Termična obdelava nerjavnega jekla za gradnjo UVV sistemov
Thermal treatment of stainless steel for UHV systems

slovenski

1998

letnik 32, številka 3/4

vakuumska tehnika   razplinjevanje   vodik    prenos snovi

Inštitut za kovinske materiale in tehnologije

Nerjavno jeklo je najpogosteje uporabljen konstrukcijski material za izdelavo posod, v katerih želimo ustvariti ultra visoki vakuum, (UVV). Žal pa intersticijsko raztopljen vodik, ki se sprošča iz kovine, otežuje doseganje UVV. Sprejemljiva jakost sproščanja z enote površine je v območju ?$10^{-12}mbar.l/(s.cm^2$?, kar dosegamo danes le s predhodno toplotno obdelavo v vakuumu. Teorija vakuumskega razplinjevanja je dolga desetletja slonela na teoriji difuzije. Zaradi popolnega neujemanja pri doseganju nizkih vrednosti razplinjevanja je bila v zadnjem času dopolnjena z upoštevanjem rekombinacije atomov vodika na površini, ki skupaj z difuzijo vodika iz materiala določa dinamiko sproščanja in s tem končni tlak. Izmerjene vrednosti rekombinacijskega koeficienta ?$K_L$? na različne načine obdelanih površin se razlikujejo za več velikostnih razredov. Velik pomen imajo sestava in struktura oksidov kot delež segregiranih primesi. V članku je prikazan vpliv ?$K_L$? na jakost razplinjevanja in doseženo stopnjo razplinjenosti med procesiranjem, ki ga lahko predočimo na brezdimenzijski časovni skali, ki velja sicer za difuzijo. Napravljena je računalniška simulacija razplinjevanjaza različna razmerja difuzijske konstante D in ?$K_L$?, kar omogoča enolično določitev prednosti posameznega postopka predobdelave, ki jih srečujemo zadnja leta v literaturi kot nadomestilo za dolgotrajno termično obdelavo v vakuumu.

16.09.2009