugačnima temperaturama izparevanja in kondenzacije), dokler ne dobimo predpisane čistote. Če znova destiliramo vsakokratni ostanek, mu bolj hlapno komponento (ali komponente) vse bolj odvzemamo; če pa znova destiliramo vsakokratni destilat, ga z bolj hlapno komponento vse bolj bogatimo. 2 Fizikalne osnove Vsaka sestavina destilanda ima svojo hlapnost, ki jo bomo definirali kot razmerje njenega molskega deleža v parni fazi (y) proti njenemu molskemu deležu v tekoči fazi (x). Za separacijo dveh komponent, npr. št. 1 in št. 2, je pomembna njuna relativna hlapnost (12, tj. razmerje hlapnosti komponent: ai2=(yi/xi):(y2/x2) (1) Čim večje je to razmerje (bolj hlapno komponento označimo s št. 1), tem boljša je separacija; pri ai2=1 pa separacija z destilacijo ni možna. Pri višjih tlakih (vključno s področjem grobega vakuuma) pride v destilacijski napravi pri definirani temperaturi vsaj približno do ravnovesja med paro in tekočino. Zato lahko možnost separaclje ocenjujemo 1 Mag. Povh je upokojeni sodelavec Inštituta za elektroniko in vakuumsko tehniko iz Ljubljane, ki je pred leti v okviru raziskovalne naloge obdelal to področje. Tekst je za objavo priredil urednik Vakuumista. kar iz podatkov za fazna ravnovesja. Razmerje ipsi-lonov je po Daltonu kar enako razmerju parcialnih tlakov. Za parcialne tlake posameznih komponent velja za primer idealnih raztopin Raoultov zakon: p,=x,p°i (2) kjer je p°, parni tlak čiste i-te snovi pri isti temperaturi. Ker je molski delež v zmesi manjši od 1. je pri idealnih raztopinah vedno pi
/л'
Jf ЛГ/
nt
!
K" /v- '
У- drv 4 S
M.
< > ЛСЛ ■ - _
v
> ^
/- <' -i.. -
r> ^T-'-'- ^...'iLC.^,—, i.//. V
-"" - 7 ^ .< .... ://- Л j
//«? P t
///
"«* Lg?
//* I//;
✓
r-
c t. гГ.гг-.Л^
'J 'A*.-*-* >
J... X
Slika 2: Vakuumske žarnice v Vlacovichevem inven-tarnem popisu na gimnaziji v Kopru leta 1858/59 št. 103 in 1859/60, št.112 (Mestni Arhiv Koper, Inventario del gabinetto di Fisica dis-posto nell ordino cronologico degli acquisti)
davanjih pred Društvom kranjskega muzeja v Ljubljani. Zanimivosti so v Deželnem muzeju predstavljali tudi drugi. Tako je fizik Thomas Schrey, Mitteisov suplent, 10.12.1856 dopolnil Mitteisovo predavanje o razvoju stereoskopa s prikazom najnovejših metod za merjenje jakosti električne iskre. Schrey je bil rojen leta 1830 v Logatcu, med letoma 1862-1870 je bil direktor ljubljanske realke, nato pa je odšel na realko v Celovec.
Mitteis je 18.3.1856. manj kot dve desetletji po prvih uporabah Borisa Semenoviča Jakobija (1801-1874), podrobno poročal pred muzejskim društvom o zgodovini in razvoju galvanoplastike. Pokazal je zelo posrečene galvanoplastične odtise v bakru, poročal o pozlačevanju z galvanoplastiko in ponazoril povedano s poskusi. 11.2.1857 je pokazal tedanje postopke za pridobivanje aluminija in v svetlih barvah poslušalstvu predstavil možnosti, ki se tej kovini ponujajo v obrtih in umetnosti /11/. Stoletje pozneje so te možnosti postale resnične, ko so v Ljubljani začeli uporabljati tanko-plasno tehnologijo aluminija in pozneje tudi drugih materialov /12/.
C) Vakuumske črpalke Antona Šantla z gimnazije v Gorici
Boltzmannov svak Slovenec Anton Šantel (1845-1920) je objavil pet razprav v Izvestjah goriške državne gimnazije. Leta 1883 je izdelal zračno črpalko za opazovanje tedaj modnega električnega praznjenja v vakuumu /13/. Osnovni problem dotedanjih črpalk je bilo slabo tesnjenje pri ventilih ter krhkost tanke steklene stene vakuumske elektronke, ki pogosto ni prenesla velikih tlakov. V Šantlovi črpalki je prosto padajoče živo srebro črpalo zrak iz posode. Dovolj dolg
stolp živega srebra se je v cevi pod svojo lastno težo pretrgal in ustvaril vakuum. V širokih ceveh je velika hitrost padanja kapljevine v navpični smeri preprečevala nastajanje zračnih mehurčkov.
3. Raziskovalci vakuuma na dunajskem fizikalnem institutu
A) Štefanov diatermometer (1872) in Štefanovo raziskovanje vakuumskih žarnic na dunajski mednarodni električni razstavi (1883)
Kvalitativne ugotovitve o prevajanju vodika je prvi objavil Magnus pri akademiji v Berlinu leta 1860 in 1861. Vendar še ni znal izmeriti toplotne prevodnosti /14/. Toplotno prevodnost je nato meril Narr v svoji disertaciji v Münchnu leta 1871. Prve uporabne rezultate pa je objavil šele Stefan 22.2.1872 po meritvah z diater-mometrom.
Štefanov diatermometer je bila prva uporabna naprava za merjenje prevodnosti razredčenih plinov. Stefan je napravo uporabljal v prvi polovici sedemdesetih let. istočasno pa je Anglež Dewar razvil podobno napravo, prednico sodobne termovke. Medtem ko je Stefan meril lastnosti plina med posodama, je Dewar raziskoval snov v notranji posodi. Štefanov diatermometer je bil narejen iz bakrene ali medeninaste pločevine, v kateri je notranja posoda zračni termometer, plin v ozki špranji med posodama pa merjenec. Štefan je uporabljal steni iz stekla, železa ali cinka, ali pa eno steno iz cinka, drugo pa iz železa. Naprave za črpanje zraka Stefan leta 1872 ni opisal, vendar je svetoval glajenje in prekrivanje površin posode za zmanjšanje sevanja /15/, kot je pozneje prav v dneh Štefanove smrti januarja 1893 storil tudi Dewar na predavanju pred Royal Institution v Londonu /16/.
Kot tehnično-znanstveni vodja Mednarodne električne razstave leta 1883 je Stefan še naslednja tri leta vodil preizkušanje žarnic in tako temeljito vplival na njihovo uveljavljanje v Avstriji in tudi na Slovenskem /17/.
B) Raziskovanje katodnih elektronk na Dunaju
Štefanov predhodnik pri vodenju dunajskega fizikalnega instituta Ettingshausen je že zelo zgodaj nabavil vakuumske elektronke za svoj institut /18/ Opazil je, da je barva vakuuma v elektronki odvisna od spektra plina. V ožjih delih elektronke je opazil prekinjeno svetlobo, v širših pa lepe plasti. Že Plückerjeve raziskave so pokazale odvisnost spektra od vrste plina in od debeline vakuumske elektronke. Ettingshausen je naročil Reitlingerju /19/, naj ta pojav razišče in mu je izročil več vakuumskih elektronk in Ruhmkorfov aparat. Pri meritvah je Reitlingerju pomagal Luka Žerjav /20/.
Reitlinger je leta 1861 naravnal optiko tako, da je lahko obenem opazoval dva spektra iz različno širokih delov Geisslerjeve elektronke in ju primerjal med seboj. Potrdil je domnevo o kovinski naravi vodika in opazil zelo lepo razslojevanje, ki ga je imenoval "biserno". Na porazdelitev svetlih in temnih plasti je vplival z magnetom/21/.
Reitlinger in Žerjav sta 24.7.1862 predložila razpravo, ki je kronala več kot leto dni trajajoče poskuse v Fizikalnem institutu /22/. Ugotovila sta, da se plasti gostijo pri večjih napetostih, da so barve madežev odvisne od
Cher Schichtung durch Ш/мроЦ^ rfrr Uid*rr fiaüerie.
Xm »». Urad KfMlitftr,
au d Lak» Č«rj«(,
«I-V— |>)|Ц|*.11» IM»
Il«rt*i<(1 i* e «jrhk^Mf «I«« •Joktrnch« Urfcim »Of «Up» Mrrn
Phywk«r Wbäigiv, Ii«*,
J« »kltt: ..!,«..«:,*!»^« flKttiitt«a $t«r**itt* «»•» l><«ra«f t.e*flf. »ck*n Bn,!' i«, Ufc* \ivr ш 4швВ JeefMl O»»C«»)
»«❖ffwrttfeM »»rd«. Kr *tkf*ib( dit ЗвШМшк ter Ail»m d*r Uui»Ua«I«i,kcä /нпм/ « <*} gwf&rajf»» Uil»-K&rfm dure* wt«ck«o d^>r Жгож geht Dm PM»*«*« «ifc ÄrfektHa»* ,-tb.i џш«b ««fear ЛмиАј in hderitt» u*d
S««i*iweii*dung g*%*t> Srawfcburto IntMd« Li» ttmt
Ai*«i, 1 rtnttaÜMh t» ®»di«t. führt cf W-Wh»-»***
»» I**«»«» nucij«, durch »»icfc» rächt.*«. К»|3а4«*чг» »tottttfur fci.-kiririjfti wwd». Ä'ree «r DHtllw im
Süfc-1- »der GM nbm. v. *Urd« drr Urs? k dorefc >UrU Eiti-X*r»j»Bfct. «<>rr«n *cbri*b Жл SeiUMa&duagMt «u.
iti.- >irr L*jlvng«wid*r*i*nd v»r»nlM»ir. I>* er u«tf qläifow, mit d«»« 0:,. f»rvib- tttftk, gnekwiUte Sf*r«a v« i. »» џ »ubU er ia dieser Егмкеми^ die tiruitdUg* <«r глзцс Jr. g«*ckttutccn Liel»;»s м *rM>ek*n. S«th*t woo ,!.«
»Je» Lc*l«r* Üi«ke »erfei^r» wurd». rutin
M»f»«e »ducfat. Wft ..d«-r Oijdrta.,1. j» HYunom g«!
U/đfl & MEDTV8 1 i. ; i /Ш-Ј5
n -Ä-: STÄfw —
RUMENE STRANI Ml
POSLOVNI IMENIK REPUBLIKE SLOVENIJE PO DEJAVNOSTIH
Ml •M1*M3
HYUnOm
-7
S
3—-
* «min« < TIS
ф. i нр*
||'"*1**1 J m.vw'i 1...ВВП........ apriBa I
l(
• V KNJIGI
• NA ZGOŠČENKI
• NA INTERNETU
INTER MARKETING d.o.o., Dunajska cesta 21, 1000 Ljubljana Telefon: 061/136-53-90, 136-25-74, telefaks: 061/136-85-20 E-posta: publ@intmar.si, http://www.intmar.si INTERNET IMENIK: rumenestrani.intmar.si, pis.intmar.si
S
INTER MARKETING
MEDIVAK, d o o tel fax : 00386 61 720450
Šolska ulica 21 GSM : 041 615 455
SLO - 1230 Domžale žiro račun : 50120-601-114647
Poslovalnica: tel. : 00386 61 372 659
Dolsko 11 GSM : 041 615 455
1262 Dol pri Ljubljani fax : 00386 61 372 382
M EDI VAK
LEYBOLD
ZASTOPSTVO
SERVIS SVETOVANJE
Vakuumske komponente in naprave
Vakuumske tehnologije, trde in tanke plasti, analitika
Kontrola vakuumskih naprav in sistemov
Odkrivanje netesnosti
Izposoja vakuumskih komponent
24 urni servis
PRODAJNI PROGRAM "LEYBOLD"
Vakuumske črpalke
• Rotacijske vakuumske črpalke s priborom
• Eno in dvostopenjske (1 do 1200 m3/h)
• Roots vakuumske črpalke - RUVAC (150 do 13000 m /h)
• Membranske in ejektorske vakuumske črpalke - DIVAC 2.4 L
• Difuzijske črpalke (40 do 50.000 l/s)
• Turbomolekularne črpalke (50 do 4500 l/s)
• Sorpcijske črpalke, kriočrpalke, ionsko-getrske in sublimacijske titanske črpalke
Vakuumski črpalni sistemi
• za kemijsko in drugo industrijo
Vakuumski ventili
• Varnostni, dozirni
• Kroglični, loputni in UVV
• Prehodni in kotni KF. ISO-K. ISO-F
Vakuumski elementi in prirobnice
- Serije KF. ISO-K. ISO-F in UHF
Mehanske in električne prevodnice Merilniki vakuuma in kontrolni instr.
- Absolutni medtlaki in merilec delnih tlakov (od 1.10-12 do 2000 mbar)
Procesni regulatorji Detektorji netesnosti (puščanja)
- Helijski m freonski detektorji Masni spektrometri s priborom Vakuumska olja, masti, rezervni deli
m
LEYBOLD
Turbo-Drag-Pumpon der МСУГ-Relhe
EKOLOŠKE VAKUUMSKE TEHNOLOGIJE V
KEMIČNI INDUSTRIJI
Vakuum
čiste, suhe črpalke
EDWARDS
Zastopnik: TERVAK Slavko Sulčič
R. Manna 20. 34134 Trst. Italija
Tel: 0039 336 442 780 e-mail: slavko.sulcic@siol.net
Dutovlje 37/B 6221 Dutovlje, Slovenija fax: 386 (0)67 645 12
EDWARDS High Vacuum International je vodilni svetovni proizvajalec vakuumskih suhih rotacijskih črpalk. Te vrste črpalk so vgrajene v več kot 40.000 vakuumskih naprav, ki delujejo po vsem svetu.
EDWARDS je tudi svetovni proizvajalec drugih vakuumskih črpalk in sestavnih delov.
K A M B I Č
LABORATORIJSKA OPREMA
Anton Kambič, s.p., Semič 40 8333 SEMIČ, SLOVENIJA Tel.: (068) 67-006 Tel., faks: (068) 67-008
Podjetje KAMBIĆ, Laboratorijska oprema, je eden največjih slovenskih proizvajalcev laboratorijske opreme.
V 15 letni zgodovini podjetja je bilo razvitih preko 100 različnih tipov naprav, ki danes uspešno obratujejo v farmacevtski industriji, zdravstvu, raziskovalnih institucijah, fakultetah in v različnih industrijah.
Celotna proizvodnja je podprta z lastnim razvojem in lastno servisno službo.
Prednost naše proizvodnje je v visoki kvaliteti, kratkih dobavnih rokih in v izdelavi aparatov po specifičnih željah uporabnikov.
Naša proizvodnja zajema proizvodnjo inkubatorjev, sterilizatorjev, avtoklavov, sušilnikov, vakuumskih sušilnikov, liofilizatorjev, destilatorjev vode, vodnih kopeli, rastnih komor, stresalnikov, ejektorskih vakuumskih črpalk, mikropeskalnikov, keramičnih mlinov in olj za pogon rotacijskih in difuzijskih vakuumskih črpalk.
Vakuumski sušilniki
Breg ob Kokri 7 SI-4205 Preddvor
Tel.: 064 458 020 Fax: 064 458 0240 e-pošta: scan@siol.net www.scan.si
jHeto
f JP Lab Equipment
Nudimo vam različne vrste lioilizatorjev firme HETO HOLTEN.
Laboratorijski liofilizatorji imajo kapaciteto od 1 kg ledu/24h do 8 kg ledu/24h. industrijski pa od 10 kg ledu/24h do več 100 kg ledu/24h.
Več informacij lahko dobite na našem naslovu, kjer vam je na voljo tudi knjiga o osnovah liofilizacije "An introduction to freeze drying". Avtorja knjige sta H. Knudsen in J.M. Flink.
Dodatne informacije lahko najdete tudi na spletni strani: www.heto-holten.com.
1
d.o.o.
Ob gozdu 25, SI-2352 Selnica ob Dravi
*:(062) 2297-390, 6740-190 FAX: 2297-391,671 -518 Spletna stran: www.merel.si
VARIAN vacuum products
' Iftusion Pumps for High Vacuum Industrial Applications
»-»rr
IK-SC 300.1
•I.torn
gAii ^ j on Pumps tor Ultra-High
H г-"^ H Vacuum Research Applications
^—L ^^ "WO Ci —JCCrwi P'
— \л
I urttomolccular Pumps lor High & Ultra-High Vacuum Applications
»WO
SoMty »-исеод»
-l<4ä-S