ZGODOVINA TEHNOLOGIJE TANKIH PLASTI Stanislav Juznič*
History of thin film technology ABSTRACT
The history of thd thin film tschnology m the pas' hundred years is ddschbed The special concern is pul or Ihe woi< dooe in Slovenia
POVZETEK
Povzdmamo $lo lal (azvoja lehnotogija vakuumskih lanhih plasti Posebna poionosi ja posvečena taziskavarrv v Sloveniji
1. UVOD
Tarike plasti" so najprej izdelovali s kovanjem. Egiptovski mojstri iz Luxorja so znali že v XVHI dinastiji (1567-1320 p.n.Š.) kovati rldlovO.Smikrcmetra debele lističe. Danes znamo skovati O,i do 0,05 mikrometra debele lističe, kar je skoraj nevidno pri pogledu od strani.
Sodobni naziv za specializirano tehnologijo 'lankih plasti' se uporablja le za plasti, ki jih izdelamo s procesi nalaganja atoma na atom in ne s tanjšanjem razme* roina velikega kosa snovi.
Najstarejši tehniki nanašanja tankih plasti sta kemijska redukcija, ki je omogočala pripravo srebrne plasti za zrcala, in posrebrevanje z električnim postopkom. Obe tehniki so iznašli pred več kot 150 leti.
V tej razpravi se bomo omejili na tanke plasti, ki jih lzdelU)emo v vakuumu. Zanje uporabljamo tri vrste tehnik: vakuumsko naparevanje, katodno razprševanje In kemijsko nanašanje.
XIX. STOLETJE
Pn/e vakuumske tanke plasti so opazili med raziskovanjem "katodnih žarkov" v Londonu in Bonnu. Že od Pluckerjevega obiska pri Faradayu leta 1848 so Nemci in Angleži tesno sodelovali, saj so eksperimentalne naprave Angleža Gassiota uporabljali tudi v Bonnu in Münstru, razprave pa so sproti prevajali (Martin, I9d4, 30, 33; Hittort, 1869, 5, 202).
"Naparevanje" tanke plasti na stenah izpraznjene cevi sta prva opazila William R.Grove (1611-1896) leta 1S53 m samostojno Plücker leta 1857 po električnem praznjenju ter Faraday leta 1857 med eksplozijo kovinske žice v vakuumu. Prve raziskave so dajale predvsem kvalitativne ugotovitve o trajanju "naparevanja" in legi "naparitve" glede na elektrodi (Južnič, 1994, 24-25). Tanke plasti so opazovali med raziskovanjem "katod* nih žarkov" kot spremljevalni, večkrat moteči pojav.
Meritve na Angleškem
Oassiot je nadaljeval Faradayevo raziskovanje "katod* nih žar1<ov". Ugotavljal je, da "naparevanje" katode iz platine ne more povzročati svetlobnih pojavov pri
praznjenju cevi, saj nima enake smeri v prostoru (1863, 134, 137; Plucker, 1857, 67). Preprečil je nastajanje kovinske usedline na stekleni steni okrog katode v izpraznjeni cevi, pred katero je postavil dodatno odprto cev z manjšim premerom. Katoda je potem ostala mrzla in nepoškodovana (Hittorf, 1869, 197-198. 210-211).
	
p	
• i.	
Shka 1. Shema naprave, s katero /e W.R. Grove raziskoval raze/eWrrfve v plinih in leta 1853 prvič opaz'1 pojav razprševania katode
Meritve na Nemškem: Bonn
Plucker je v svoja ekspen mental na raziskovanja vnesel matematičnega duha, saj je opisoval vakuum kot ne* dosegljivo limito (1858, 518). V svoji pivi razpravi o praznjenju električnega naboja skozi razredčene pline je 27.12.1857 objavit, da je mogoče med praznjenjem pozlatiti, posrebriti ali pobakrib stene cevi.
30.3.1858 je opazil, da se iz segrete katode iz platine razpršujejo delci proti anodi. Zato se notranjost dovolj majhne izpraznjene cevi prekrije z lepim zrcalom, na katerem lahko kemijsko dokažemo platino. Menjaval je primesi plinov v izpraznjeni cevi in ugotavljal, da npr. s fluorom in borom ne dobimo tankih plasti.
* Siai^iSiav Juini(i Je proiaior fzike ii^ računalništva na srednjk $oii v Kočevju Lata i$iS0 ja diplomiral iz lehmčna fizika na Pakgii^li za nardvo&iovja In larii^ologijo, metgi^roi m i^^ 1'z zgcdovme fizike na Filozofski faKutt^i v Ljubliam.
Nemški matematik Julius Plucker (1801*1868) seje začel ukvarjat) z eksperimentalno fiziko Kot začasni direl^r fizikalnega kabineta univerze v Bor^nu leta 1836 In predavatelj ekspen mental ne fizike leta 1842 (Jungnickel. 1986,1/235}. Po obisku pri Faradayu v Londonu leta 1348 je nadaljeval s kvairtativnimi poskusi tam, kjer so Faradayeva dela zaradi bolezni obstala V Pluckeij&v&rn opusu si izmenoma sledijo pomembne raziskave v geometriji m eksperimentalni fiziki. kar je izjemen poiavv zgodovini znanosti. Po njegovi smrti je katedro in labolatorij za fiziko v 6onnu prevzel Rudolph Ciausius (182M666).
Sfika2. Miche^t faraöay (1791-1667)
'naparevanje" praktičnih zrcal iz bakra (1864.125-127 130),
Pri nanašanju materiala katode na stene izpraznjene posode, v kateri $o raziskovalci opazovali razelektritev, seveda ni šlo za naparevanje, ampak za pojav, ki so ga že takrat poimenovali lordsko naprlevanje {angleško "sputtering", nemško "Zerstäubung", rusko 'raspile-nie' in francosko "pulverisation'). Kaioda izpostavljena obstreljevanju z visokoenergijskimi ioni iz plazme, se razprsuje. Vsak ion izbije določeno število atomov iz katode. ki se potem nalagajo na stene posode. Meha nizem razprševanja so razložili pripJizno petdeset let po tistem, ko so ga prvič opazili, šele sto let pozneje pa so bili narejeni pn/i kvantitativni modeli razprševanja (Be-hrisch, 1984, 297-300, Behrisch, 1981,1-2).
Dunaj
V fizikalnem institutu Jožefa Štefana na Dunaju so se v sedemdesetih letih ukvarjali s plint, najprej z difuzijo nato pa s toplotno prevodnostjo. Z okoli 6 cm dolgo iskro so v izpraznjeni cevi dobili v pol ure lepo zrcalo iz platrne. Niso pa še znali napariti aluminija (Puluj, 1880, 870; Južntč. 1994. 25-26).
25.8.1356 je opazoval zelo tanko plasl platine modre barve, zelo podobne tankim plastem zlata, ki jih je pred letom opisal Faraday. Lepa zrcala je dobil tudi s cinko-vo elektrodo. Raziskoval |e potek naparevanja spre* minjajoč debelino m dolžino elektrode v cevi {Plucker. 1Q58, 105, 113.117, 68, Južnič, 1994. 25).
Nabiti "izparjeni" delci so se čisti ali pomešani z delci plina odlagali na stene posode. Zatojth je lahko odklanjal z magnetom tako. da )e pcčrnH le posamezne dele cevi. Poročal je tudi o posebno lepih zrcalih iz platine na ravni podlagi (Plucker, 1859, 602. 614; 1862, 651).
Münster
Plucker je raziskoval predvsem spektre razredčenih plinov, njegovega učenca Hittorfa v Munstru pa je zansmala električna prevodnost. 9.10.1869 je raziskoval prevodnost plinov prf nizkih tlakih in visokih tem peralurah. Pri razdalji med elektrodama i do 2 mm je zažarela elektroda iz platine, debela 1/2 mm. Kovina iz katere je bila katoda, je "naparila" zrcalo na steklo (1869,210-211),
Naparevanje" platine z elektrode na steklo je manj motilo meritve pri uporabi večjih cevi, kot je bila Ruhmkortfova s 40 cm dolgo iskro na razstavi v Parizu leta 1867, Tam je spomladi 1867 eksperimentiral Plucker, septembra pa HIttorf (Hittorf. 1869, 202, 210).
Leta 1884 je HIttorf ugotavljal, da večina kovin "izpare-va' 12 katode že pred tališčem. Platina "izpareva", ko dobi spirala zaradi električnega toka v cevi baivo rumenega žara. Za 2 mm debele katode iz aluminija je potreboval kar 1000 med seboj povezanih Bunsenovlh baterij, tlak v cevi pa je bil 2-3 mm Hg. 'Naparevanje' ob lepi. morsko zeleni barvi tlivne razelektritve je trajalo le nekaj sekund, med katerimi so se steklene stene
pokrile z debelim sivim SfCölom.
V primenj ko katoda iz aluminija ni ■Izparila' do konca, je njena površina postala hrapava, polna tankih konic. Anoda je ostala nespremenjena. Hittorf je opisal tudi
Strassburg: optične lastnosti tankih plasti
Presojnost tankih lističev zlata je preučeval že Thomas Young (1773'1829). Raziskovanja je nadaljeval britanski astronom Waren de la Rue (1815'1889) v sodelovanju s Faradayem. ki je leta 1857 preučeval presojnost tankih lističev cele vrste kovin, dobljenih s kemijskimi in elektro kemijski mi metodami. Zlate lističe je dobil tako. daje s praznjenjem leydenske steklenice naparil vodnik Iz zlata na steklo (Faraday, 1857, 320 Quincke. 1863. 359; Martin, 1944, 34)
Quincke je v Berlinu preučeval presojnost tankih plasti na zraku in v vakuumu (1863, 384). Pomembne raziskave optičnih lastnosti inteferenčnih kolobarjev tanki h lističev sijude so bile objavljene tudi v Avstriji (Stefan 1864).
Nahr^old je marca 1888 v Helmholtzovem fizikalnem institutu preučeval naelektntev raiarjene katode iz platine v evakuirani cevi Opazil je, da se katoda iz platine veliko manj razpriuje v vodiku kot na zraku (1888,119, 121; Bunshah, 1994. 939).
Kundt je novembra 1885 uporabil napravo, podobno tisti, s katero je septembra 1877 Američan A.W.Wnght opazil interferenčne kolobarjev plasteh različnih kovin, razpršenih iz katode. Deset cm dolg navpični stekleni valj je na obeh straneh zaprl z gladkima steklenima ploščama. S spodnje strani je zatalil elektrodo iz aluminija, od zgoraj pa kalodo iz kovine, namenjene za razprševanje, ki jo je pritrdil s kavčukom na cev. tako
Nemšio fizik Avgust Adolph Kundt (1839-1894) j€ leta 1886 kol profesor fizike v Strassburgu objavil prvo razp'avo, kije bila v celoti posvečena vaküumskim tankim Waste m Tesno je sodeloval s svojim učencem VVilhelmom Konradom Rontgenom (1845-1923), ledaj že profesorjem v Wurtzburgu, ki se je v tem Kundtovem delu srečal s "katodmtni žarki", ki so mu deset let poaneje pnnesii svetovno slavo
dajo je lahko med meritvami menjaval. Veliki indukcijski aparat je vzbujal z 3-6 Bunsenovimi elementi. Upo-raDil je različne kovine, vendar so se mu poskusa najbolj posrečili s platino. Pri katoOi dolgi 2 cm, premera 0,2-0,5 mm je postavil vodoravno ploščo na razdaljo 2*12 mm Iz posode je pazljivo odstranil kisik m vodno paro Tudi z mikroskopom nI bilo mogoče najti nehomogenosti na tako dobljenih zrcalih v Obliki stožca s povprečno debelino 10 nm In napi^ečjo debelino tik pod katodo.
Kundta je presenetHo odkritje dvojnega <oma svetlobe odbite na meji med kovino in stekleno podlago zrcala. Tanko plast je opisal kot kristalno elastično membrano, ki je neenakomerno napeta zaradi naboja razpršenih delcevin zato povzroča dvojni lom Leta 1888 je izmeril tudi lomni količnik zrcala iz platine (Kunctt, 1886, 60-61, 65,70; 1888, 473-474; Bunshah, 1994,939).
Berlin: kondenzacija in izparevanje
J. Celestin Jamin (1818-1886) v Parizu in Heinrich Gustav Magnus (1802-1870) v Berlinu sta raziskovala kondenzactjo par in plinov na površinah trdih teles In pokazala pomembnost adsorbiranih plasti In povezavo s kemijskimi procesi na površini, kot je katahza.
Slika 3. Heinrich Hertz (1S5?'1B94}
Heinrich Hertz (1857-1S94) je leta 1882 kot asistent Hermana von Helmholtza (182M894) v Berlinu v dveh delih raziskoval hitrost nalaganja snovi pri destilaciji kovinskega živega srebra v vakuumu Dognal je. da je
liilru^l l^pdievdiija »uidzrneino rdziiki (äviiule^iieyd
tlaka živega srebra pri določeni temperaturi m hldro-statičnega tlaka na površini snovi, ki Izpareva. Živo srebro je bilo pripravnejše za meritev od voda zaradi velike prevodnosti. S sočasnim črpanjem z zivosrebmo
črpalko In s segrevanjem je dobil vakuum z manj kot tisočknko mm Hg. V njem je meril izparevanje živega srebra pri devetih različnih tlakih pri temperaturah med lOO^^C in 200^C. Uporabne so bile le merrtve nad 80®C. kjer je velikost tlaka zaznavno presegla napako mentve 0,02 mm Hg.
Poleg Hertza so v istem letu podobne meritve objavljali tudi Q.Hagen ter Ronkerin Black leta i683zfizikainega instituta v Berlinu. Mentve lastnosti živega srebra so bike zanimive zaradi Heimholtzove teorije o trenju v fluiflih (Hittorf. 1883, 721: Jungnickel, 1906, 9) m zaradi uporabe v črpalkah, saj se nI bilo mogoče izogniti žlvosrebrnim param v Izpraznjenih ceveh (Henz. 1882, 222)
Helmholtz si je obetal, da bo raziskovanje praznjenja v vakuumu potrdilo njegovo domnevo o longitudinalni komponenti transverzalnega valovanja, h kateri je usmerjal vse Hertzove meritve, vključno z odkritjem elektromagnetnih valov leta 1888 (Južnič, 1994, 24).
Hertz je iz svojih meritev izpeljal temeljno enačbo za hitrost izparevanja, ki jo po poznejših dopolnitvah Imenujemo Hertz-Knudsenovo. Leta 1909 je Danec Knudsen dokazal veljavnost kosinusnega zakona za izparevanje S. Zn, Ag, In SbSa 24.6,1915 le dokazal, da je Hertz zaradi nečistoč na površini živega srebra dobil manjše vrednosti od napovedi teorije.
Leta 1913 je Irving Langmulr (1881-1957) ugotovil, da se Hertz-Knudsenova enačba nanaša na izparevanje tz prostih površin. Pfi General Electricu je najprej preučeval vezi med atomi v tanki plasti plina na kovinskih vodnikih, ki je zanimala že Humphryja Davyja (1778-1829) leta 1B22, saj je plin po segrevanju katode pokvaril vakuum (Hittorf. 1883, 735, 741). Pozneje je Langmutr raziskoval enomolekulske tanke plasti na vodi m na steklu, za katere se je zanimal že i.ord Rayleigh (1642-1919) Za teorijo adsorpcije zaradi nenasičenih valentnih vezi atomov na površini plasti je Langmulr dobil leta 1932 Nobelovo nagrado za kemijo.
TANKE PLASTI V XX. STOLETJU
Tlivna razelektritev je v XX. stoletju ostala le še zanimiv svetlobni pojav. Raziskovanje se je usmerilo v dotlej manj pomembni spremljevalni pojav naprševanja tankih plasti (Hippel, 1926, 1043)
Tanke plasti na steklu a) Antlrofieksijske plasti
Joseph von Fraunhofer je leta 1817 prvi izdelal antlre-fleksijsko plast na steklu, ki ga je slučajno namakal v koncentrirano žvepleno ali dušikovo kislino Veridar odkritja tedaj niso poskusih tehnično uporabiti. Šele desetletja pozneje so pojasnili, da Interferenca zmanjša odboj na stekleni podlagi, če nanjo nanesemo tanko plast z manjšim lomnim količnikom.
Bauer z univerze v Gottingenu je 27.li 1933 izmeril absolutne vrednosti absorpcijskih konstant nekaterih kristalov alkalihalogenidov. V vakuumu je napani plasti do debeline okoli 1000 nm, ki so bile najbolj primerne za meritev (Bauer, 1934, 434- 436)
Leta 1935 sta John Strong s California Institute of Tahnology In Smakula Iz Zeissa s kondenzacijo kalcijevega fluorida v vakuumu dobila enoplastno antlreflek-sijsko prevleko na steklu (Zinsmeister 1984,112-113,
Kansky, 1993. 8). Leia 1939 sta C.Hawlet Cariwnght in A.Francis Turner z MIT objavila» daje s plastjo debeline 12S nm in lomnim količnikom 1,2 do ^.3 mogoče

Slikoi 4. (zgorsi) Zunanji tig/ed naprava ga kalodno naprševanje iz I9fa 193S, h jo /e neznano pcd/etje iz Hanau-a v Nemčiji uporab/;a^o za metalizadjo matric ze izdelavo gramofonskih plošč: (spodaj) notranjost iste naprave - v sredini se \/idi katoda iz srebrne žice.
praktično odpravrti odbojnost stekla Lomni indeks ma terialaje bilo mogoče približati dam vrednosti & kontrolo okoliičin pri njegovem naparevanju. Vendar se je zato znižala gostota In s lem tudi mehanska žilavost, kar je močno omejilo seznam uporabnih snovi. Predlagala sta tudi uporabo večplastnih prevlek fn praktično odpravila odboj z naparevanjsm AI2O3 in SiOs.
Vrsta drugih predlaganih snovi je imela odlične optične lastnosti vendar ni Oila odporna proti mehanskirr^ tn drugim vplivom okolice Izjema je bil magnezijev fluorid. ki je postal vodoodporen po nanaianju na vroče podlage iz stekla. Leta 1942 je Lyon v ZDA izdelal prve stabilno antirefleksysko enoplastno prevleko iz mag nezijevega fluorida (MgF?) na prej segretem steklu.
Poskuse z večplastnimi prevlekami so delali v ZDA in v Evropi Že leta 1938. Prvo tehnično zadovoljivo rešitev je dal dvoplastni sistem Auwarlerja leta 1949 pri pod jetju Balzers, ki le bilo ustanovljeno na njegovo pobudo (Zinsmeister, 1984,113}.
b) Kovinska zrcala
Visoko odbojne plasti so začeli industrijsko izdelovatr veliko prej kot antirefleksijske. J. Liebig je ze leta 1836 poročal o srebrnih zrcalnih plasteh, dobljenih 2 mokrim kemijskim postopkom. Pivi postopek metalizacije s katodnim naprševanjem je leta 1903 patentiral T.A Edison (US-Palent Nr. 767 216). RW Pohl in Pnng sheim sta leta 1912 poskusila dobm ;anko plast na zrcalu z naparevanjem Ag. Al in drugih kovin v vakuumu Naparevala sta iz keramičnih (MgO) talilnih lončkov.
Leta 1926 je Jakov Hjič Frenkel (1894-1952) s Fizikalno-tehničnaga instituta v Leningradu objavil domnevo o obsioju kritične temperature odboja kovinskih atomov od podlage. Njegovo teorijo sta istega leta eksperimentalno potrdila Khartinov m Nikolaj NikolajevičSemenov (r.ld^) na isti ustanovi Dve leti pozneje sta Shalmkov in Semenov raziskovala nastajanje spojine pri hkratni kondenzacijt kadmija in žvepla. Leta 1956 je Semenov dobil Nobelovo nagrado za kemijo. Leta 1928 je RitschI objavil metodo za sočasno posrebrevanje dveh inter-ferometrskih zrcal Z naparevanjem. Debelino posre-brene plasti je kontroliral s fotometnčnsm merjenjem njene prepustnosti Optično in mehansko kvaliteto zrcal je izboljšal z obdelavo s parami solne m solitrnc kisline (RitschI, 1931,578).
Leta 1930 sta W.W. Coblenz in R Stair odkrila visoko odbojnost ultravioličnih žarkov od površine aluminija in opisala tehniko izparevanja kovin v vakuumu {Zms-meister, 1984, 112}. Njuno odkritje je dopolnil John Strong s California Institute of Technology skupaj s Cartwrightom leta 1931 in samostojno 8.3,1933 v Phy sical Review, kjer je objavil dobro tehnično rešitev za naparevanje aluminija iz volframove spirale, kot jo po> gosto uporabljamo še danes.
Aluminij Je prtmeren za zrcala, saj skoraj tako dobro odbija zeleno svetlobo kot srebro, mnogo bolje pa ultraviolično. Aluminij se tudi bolje prime stekla, zato ga je bilo mogoče prati 2 vodo in milom, kar m puščalo vidnih podkod tudi po troh mcc^oh. Tudi po šedtih mesecih aluminijevo zrcalo ni izgubilo leska na atmosferi Zato je Strong predvideval uspešno uporabo alu minijevih zrcal v ÜV optiki in za prekrivanje interfero metričnih plošč.
Strong Je uporabil voltramovo spiraio, nd katero je natopil öisti alumini] in ga potem izpareval v vakuumu. Izrabil je omejeno topnost volframa v tekočem aluminiju.
Slika 5. NaprsvQ iste firme, ki $o jo sredi tridesetih let uporabljali za metahzacijo papirja in tekstila: delovala /e na principu katodnega napršev9ii/a.
Slika 6. Tankoplastns proizvodnja podjetja HERAEUS iz Hanaua v letih 1940-1944.
OžBrian in Skinner sta leta 1933 naparevala odbojne materiale za proizvodnjo tarč rentgenskih žarkov. Ma* terial sta postavila v grafitni tdlilni lonček, ki sta ga segrevala z vročo spiralo iz volframa.
3. Hass ie leta 1940 patentiral postopek zaščite Al zrcal s SIO2 {SRD ' Patent 943 314). Skupaj s sodelavci je v Istih 1955-1965 vpeljal tehnologijo zaščite Al-piasti z MgFg oz. UF zaščitnimi plastmi (za UV področje) in MgF2+Ce02 (za vidno področje).
Tanke plasti v elektroniki
LeoGraeir (r,i856) 2 Univerze v Munchnu m Pollak sie odkrila usmerjevalni efekt aluminijaste elektrode, prekrite s tanko plastjo oksida in pokazala na možnost uporabe v elektroniki. V Munchnu je tudi Wilhelm Beetz (Id22-I8d6) na Politehniki uporabljal tanke plasti za raziskovanje magnetnih pojavov.
Taljenje kovin v vakuumu je prvi uporabil W, von Bolton (u.1912) za pridelavo tantala pri Siemensu leta 1902 Postalo je zelo pomembno za proizvodnjo magnetnih snoviin posebno kvalitetnih uporov, pa tudi za topljenje kovin na steklu pri proizvodnji raznovrstnih elektronk (Siemens, 1957,1/287; 11/255).
Foioelektronske komponente, presojne in električno prevodne plasti Sn02, so začeli uporabljati za grelne elemente pri letalskih oknih v 2. svetovni vojni
Druge vrste tankih plasti so naišle uporabo pn uporih, kondenzatorjih in magnetnih plasteh, tako da je elektronika in mikroelektromka še danes najpomebnejše področje uporabe tankih plasti
RAZISKOVANJE TANKIH PLASTI V SLOVENIJI
Raziskovanje tankih plasti v galvanoplastjki ima v Ljubljani že dolgo tradicijo. Gimnazijski profesor fizike Henrich Mittels (1822-1888) je 18.3 1856, manj kot dve desetletji po prvih uporabah Morlilza Hermana Jako-bija (1801-1874), podrobno poročal pred muzejskim društvom o zgodovkni m razvoju galvanoplastike Pokazal je zelo posrečene galvanoplastične odtise v bakru, poročal o pozlačevanju z galvanoplastiko in ponazoril povedano s poskusi (Oežman. 1858. 91}. 11.2 1857 ;e podrobno pojasnil dotlej znane metode za oblikovanje aluminija in razložil vlogo, ki jo bo lahko po obsežni proizvodnji imela ta kovina v prihodnje v različnih obrtih in umetnostih (ibid 105),
V naslednjih desetletjih Slovenija m imela akademskega okolja^ ki bi lahko sledilo razvoju eksaktnih znanosti v svetu. Se sredi XX stoletja smo Slovenci zasledovali raziskovanje tankih plasti v ZDA le s pomočjo doseg* Ijive literature.
Sistematične raziskave in uporaba tankih plasti so $e pri nas pričele v šestdesetih letih Že prej, leta 1955. pa so v tovarni Saturnus pričeli s proizvodnjo parabol za avtomobilske žaromete, ki so jih naredili s postopkom vakuumskega naparevanja Njihova pn/a naprava za naparevanje aluminija je bila kupljena pn angleški firmi Edwards. Leta i960 je bi1a ustanovljena Iskra-Elek trooptika (danes Fotona), ki je začela z proizvodnjo optičnih naprav in tankoplastnih komponent. V letih 1974'1977 so na Institutu za elektroniko In vakuumsko tehniko pod vodstvom dr. Evgena Kanskega razvili tehnologijo izdelave miniaturnega potenci O metra; proizvodnjo le-teh so prenesli v zamejsko tovarno Mipot v Krminu pri Gorici. Tankoplastne tehnologiie so {ali so bile) tudi osnova proizvodnje kondenzatorjev v Iskrin) tovarni kondenzatorjev v Semiču, iskri polpre vodniki (danes Semicon) v Trbovljah, kovinoplastnih uporov m tek oče kristalnih prikazalnikov v bivši Isknm tovarni Upon v ^ntjerneju m seveda v bivsi iskrim lovarni Mikroelektronika. V Laboratoriju za mikroelek-tronikona Fakuttetiza elektrotehniko se 25 let ukvarjajo z razvojem mikroelektronskih tehnologij in sončnih celio. Z bazičnimi raziskavami tankih plasti pa se že
ifKJeset let ukvarjajo na Institutu "Jožef Stefanv Odseku za tanke plasti in površine. Pred desetimi leti so ustanovili Center za trde prevleke, v katerem za industrijske potrebe nanašajo trde zaščitne prevleke.
LITERATURA
Bauec Gefhafd, ADsolutwerte Oec optiactien AbsorptKTnkonstanten von AlkafogeniQhristallen im Gebeft ihrer ultravioletten Eigentre-guenzen. Ann. Phys 12(1934) 434-46^ Bensen Rejner, FesH^öfpenetstauDung dutch lonenDeschuss, Sprirtger Verlag, Berlin, 1$», Sputlerlng by Ion Bankaichm^, Springer Verlag, Berlin. 1981 Bunshah Ronan F, History and eurem status vacuum metallurgy,
J Vec Sd.Techr^olog Ai2{4j (Jul/Aug 19d4) 936-946 Cartwright C Havrfey in A Francis Turner. Reducing ihe Reflection
from Glass by Multilayer Films. Physrev ££(19;^) 675 Dažman Karal (1921-tSSd). B«ncht über die t>ei dan monau Var-sammlungeri der Mitglieder des Musaal Vereins ge^^tan Vortrage in den J. 1856 und 1867, Jareschelt Krain Museum. 2 (1&5S). Str aS-lA2 Faraday Michael {1T91-ia67}. Experimental Relations oi Gold to üght. Phil Trans 1657 5 14S Prevod v Ann Phy« Jfii(1857) 313-320
G«85iotJ(^n Pieler (1790-1877), Proc oftheRoy. Soc Lx*idonli 5. 329 Prevod Uber die Warme-Entwicklung an der Polen einer Voltasctten Battene während des Durchganges leuchtender EnUadungen durch Luft oder ein Vacuum, Ann Phys. 119 1. 31 -137
Hertz Heinrich Rudolf 41&57>1894). Uber die Verdunstung der Flüssigkeiten inbeeondere Queksilbers im luftleeren Räume, Ann Phys 1882, pQnalisvSchnften vermischten Inhalts Leipzig 1896, stt 199-214, Uber den Druck des »säRigten Oueci<$ilDer-d&mpfes, Ann. Phys. iSd?, ponalis v schrilran vetmiscnt^n Inhalts, Leipzig 1895, str 215- iü Hippel Artur von. Zur Theorie der Kaihodenzerstäubung, Ann Phys ^{1926) 1043-
HidoiJohann Wilhelm (1824-1914), Übe« die Etekiricitits-ieiiung oer Gase.Ann Phys. nsn BSS) i -3i im 97-234. Ann Phys 2Ü(1Ö63) >n2l(18Ö4)9Ö
Hoover Dav>d S , Oiamorvd Thin Film Acplicalions in Eleclfonics
Packaging, S5T Feb 1991. 89-92 Juognckel Chnsta in Russell UcCormn^ach, Intellectual Masiery d
Naluie, I m ll, The Universrty of Chcago Press. Y986 Južrii^ Stani^av, Zgodovina tazi5hovan>a 'katodnih žarkov' m <kA-
Ivinega) tazorševenjahovm, Vakuumist. (1994) 22-28 kansKy Evgen (1926-1967) Naslajanje m rast vakuumskih tankih pl^i, Orukvb za vakuumsko tehntko Sloveniie, Ljubliana 1990 Knudsen Martin (1871«t949), Die maximale Verdampfung$gesch-
Mndigket des Quecksilbers, Ann Phys il{l9l6) 697.703 Kundl August (1839-1894). über Doppelbrechung des Lichtas in Me*aJlschichter>, wekhe durch Zerstäub^ einer Kathode her. gestellt Sind, Ann Phys 27 n6B6i 59-71, UC>er die brechungsex-ponentan der Meliüle, Ann Phvs 34 (I8fl8> 469-489 Martin Thomas, The Royal Instilulion, Lo<>gmane Orden & Company 1944
Navinšek Bctfis, Ra2vo) in uporaba domačih laniiopia&inihtehnoio^j,
Elektrotahmiki ve^lnik § (1984), 141-14S Nahn/roki R UbardiaEl^Ctncilalseritmcherunganeinengluhenden
PlaMfWrahfra Ann Phvs^(ie88) 107-121 PICicker Julius {1801-1866), Üb«' di« Einwirkung des Magnetes auf deeel«)(lrlschanGnladungen iftverdunlen Gasen Ann Phys ÜQ (1858) 88-106. Fortgeeeczte, KS li3-l28ini2S (1853) 87-84 Puluj Johann (1845>1918). Sirahlende Elekirodenmater«, Wien Ber
II ai (1880) 864-923 Quincke Georg German (1634-1924), über die optischen Eigenschaften der Metalle, Ann Phys 11^(1663)368-388 Rilsct>l Rudolf. UMr ein Verfahren zur halk>durchla,s^g«r Versilberung von Interferonelerspiegaln durch Verdampfen im Hochvakuum, Zeitschiifl fur Physik, Berlin. 69 (1931) 578-&65 Siemertt	History of ihe house ol Siemens Kan Altjer
Freiburg/Munich, 195^ (v dveh delih) Stefan Jožef (1835^1693), Über eine Erscheinung am Netonecrtan Fart^englase, Wien Ber ^^ ^ (1664) sir 136-137 Uber Nebenringe an Newtonzschen Farbenglase. Wien 6er II ^ (1865) 394-396
Strong John. Evaporation Technique of Aluminium. Phys Rev ± (1633) 496
Zinsmeister GJ, Die Entwicklung der industriellen Dunnschicht-Techmk, Vakuun-Tet^nik 22 (1984) 109-n7
Tabela: Razvoj industrijske uporabe tankih plasti {Navinšek. 1984,143)
y diskretni plastni upori
X selenski usmerniki
X diskretni kundenzatorj I
X galvano metrike plasti X mono-epitaksialnc plasti Elektronika	x supra prevodne piasii
X pasivna TP vezja
X integrirana vezja s polprevodnimt diel.
in prevndnimi plastmi O Si nasafirju (C
X antireileksne prevleke
X seknske fotocelice
Optika
interferenini filtri-ogledala foioprevodniki Vidicon TV elektronke O sončne celice
X svetlel diode O clektroluminescenčni zasloni
X zasloni s tekočini kristali
X elektro-kromski prikazalniki
Površinska oHdelava
Leto
X metalizacija plastike x cenen nakit
X toplotno reriekiirajoče prevleke
X korozijsko zaStitne plasti
X toplotno aosorpcijski filmi O nimi za moaanje (lubricaoi) X nimi proti obrabi X toplotno obstojni filmi
1930
1950
X - že v uporabi, O • razvoj v teku, delna uporaba